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Generador VHF Serie 3000
Generador VHF Serie 3000
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Serie 3000

Preparada para cumplir todas las exigencias

Innovadora, modular, escalable: la nueva plataforma de generador de TRUMPF Hüttinger

Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que permite altas densidades de potencia y cumple los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua permite una escalada de la potencia de salida hasta 80 kW. Además, los generadores VHF compactos convencen por una alta rentabilidad y un robusto diseño.

Formación de pulso arbitraria rápida y precisa

Ofrece el mejor control de los procesos de plasma para el Single y Multi-Level Pulsing existente.

Tiempo de rampa mínimo < 150 ns

Gracias a esto, control muy flexible del comportamiento de encendido del generador.

Auto Frequency Tuning Smart

Ajuste de frecuencia automático para una interacción óptima entre el generador y la matchbox.

Control de proceso seguro y mejorado

Resultados del proceso excelentes y reproducibles gracias a la modulación de frecuencia digital de alta precisión.

Independencia respecto a la longitud de cable

No es necesaria una adaptación de la longitud del cable de AF al cambiar de proceso, por lo que los tiempos de preparación se acortan.

Diseño robusto

Funcionamiento fiable del generador incluso con maladaptación, gracias a la tecnología CombineLine.

Ámbito de aplicación típico de la TruPlasma VHF Serie 3000: fabricación de células solares

Producción de células solares

En el sector de la fotovoltaica, existen numerosos campos de aplicación para la energía de proceso a medida. Estos utilizan diferentes procesos de plasma para la aplicación y la abrasión de material como, por ejemplo, procesos de pulverización catódica, de PECVD y por grabado. Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 permiten adaptarse a la perfección a los procesos correspondientes, para lo cual la rápida gestión de arco posibilita un dominio del plasma estable. De esta forma, se garantizan unos resultados de proceso excelentes y una alta productividad.

Ideal para procesos de aplicación de capas y de grabado

Fabricación de semiconductores

En la fabricación de semiconductores se utilizan diferentes procesos de plasma, como procesos de abrasión, de grabación en seco o la fundición de zonas para la fabricación de silicio puro. Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica adecuada, estable y óptima en los procesos correspondientes, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

Excelente alimentación eléctrica de frecuencia media para el recubrimiento de pantallas planas

Ideal para el recubrimiento de pantallas planas

Los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 están perfectamente indicados para procesos de plasma tales como RIE, ALD, PECVD y pulverización catódica por radiofrecuencia. Estos procesos se utilizan para la fabricación de, entre otros, componentes de semiconductores y sistemas microelectromecánicos (MEMS), así como para el recubrimiento de pantallas planas y células solares.

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TruPlasma VHF 3005
Salida de AF  
Potencia de salida 5 kW
Potencia nominal 5 kW
Impedancia de la carga nominal 50 Ω
Frecuencia de salida 40,68 MHz
Datos de conexión de red  
Tensión de red 200 - 480 V
Frecuencia de la red 50-60 Hz
Potencia de red del portaútiles 18 kVA
Factor de potencia 0,95
Interfaces de comunicación  
Interfaces Sync
Analógico/digital
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
Carcasa  
Peso 55 kg
Tipo de protección IP 30
Requisitos de refrigeración  
Presión máx. del agua 7 bar
Diferencia mín. de presión 2 bar
Caudal mínimo 8 l/min
Temperatura del refrigerante 5 °C - 35 °C 1
General  
Grado de rendimiento total 75 %
Certificados/estándares Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
Condiciones del entorno  
Temperatura exterior 5 °C - 40 °C
Humedad del aire 5 % - 85 %
Presión barométrica 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Tecnología Combine-line de la TruPlasma VHF Serie 3000

Adaptación flexible al proceso

El concepto de plataforma modular de la TruPlasma VHF Serie 3000 permite una escalada del conductor de salida hasta 80 kW, gracias a la tecnología CombineLine implementada, el generador se comporta de forma muy robusta, incluso en caso de una maladaptación. Su amplio margen de frecuencia, así como la tensión de red variable y la longitud de cable permiten una adaptación flexible a las diferentes aplicaciones y países en donde se utiliza.

Generador de AF para circuitos oscilantes paralelos

Máxima eficiencia y rentabilidad

Los generadores AF de TruPlasma VHF Serie 3000 están construidos completamente con la técnica de semiconductores con transistores de potencia LDMOS. La técnica de estructura plana altamente integrada posibilita las altas densidades de potencia con una alta eficiencia energética al mismo tiempo y una potencia refrigeradora correspondientemente reducida. De esta manera, esta familia ofrece una rentabilidad nunca antes alcanzada en este margen de frecuencia y reduce los costes de servicio habituales del mercado.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

La SystemPort posibilita un circuito regulador cerrado mediante la medición de la señal RF directamente en la entrada y la salida de la matchbox. El generador RF tiene disponibles todos los valores de medición. Así, pueden vigilarse mejor los parámetros de proceso, protegerse la matchbox y garantizarse una detección de arco temprana. El sistema RF completo también puede controlarse mediante una sola interfaz de generador.

Diversas opciones permiten una adaptación perfecta del generador VHF a su aplicación.

Smart Auto Frequency Tuning

La solución patentada Auto Frequency Tuning posibilita una adaptación de la frecuencia simultánea y rápida, y garantiza una interacción óptima entre el generador y la matchbox. Mediante esta tecnología patentada, un mínimo local deja de ser un obstáculo: el sistema RF se lleva al grado óptimo y así, permite los mejores resultados de proceso con una alta reproducibilidad.

Gestión de arco

La sofisticada gestión de arco es el módulo ideal para el mejor control del proceso de plasma. Una detección de arco selectiva garantiza la máxima productividad posible y protege al mismo tiempo el producto y su instalación.

Formación de impulsos flexible

Formación de impulsos flexible: la forma de la señal de salida se puede adecuar a voluntad en las demandas de proceso correspondientes.

Software de manejo sencillo TruControl Power

TruControl Power

El software de mando TruControl Power, de fácil manejo, permite una puesta en funcionamiento confortable y una supervisión segura del generador AF o del sistema RF TRUMPF completo a lo largo del proceso.

Con la selección de los componentes del sistema idóneos puede adaptar a la perfección el generador VHF a los requisitos de su aplicación.

Solución de sistema RF: matchbox para la mayor estabilidad de proceso
Matchbox

Las redes de adaptación de TruPlasma Match proporcionan una transferencia óptima de potencia desde el generador a la descarga de plasma. La matchbox puede funcionar de forma autónoma o a través de una conexión inteligente entre generador y matchbox, la llamada SystemPort.

Juego de accesorios de la TruPlasma VHF Serie
Juego de accesorios

Está compuesto por el adaptador para las tomas de agua, el juego para el suministro de corriente alterna HARTING, el puente para la función de enclavamiento, el adaptador de LEMO EPL a BNC hembra (para clavija Clock and Pulse sync).

Oscilador maestro para la estabilización de procesos de plasma sincrónicos críticos
Osciladores maestros

Mediante osciladores maestros es posible estabilizar y optimizar procesos de plasma sincrónicos críticos. Un sintetizador de frecuencia y fase digital integrado asegura una elevada estabilidad de frecuencia y de fase y, además permite ajustar la posición de fase con una amplitud de secuencia muy pequeña. Hay disponibles diversos modelos de osciladores maestros para la frecuencia de 13,56 MHz, así como diferentes combinaciones de frecuencias.

Generador VHF Serie 3000
Conmutador de AF

Un conmutador de AF permite la utilización múltiple de un generador de AF en diferentes estaciones de proceso de plasma, por ejemplo, para la alimentación eléctrica de procesos secuenciales o en sistemas con distintos puntos de alimentación. Están disponibles diversos conmutadores de AF en dos categorías de potencia, así como con 2, 3 o 4 salidas.

Cable coaxial para la transferencia de la potencia especificada
Cables coaxiales

Para la transmisión de potencia de AF, TRUMPF Hüttinger ofrece cables coaxiales especialmente diseñados para el funcionamiento en sistemas de 50 ohmios.

Generador y matchbox: una solución de sistema perfectamente armonizada

Perfectamente armonizado: el sistema TRUMPF RF

Los procesos de plasma se comportan como una carga compleja y variable, cuya alimentación eléctrica debe ser seguida continuamente a través del generador. Esto lo realizan que las redes de adaptación, llamadas matchboxes, que en todo momento garantizan una adaptación precisa a la impedancia óptima de 50 ohmios. De este modo surge una solución de sistema perfectamente armonizada entre sí: el sistema TRUMPF RF. Mediante diversas interfaces como EtherCAT, es posible integrar el generador y la matchbox de forma fácil en los entornos de proceso existentes y, con una conexión inteligente entre generador y matchbox, la llamada SystemPort, lograr una solución de sistema optimizada.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

Notas a pie de página
  • La temperatura del agua de refrigeración debe superar el punto de rocío de la temperatura ambiente para evitar la condensación.

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Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
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Folleto TruPlasma RF System
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