Control total del proceso
Con la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) tendrá su proceso siempre bajo control: gracias a su inigualable gestión de arco y a su comportamiento de encendido, los generadores son ideales como alimentación eléctrica para recubrimientos de gran superficie (Large Area Coating) y procesos reactivos exigentes en la pulverización catódica por doble magnetrón. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, así como una gestión especialmente eficiente del agua refrigerante, al mismo tiempo permiten un funcionamiento sumamente rentable.
Resultados excelentes y altas tasas de recubrimiento incluso en los procesos reactivos más más exigentes.
Con un pico de eficiencia
superior al 90 %, se alcanzan grados de rendimiento en funcionamiento de más del 80 %.
Función fiable incluso con altas temperaturas del agua de refrigeración y bajas presiones diferenciales.
Tensión de conexión variable, por lo que no son necesarias adaptaciones técnicas.
Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media
Recubrimiento de gran superficie (Large Area Coating) de vidrio arquitectónico: materiales exigentes como el SiOx plantean requisitos muy elevados a la estabilidad de la alimentación eléctrica.
Aplicación de las capas más finas
Recubrimiento de pantallas planas y paneles táctiles: mediante la pulverización catódica por doble magnetrón se aplican capas de AlxOx extremadamente finas (nm), resistentes y homogéneas.
Fabricación de células solares
Recubrimiento de vidrio solar: la alimentación eléctrica estable del TruPlasma MF Serie 7000 (G2) posibilita la aplicación homogénea de capas de TCO extremadamente finas mediante pulverización catódica por frecuencia media.
TruPlasma MF7050 (G2) UltraFast Comparar producto |
TruPlasma MF7075 (G2) UltraFast Comparar producto |
TruPlasma MF7100 (G2) UltraFast Comparar producto |
TruPlasma MF7120 (G2) UltraFast Comparar producto |
TruPlasma MF7150 (G2) UltraFast Comparar producto |
TruPlasma MF 7050 (G2) Comparar producto |
TruPlasma MF 7075 (G2) Comparar producto |
TruPlasma MF 7100 (G2) Comparar producto |
TruPlasma MF 7120 (G2) Comparar producto |
TruPlasma MF 7150 (G2) Comparar producto | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Salida | ||||||||||
| Potencia nominal | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW |
| Corriente de salida máxima | 110 A ef | 200 A ef | 225 A ef | 300 A ef | 350 A ef | 110 A ef | 200 A ef | 225 A ef | 300 A ef | 350 A ef |
| Tensión de salida máxima | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef |
| Frecuencia nominal de servicio | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz |
| Parámetros de arco | ||||||||||
| Tasa máxima del arco | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s |
| Arco energía | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW |
| Tiempo de tratamiento arco | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs |
| Tensiones de encendido | ||||||||||
| con ayuda de encendido | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V |
| sin ayuda de encendido | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V |
| Datos de conexión de red | ||||||||||
| Tensión de red | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V |
| Frecuencia de la red | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Potencia de red del portaútiles | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA |
| Factor de potencia | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Carcasa | ||||||||||
| Peso | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg |
| Tipo de protección IP | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 |
| Requisitos de refrigeración | ||||||||||
| Refrigerante | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua |
| Presión máx. del agua | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| Diferencia mín. de presión | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Caudal mínimo | 30 l/min | 31 l/min | 31 l/min | 36 l/min | 36 l/min | 28 l/min | 30 l/min | 30 l/min | 34 l/min | 34 l/min |
| Temperatura del refrigerante | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| General | ||||||||||
| Grado de rendimiento total | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % |
| Certificados/estándares | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC |
| Condiciones del entorno | ||||||||||
| Temperatura exterior | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
TruPlasma MF7050 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF7075 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF7100 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF7120 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF7150 (G2) UltraFast
|
TruPlasma MF 7050 (G2)
|
TruPlasma MF 7075 (G2)
|
TruPlasma MF 7100 (G2)
|
TruPlasma MF 7120 (G2)
|
TruPlasma MF 7150 (G2)
| |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Salida | ||||||||||
| Potencia nominal | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW | 50 kW | 75 kW | 100 kW | 120 kW | 150 kW |
| Corriente de salida máxima | 110 A ef | 200 A ef | 225 A ef | 300 A ef | 350 A ef | 110 A ef | 200 A ef | 225 A ef | 300 A ef | 350 A ef |
| Tensión de salida máxima | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef | 1100 V ef |
| Frecuencia nominal de servicio | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz | 20 kHz - 50 kHz |
| Parámetros de arco | ||||||||||
| Tasa máxima del arco | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s | 8000 1/s |
| Arco energía | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 1 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW | 10 mJ/kW |
| Tiempo de tratamiento arco | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 25 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs | 50 µs |
| Tensiones de encendido | ||||||||||
| con ayuda de encendido | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V | 3100 V |
| sin ayuda de encendido | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V | 790 V |
| Datos de conexión de red | ||||||||||
| Tensión de red | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V | (±10%) 380 V - 480 V |
| Frecuencia de la red | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz | 50/60 Hz |
| Potencia de red del portaútiles | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA | 61 kVA | 93 kVA | 124 kVA | 149 kVA | 186 kVA |
| Factor de potencia | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 | 0,95 |
| Carcasa | ||||||||||
| Peso | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg | 560 kg | 610 kg | 610 kg | 660 kg | 660 kg |
| Tipo de protección IP | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 | 54 |
| Requisitos de refrigeración | ||||||||||
| Refrigerante | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua | Agua |
| Presión máx. del agua | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar | 6 bar |
| Diferencia mín. de presión | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,2 bar | 2,5 bar | 2,5 bar |
| Caudal mínimo | 30 l/min | 31 l/min | 31 l/min | 36 l/min | 36 l/min | 28 l/min | 30 l/min | 30 l/min | 34 l/min | 34 l/min |
| Temperatura del refrigerante | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C |
| General | ||||||||||
| Grado de rendimiento total | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % | 91 % |
| Certificados/estándares | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC | CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC |
| Condiciones del entorno | ||||||||||
| Temperatura exterior | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.
Rentabilidad y flexibilidad máximas
Los altos grados de rendimiento en funcionamiento y el concepto de refrigeración flexible de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima rentabilidad a lo largo de toda la vida útil. La alimentación eléctrica se mantiene estable en todo momento, incluso en condiciones ambientales y de instalación difíciles: las temperaturas elevadas del agua de refrigeración, la presión del agua baja y la humedad del aire elevada no merman la calidad del proceso. Gracias a su amplio margen de tensión de servicio, puede utilizar el generador de frecuencia media en todo el mundo sin adaptaciones técnicas.
Control preciso del proceso
Mediante unos pocos ajustes de parámetros puede controlar con precisión la calidad de capa y la productividad. De este modo hallará el equilibrio óptimo entre la sensibilidad del tratamiento por arco y el rendimiento deseado. Además, el gran número de interfaces y el cómodo software de mando TruControl Power garantizan una configuración y un diagnóstico efectivos.
Gestión de arco superior
Las elevadas velocidades de reacción y la consiguiente reducción de las energías residuales garantizan unos procesos estables y unas velocidades de pulverización catódica máximas. El generador detecta e impide de forma fiable la formación del arco y la fatiga térmica en los objetivos; el resultado son unas capas absolutamente homogéneas en toda la superficie del sustrato. Además, la gestión de arco rápida y fiable permite el correcto funcionamiento del generador en la zona de transición regulada por tensión (transition mode).
Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) están disponibles múltiples opciones que le permiten adaptar el generador de frecuencia media a los requisitos de su aplicación.
Los generadores de frecuencia media con una potencia de hasta 100 kW están disponibles opcionalmente con un margen de frecuencia ampliado de 20 - 70 kHz (el estándar es 20 - 50 kHz).
Reduce la formación de arco y la fatiga térmica. La tensión de encendido y el tiempo de rampa son regulables de forma individual.
La TruPlasma MF Serie 7000 (G2) puede ser equipada con una gestión de arco especialmente sensible (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, el estándar es ≤ 10 mJ/kW). Para el UltraFastTreatment se requiere la categoría de seguridad 3.
El Profinet, el Profibus, el EtherCAT y las interfaces analógicas y digitales permiten una conexión sencilla de la TruPlasma MF Serie 7000 a las instalaciones existentes.
La puerta del armario de distribución está disponible opcionalmente con un ángulo de apertura de 180° (el estándar es de 130°C).
Para entornos con una humedad del aire muy elevada, el armario de distribución del generador puede equiparse con una unidad de deshumidificación activa. Para su funcionamiento es necesaria una regulación del agua de refrigeración.
TruControl Power
El software de mando multilingüe de fácil manejo TruControl Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico.
Puede seleccionar los componentes del sistema adecuados para adaptar de forma óptima el TruPlasma MF Serie 7000 (G2) a su entorno del sistema.
Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) recibirá cables de potencia para frecuencia media optimizados de TRUMPF Hüttinger. Estos garantizan el rendimiento óptimo del sistema en todo momento.
Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.
