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Excitaciones de plasma

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

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Control total del proceso

Con la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) tendrá su proceso siempre bajo control: gracias a su inigualable gestión de arco y a su comportamiento de encendido, los generadores son ideales como alimentación eléctrica para recubrimientos de gran superficie (Large Area Coating) y procesos reactivos exigentes en la pulverización catódica por doble magnetrón. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, así como una gestión especialmente eficiente del agua refrigerante, al mismo tiempo permiten un funcionamiento sumamente rentable.

Calidad de capa y productividad máximas

Resultados excelentes y altas tasas de recubrimiento incluso en los procesos reactivos más más exigentes.

Máxima eficiencia

Con un pico de eficiencia
superior al 90 %, se alcanzan grados de rendimiento en funcionamiento de más del 80 %.

Alimentación eléctrica estable en todas las condiciones ambientales

Función fiable incluso con altas temperaturas del agua de refrigeración y bajas presiones diferenciales.

Utilizables en todo el mundo

Tensión de conexión variable, por lo que no son necesarias adaptaciones técnicas.

Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media

Recubrimiento de gran superficie (Large Area Coating) de vidrio arquitectónico: materiales exigentes como el SiOx plantean requisitos muy elevados a la estabilidad de la alimentación eléctrica.

Aplicación de las capas más finas

Recubrimiento de pantallas planas y paneles táctiles: mediante la pulverización catódica por doble magnetrón se aplican capas de AlxOx extremadamente finas (nm), resistentes y homogéneas.

Generador de frecuencia media de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) para pedidos de piezas de capas ultrafinas

Fabricación de células solares

Recubrimiento de vidrio solar: la alimentación eléctrica estable del TruPlasma MF Serie 7000 (G2) posibilita la aplicación homogénea de capas de TCO extremadamente finas mediante pulverización catódica por frecuencia media.

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Salida
Potencia nominal	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corriente de salida máxima	110 A ef	200 A ef	225 A ef	300 A ef	350 A ef	110 A ef	200 A ef	225 A ef	300 A ef	350 A ef
Tensión de salida máxima	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef
Frecuencia nominal de servicio	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parámetros de arco
Tasa máxima del arco	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arco energía	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tiempo de tratamiento arco	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensiones de encendido
con ayuda de encendido	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sin ayuda de encendido	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Datos de conexión de red
Tensión de red	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frecuencia de la red	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potencia de red del portaútiles	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Factor de potencia	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Carcasa
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo de protección IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisitos de refrigeración
Refrigerante	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Presión máx. del agua	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Diferencia mín. de presión	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Caudal mínimo	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura del refrigerante	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
General
Grado de rendimiento total	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificados/estándares	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC
Condiciones del entorno
Temperatura exterior	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Salida
Potencia nominal	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Corriente de salida máxima	110 A ef	200 A ef	225 A ef	300 A ef	350 A ef	110 A ef	200 A ef	225 A ef	300 A ef	350 A ef
Tensión de salida máxima	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef	1100 V ef
Frecuencia nominal de servicio	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Parámetros de arco
Tasa máxima del arco	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Arco energía	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Tiempo de tratamiento arco	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensiones de encendido
con ayuda de encendido	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sin ayuda de encendido	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Datos de conexión de red
Tensión de red	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Frecuencia de la red	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Potencia de red del portaútiles	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Factor de potencia	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95	0,95
Carcasa
Peso	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Tipo de protección IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Requisitos de refrigeración
Refrigerante	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua	Agua
Presión máx. del agua	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
Diferencia mín. de presión	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,2 bar	2,5 bar	2,5 bar
Caudal mínimo	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Temperatura del refrigerante	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
General
Grado de rendimiento total	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificados/estándares	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC	CE, SEMI S2-0709, sección 18 de la Normativa FCC
Condiciones del entorno
Temperatura exterior	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Los generadores TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima eficiencia

Rentabilidad y flexibilidad máximas

Los altos grados de rendimiento en funcionamiento y el concepto de refrigeración flexible de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantizan la máxima rentabilidad a lo largo de toda la vida útil. La alimentación eléctrica se mantiene estable en todo momento, incluso en condiciones ambientales y de instalación difíciles: las temperaturas elevadas del agua de refrigeración, la presión del agua baja y la humedad del aire elevada no merman la calidad del proceso. Gracias a su amplio margen de tensión de servicio, puede utilizar el generador de frecuencia media en todo el mundo sin adaptaciones técnicas.

Generador de frecuencia media de la TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Control preciso del proceso

Mediante unos pocos ajustes de parámetros puede controlar con precisión la calidad de capa y la productividad. De este modo hallará el equilibrio óptimo entre la sensibilidad del tratamiento por arco y el rendimiento deseado. Además, el gran número de interfaces y el cómodo software de mando TruControl Power garantizan una configuración y un diagnóstico efectivos.

Gestión de arco superior

Las elevadas velocidades de reacción y la consiguiente reducción de las energías residuales garantizan unos procesos estables y unas velocidades de pulverización catódica máximas. El generador detecta e impide de forma fiable la formación del arco y la fatiga térmica en los objetivos; el resultado son unas capas absolutamente homogéneas en toda la superficie del sustrato. Además, la gestión de arco rápida y fiable permite el correcto funcionamiento del generador en la zona de transición regulada por tensión (transition mode).

Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) están disponibles múltiples opciones que le permiten adaptar el generador de frecuencia media a los requisitos de su aplicación.

Margen de frecuencia ampliado

Los generadores de frecuencia media con una potencia de hasta 100 kW están disponibles opcionalmente con un margen de frecuencia ampliado de 20 - 70 kHz (el estándar es 20 - 50 kHz).

Ayuda de encendido

Reduce la formación de arco y la fatiga térmica. La tensión de encendido y el tiempo de rampa son regulables de forma individual.

Gestión de arco ultrarrápida

La TruPlasma MF Serie 7000 (G2) puede ser equipada con una gestión de arco especialmente sensible (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, el estándar es ≤ 10 mJ/kW). Para el UltraFastTreatment se requiere la categoría de seguridad 3.

Preparado para todos los casos

El Profinet, el Profibus, el EtherCAT y las interfaces analógicas y digitales permiten una conexión sencilla de la TruPlasma MF Serie 7000 a las instalaciones existentes.

Puerta del armario de distribución

La puerta del armario de distribución está disponible opcionalmente con un ángulo de apertura de 180° (el estándar es de 130°C).

Deshumidificación activa del armario de distribución

Para entornos con una humedad del aire muy elevada, el armario de distribución del generador puede equiparse con una unidad de deshumidificación activa. Para su funcionamiento es necesaria una regulación del agua de refrigeración.

TruControl Power

El software de mando multilingüe de fácil manejo TruControl Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico.

Puede seleccionar los componentes del sistema adecuados para adaptar de forma óptima el TruPlasma MF Serie 7000 (G2) a su entorno del sistema.

Cables de potencia para frecuencia media

Para la TruPlasma MF Serie 7000 (G2) recibirá cables de potencia para frecuencia media optimizados de TRUMPF Hüttinger. Estos garantizan el rendimiento óptimo del sistema en todo momento.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.