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Nuevo
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air Serie 1000

Accuracy you can rely on

El generador de AF refrigerado por aire TruPlasma RF 1001 Air proporciona hasta 1000 vatios de energía de AF reproducible de alta precisión con una resolución extremadamente alta (en saltos de 100 mW). Esto lo convierte en el generador apropiado para una amplísima variedad de aplicaciones de plasma. Tanto si se trata de fabricar semiconductores, como células solares o pantallas: la tecnología patentada de TRUMPF Hüttinger garantiza en todos los lugares la máxima fiabilidad y los mejores resultados de proceso gracias a sus modernas funciones de procesamiento.

Smart Auto Frequency Tuning

Garantiza una adaptación de frecuencias óptima y muy rápida y, con ello, una interacción excelente entre el generador y la matchbox.

Gestión de arco de alta precisión

El desarrollo seguro de procesos exigentes y novedosos garantiza la protección de su producto.

Multi-Level Pulsing

Mando de la forma de pulso flexible en varias etapas para obtener mejores resultados en los procesos de plasma modernos.

Plug & Play

Es posible el uso e intercambio flexible de los generadores en caso de modificaciones en el proceso o reequipamientos.

Procesos de plasma estables

La tecnología CombineLine patentada garantiza una potencia de proceso uniforme gracias a la impedancia de salida real de 50 ohmios.

Tecnología de generadores unitaria

Con las diferentes clases de potencia dentro de la gama de productos AF es posible cubrir todos los requerimientos de los procesos.

Independencia respecto de la longitud de cable de AF

Al realizar modificaciones en el proceso o en el sistema, ya no es necesario adaptar la longitud del cable.

Excelente alimentación eléctrica para el recubrimiento de pantallas planas

Los generadores de AF TruPlasma RF Air Serie 1000 están perfectamente indicados para procesos de plasma tales como RIE, ALD, PECVD y pulverización catódica por radiofrecuencia. Estos procesos se utilizan para la fabricación de, entre otros, componentes de semiconductores y sistemas microelectromecánicos (MEMS), así como para el recubrimiento de pantallas planas y células solares.

Fabricación de células solares

Los ámbitos de aplicación típicos de la TruPlasma RF Air Serie 1000 son complejos procesos de PECVD, de grabado y de pulverización iónica de AF en la industria solar.

Imagen de tecnología de generadores de plasma RF

En la fabricación de semiconductores se utilizan diferentes procesos de plasma, como procesos de abrasión, de grabación en seco o la fundición de zonas para la fabricación de silicio puro. Los generadores TruPlasma RF Air Serie 1000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica adecuada, estable y óptima en los procesos correspondientes, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

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TruPlasma RF 1001 Air
Salida de AF  
Potencia de salida 1 kW
Potencia nominal 1 kW
Impedancia de la carga nominal 50 Ω
Frecuencia de salida 13,56 MHz
Datos de conexión de red  
Tensión de red 110 - 230 V
Frecuencia de la red 50-60 Hz
Potencia de red del portaútiles 1,8 kVA
Factor de potencia 0,9
Interfaces de comunicación  
Interfaces Sync
Analógico/digital
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
Carcasa  
Peso 15 kg
Tipo de protección IP 20
Requisitos de refrigeración  
Presión máx. del agua N/A bar
Diferencia mín. de presión N/A bar
Caudal mínimo N/A l/min
Temperatura del refrigerante 5 °C - 35 °C
General  
Grado de rendimiento total 70 %
Certificados/estándares Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
Condiciones del entorno  
Temperatura exterior 5 °C - 40 °C
Humedad del aire 5 % - 85 %
Presión barométrica 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Productividad y disponibilidad máximas

Productividad y disponibilidad máximas

El diseño flexible y robusto de los generadores de AF permite un aumento del rendimiento y una reducción de los costes de servicio.

Tecnología CombineLine patentada

Procesos estables, resultados reproducibles

La tecnología patentada CombineLine con adaptación inteligente en tiempo real garantiza una disponibilidad óptima del TruPlasma RF 1001 Air y evita de forma fiable fluctuaciones del plasma y contaminaciones.

Compacto y de uso flexible

Gracias a su diseño compacto (unidad insertable de ½-19 pulgadas), el generador de AF ocupa un espacio muy reducido, ideal para nuevas instalaciones y como solución de reequipamiento en instalaciones ya existentes. La integración es muy sencilla gracias a su gran número de interfaces disponibles (interfaz analógica configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT).

Ideal para procesos de aplicación de capas y de grabado

Precisión hasta las cifras decimales

Gracias a su dosificación de energía precisa en saltos de 100 mW, con el TruPlasma RF 1001 Air también es posible conseguir los mejores resultados en las aplicaciones más modernas y exigentes, como el ALD. La regulación de potencia de alta precisión del generador de AF garantiza la mejor repetibilidad wafer-to-wafer.

Vidrio arquitectónico

Los mejores resultados de proceso gracias a sus modernas funciones de procesamiento

Las funciones de mando digitales, tales como el Smart Auto Frequency Tuning 2.0, la gestión de arco y el Multi-Level Pulsing, permiten una adaptación óptima del generador de AF al proceso correspondiente.

TruPlasma RF 1003: generador de AF para la máxima productividad

Adaptación flexible a la aplicación del cliente

Disponemos de diferentes clases de potencia y frecuencias dentro de un diseño de generador unitario, lo que hace posible un cambio sencillo en caso de modificaciones del proceso. Ya no es necesario realizar adaptaciones de la longitud del cable.

Mando del sistema AF completo a través del TRUMPF SystemPort

El SystemPort posibilita un circuito regulador cerrado mediante la medición de la señal RF directamente en la entrada y la salida de la matchbox, de modo que el generador de AF siempre dispone de todos los valores de medición. Los parámetros de proceso se supervisan continuamente, se protege la matchbox y se garantiza una detección de arco temprana.

Auto Frequency Tuning
Smart Auto Frequency Tuning (AFT)

El Auto Frequency Tuning patentado posibilita una adaptación de la frecuencia simultánea y rápida entre el generador y la matchbox. De este modo, se garantizan los mejores resultados de proceso y la máxima reproducibilidad.

Gestión de arco rápida y precisa

La excelente gestión de arco garantiza un control óptimo del proceso de plasma. Mediante una detección selectiva del arco, aumenta la productividad al mismo tiempo que se protegen el producto y la instalación de posibles daños.

Multi-Level Pulsing

Los procesos de plasma más modernos necesitan más flexibilidad en la operación por impulsos. Es posible alcanzar cualquier tipo de forma de impulso con el régimen a impulsos de varios niveles seleccionables libremente. Esto conduce a un nuevo mecanismo de mando en la física de plasma y permite conseguir mejores resultados de proceso.

Módulos de sincronización (Pulse, CEX, Arc)

El módulo de sincronización permite una sincronización flexible y más segura de varios generadores en sistemas de plasma complejos.

TruControl Power

El software de mando, de fácil manejo, permite una puesta en funcionamiento confortable y una supervisión segura del generador AF o del sistema RF TRUMPF completo a lo largo del proceso.

Web-GUI

El servidor web integrado permite tanto el funcionamiento del sistema AF como también realizar actualizaciones de software con un navegador web.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
Correo electrónico

Descargas

Folleto TruPlasma RF System
Folleto TruPlasma RF System
pdf - 6 MB
Servicio técnico y contacto

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