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Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1)

Resultados óptimos en calidad de capa

Emisores de pulsaciones bipolares de última generación

Las alimentaciones de corriente de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1), se han desarrollado especialmente para el recubrimiento asistido con plasma mediante procesos de PVD, PECVD y pulverización reactiva y, gracias a las señales de salida configurables de forma flexible y una sofisticada gestión de arco, proporcionan resultados excelentes en la fabricación de semiconductores y células solares, en el recubrimiento de vidrio arquitectónico y en la aplicación de capas decorativas y resistentes al desgaste.

Energía de arco sumamente reducida

Gestión de arco completamente digital para una calidad de capa y una productividad máximas.

Formas de onda ajustables

Adaptación sencilla a distintos procesos gracias a la variación de la señal de salida.

Un generador, muchas aplicaciones

CC, CC por impulsos y bipolar: ahorro de costes gracias a las variadas opciones de ajuste.

Refrigeración por agua integrada

Sin necesidad de componentes externos, por lo que ocupa muy poco espacio.

Ideal para el recubrimiento de piezas de metal

Excelente alimentación eléctrica

Sus ámbitos de aplicación típicos son la producción de semiconductores y fotovoltaica, el recubrimiento de vidrio arquitectónico así como la obtención de capas decorativas y resistentes al desgaste de máxima calidad. Para ello se utilizan principalmente procesos PVD y PECVD.

Gestión de arco

Capas perfectas, alta productividad

La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Incluso en procesos reactivos exigentes, la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) garantiza en todo momento una alimentación eléctrica del proceso uniforme y, por consiguiente, un estado de plasma estable.

Versátiles en su aplicación gracias a la selección flexible de la señal de salida

Mayor flexibilidad, costes reducidos

Las formas de onda ajustables le permiten adaptar muy fácilmente los generadores de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1) a diversos requisitos de proceso. Gracias a la selección flexible de la señal de salida (CC, CC por impulsos o bipolar), son versátiles en su aplicación y ayudan así a reducir sus costes de servicio totales (TCO).

Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4060

Todo en una sola carcasa

Gracias a la refrigeración por agua completamente integrada en la carcasa del generador, protegida contra las influencias ambientales, no se requieren componentes externos.

Software de fácil manejo para el usuario PVD Power

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como de las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario, y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Puede seleccionar distintos componentes del sistema para adaptar de forma óptima el generador de impulsos bipolar a su entorno del sistema.

Cables de potencia para frecuencia media
Cable de red

Hay disponibles diversos modelos de cable y clavija para la adaptación a diferentes estándares de conexión.

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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