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Generador de alta frecuencia TruPlasma RF 3006
Generador de alta frecuencia TruPlasma RF 3006
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)

Procesos estables para una productividad máxima

Generadores de AF de la nueva generación

Durante el recubrimiento o la estructuración de superficies, es crucial contar con un suministro de plasma estable y reproducible. Los generadores de AF de la TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13), equipados con una avanzada electrónica de potencia, satisfacen perfectamente este requisito: gracias a su potencia de salida estable y a su elevada precisión de regulación, le garantizan unos resultados óptimos acompañados de un alta productividad.

Precisión y reproducibilidad elevadas

Tecnología CombineLine: potencia de proceso óptima gracias a la impedancia de salida real de 50 ohmios.

Independencia respecto de la longitud de cable de AF

Ya no es necesario adaptar la longitud del cable, ¡toda una novedad en el campo de la alta frecuencia!

Estabilidad y seguridad

Tecnología CombineLine: protección fiable contra potencia reflejada en caso de maladaptación.

Eficiencia y rentabilidad

Los grados de rendimiento de hasta el 80 % permiten una reducción de los costes energéticos de hasta el 50 %.

Concepto de refrigeración sin ventilador

Sin calentamiento o suciedad del aire ambiente y, gracias a ello, posibilidad de funcionamiento en una sala blanca.

Generador de AF TruPlasma RF 3006

Ideal para el recubrimiento de pantallas planas

Los generadores de AF de la TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) están perfectamente indicados para procesos de plasma tales como RIE, ALD, PECVD y pulverización catódica por radiofrecuencia. Estos procesos se utilizan para la fabricación de, entre otros, componentes de semiconductores y sistemas microelectromecánicos (MEMS), así como para el recubrimiento de pantallas planas y células solares.

Fabricación de células solares

Ámbito de aplicación típico: la industria solar

Los ámbitos de aplicación típicos de la TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) son procesos de PECVD, de grabado y de pulverización iónica de AF en la industria solar.

Ideal para procesos de aplicación de capas y de grabado

Fabricación de semiconductores

En la fabricación de semiconductores se utilizan diferentes procesos de plasma, como procesos de abrasión, de grabación en seco o la fundición de zonas para la fabricación de silicio puro. Los generadores de la TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica adecuada, estable y óptima en los procesos correspondientes, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

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TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
Salida de AF      
Potencia de salida 2 kW 3 kW 6 kW
Potencia nominal 2 kW 3 kW 6 kW
Impedancia de la carga nominal 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Frecuencia de salida 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Datos de conexión de red      
Tensión de red 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Frecuencia de la red 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Potencia de red del portaútiles 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Factor de potencia 0,95 0,95 0,95
Interfaces de comunicación      
Interfaces Sync
Analógico/digital
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
Carcasa      
Peso 18 kg 18 kg 38 kg
Tipo de protección IP 30 30 30
Requisitos de refrigeración      
Presión máx. del agua 7 bar 7 bar 7 bar
Diferencia mín. de presión 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
Caudal mínimo 4 l/min 4 l/min 8 l/min
Temperatura del refrigerante 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
General      
Grado de rendimiento total 80 % 80 % 80 %
Certificados/estándares Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs
Condiciones del entorno      
Temperatura exterior 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Humedad del aire 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Presión barométrica 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Tecnología CombineLine integrada

Adaptación óptima a su proceso

La adaptación inteligente a tiempo real de TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) garantiza una adaptación rápida y directa de la impedancia a 50 ohmios. Gracias a la tecnología patentada CombineLine, las oscilaciones de plasma y la suciedad se evitan fiablemente, el concepto de refrigeración sin ventilador reduce la tasa de fallos, aumenta la eficiencia y permite la aplicación en salas blancas.

Generador de AF para circuitos oscilantes paralelos

Eficiencia y flexibilidad máximas

Gracias a los grados de rendimiento extremadamente elevados de hasta el 80 %, reducirá en hasta un 50 % sus costes energéticos en comparación con los generadores convencionales. Las numerosas interfaces disponibles (interfaz analógica configurable, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) simplifican la integración en instalaciones existentes; gracias a las fuentes de alimentación de ultraamplio espectro (200-480 VAC), no son necesarias adaptaciones técnicas. El diseño compacto a pesar de la alta intensidad de la radiación (unidad enchufable de 19 pulgadas o de ½-19 pulgadas) permite una integración espacialmente económica en cualquier planta de producción.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

La SystemPort posibilita un circuito regulador cerrado mediante la medición de la señal RF directamente en la entrada y la salida de la matchbox. El generador RF tiene disponibles todos los valores de medición. Así, pueden vigilarse mejor los parámetros de proceso, protegerse la matchbox y garantizarse una detección de arco temprana. El sistema RF completo también puede controlarse mediante una sola interfaz de generador.

Diversas opciones le permiten adaptar perfectamente el generador de AF a su aplicación.

Gestión de arco de AF

La sofisticada gestión de arco es el módulo ideal para el mejor control del proceso de plasma. Una detección de arco selectiva garantiza la máxima productividad posible y protege al mismo tiempo el producto y la instalación.

Auto Frequency Tuning

La solución patentada Auto Frequency Tuning posibilita una adaptación de la frecuencia simultánea y rápida, y garantiza una interacción óptima entre el generador y la matchbox. Mediante esta tecnología patentada, un mínimo local deja de ser un obstáculo: el sistema RF se lleva al grado óptimo y así, permite los mejores resultados de proceso con una alta reproducibilidad.

Todos los componentes del sistema RF TRUMPF están perfectamente armonizados entre sí.

Solución de sistema RF: matchbox para la mayor estabilidad de proceso
Matchbox de la TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Las redes de adaptación de TruPlasma Match proporcionan una transferencia óptima de potencia desde el generador a la descarga de plasma. La matchbox puede funcionar de forma autónoma o a través de una conexión inteligente entre generador y matchbox, la llamada SystemPort.

Oscilador maestro para la estabilización de procesos de plasma sincrónicos críticos
Osciladores maestros

Mediante osciladores maestros es posible estabilizar y optimizar procesos de plasma sincrónicos críticos. Un sintetizador de frecuencia y fase digital integrado asegura una elevada estabilidad de frecuencia y de fase y, además permite ajustar la posición de fase con una amplitud de secuencia muy pequeña. Hay disponibles diversos modelos de osciladores maestros para la frecuencia de 13,56 MHz, así como diferentes combinaciones de frecuencias.

Conmutador de AF para utilizar un generador de AF en sistemas de plasma flexibles
Conmutador de AF

Un conmutador de AF permite la utilización múltiple de un generador de AF en diferentes estaciones de proceso de plasma, por ejemplo, para la alimentación eléctrica de procesos secuenciales o en sistemas con distintos puntos de alimentación. Están disponibles diversos conmutadores de AF en dos categorías de potencia, así como con 2, 3 o 4 salidas.

Cable coaxial para la transferencia de la potencia especificada
Cables coaxiales

Para la transmisión de potencia de AF, TRUMPF Hüttinger ofrece cables coaxiales especialmente diseñados para el funcionamiento en sistemas de 50 ohmios.

Generador y matchbox: una solución de sistema perfectamente armonizada

Perfectamente armonizado: el sistema TRUMPF RF

Los procesos de plasma se comportan como una carga compleja y variable, cuya alimentación eléctrica debe ser seguida continuamente a través del generador. Esto lo realizan que las redes de adaptación, llamadas matchboxes, que en todo momento garantizan una adaptación precisa a la impedancia óptima de 50 ohmios. De este modo surge una solución de sistema perfectamente armonizada entre sí: el sistema TRUMPF RF. Mediante diversas interfaces como EtherCAT, es posible integrar el generador y la matchbox de forma fácil en los entornos de proceso existentes y, con una conexión inteligente entre generador y matchbox, la llamada SystemPort, lograr una solución de sistema optimizada.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

Notas a pie de página
  • La temperatura del agua de refrigeración debe superar el punto de rocío de la temperatura ambiente para evitar la condensación.

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Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
Correo electrónico

Descargas

Folleto TruPlasma RF Serie 1000 3000
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