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Generador de voltaje de polarización con gestión de tensión estable y gestión de arco rápida
Generador de voltaje de polarización con gestión de tensión estable y gestión de arco rápida
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 3000

Estable y versátil

Generadores universales para sus procesos de pulverización catódica

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Por ello, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.

Modos de alta y baja tensión

1200 V para procesos con sustrato o decapado
300 V para procesos de aplicación de capas reforzados por corriente de polarización.

Gestión de arco rápida

Energía residual de arco muy baja, y en consecuencia menos daños en el substrato y procesos más estables.

Resultados de proceso estables y reproducibles

Precisión única gracias a la más moderna tecnología DSP y la evaluación de la señal FPGA.

Ideal para el recubrimiento de grandes superficies

Recubrimiento decorativo

El recubrimiento de grandes superficies plantea en los procesos de plasma requisitos particularmente altos a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, de forma que se obtienen resultados excelentes y reproducibles.

Ideal para procesos de aplicación de capas y de grabado

Tecnología de semiconductores

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 demuestran su eficacia en todos los procesos PVD y PECVD críticos y ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

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El generador de la TruPlasma Bias Serie 3000 en acción

Garantiza buenas condiciones de proceso permanentes.

El diseño especial de potencia y control garantiza una estabilidad de tensión sólida que es decisiva para la calidad de capa y un proceso estable. Concebida con tecnología DSP y con evaluación de señal FPGA, la TruePlasma Bias Serie 3000 cuenta con una moderna gestión de arco que ofrece una precisión y una exactitud de repetición únicas. Los valores impresionantes de ambos parámetros garantizan una estabilización de proceso óptima.

El ámbito de aplicación típico de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricación de capas resistentes al desgaste

Manejo del sistema simplificado al tener solamente un aparato para varios procesos

La TruPlasma Bias Serie 3000 cuenta con dos modos de tensión separados: un modo de alta tensión con hasta 1200 voltios y un modo de baja tensión con hasta 300 voltios. Los modos sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Además de esto, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.

Ámbito de aplicación típico de la TruPlasma Bias Serie 3000: fabricación de células solares

Calidad de capa óptima gracias a los procesos realizados sin dificultades

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 están equipados con gestión de arco completamente digital con una energía de arco muy reducida y CompensateLine, lo que posibilita altas calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Así se producen aún menos daños del sustrato, lo que mejora el proceso y el producto final.

Software de fácil manejo para el usuario PVD Power

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
Correo electrónico

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Folleto
Folleto TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
Folleto TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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