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Generador de voltaje de polarización con gestión de tensión estable y gestión de arco rápida
Generador de voltaje de polarización con gestión de tensión estable y gestión de arco rápida
Excitaciones de plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 4000

Estable y versátil

Generadores universales para sus procesos de pulverización catódica

La TruPlasma Bias Serie 4000 es una familia de productos de los más modernos generadores de voltaje de polarización por impulsos CC. Es posible conseguir frecuencias de impulso de hasta 100 kHz, así como salidas de corriente de polarización continuas. Los generadores sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Aparte de esto, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.

Modos de alta y baja tensión

1200 V para procesos con sustrato o decapado
300 V para procesos de aplicación de capas reforzados por corriente de polarización.

Gestión de arco rápida

Con ello, notablemente menos desprendimientos de gota y daños del sustrato.

Resultados de proceso estables y reproducibles

Excelente gestión de arco gracias a la más moderna tecnología DSP y la evaluación de la señal FPGA.

El ámbito de aplicación típico de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): fabricación de capas resistentes al desgaste

Fabricación de capas resistentes al desgaste

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 4000 garantizan procesos de plasma estables y, con ello, una calidad de capa óptima.

Ideal para el recubrimiento de grandes superficies

Recubrimiento de grandes superficies

El recubrimiento de grandes superficies en los procesos de plasma plantea requisitos particularmente altos a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 4000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

Generator de la TruPlasma Bias Serie 4000

Fabricación de células solares

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 4000 demuestran su eficacia en todos los procesos PVD y PECVD críticos y ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.

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TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Salida      
Potencia nominal 12 kW 18 kW 26 kW
Corriente de salida máxima 40 A ef 60 A ef 87 A ef
Tensión de salida máxima 1200 V ef 1200 V ef 1200 V ef
Frecuencia nominal de servicio 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parámetros de arco      
Tasa máxima del arco 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Tiempo de tratamiento arco <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Datos de conexión de red      
Tensión de red 3 veces 360 V - 440 V 3 veces 360 V - 440 V 3 veces 360 V - 440 V
Frecuencia de la red 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfaces de comunicación      
Analógico/digital
RS 232 / RS 485 - -
PROFIBUS -
EtherCAT No No No
Carcasa      
Peso 70 kg 70 kg 71 kg
Tipo de protección IP IP 20 IP 20 IP 20
Requisitos de refrigeración      
Refrigerante Aire Aire Aire
Temperatura del refrigerante 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
General      
Grado de rendimiento total 90 % 90 % 90 %
Certificados/estándares CE CE CE
Condiciones del entorno      
Temperatura exterior 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Humedad del aire 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Presión barométrica 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Ficha de datos técnicos

Los datos técnicos de todas las variantes de producto para descargar.

Vidrio arquitectónico

Garantiza buenas condiciones de proceso permanentes.

El diseño especial de potencia y control garantiza una estabilidad de tensión sólida que es decisiva para la calidad de capa y un proceso estable. Concebida con tecnología DSP y con evaluación de señal FPGA, la TruePlasma Bias Serie 4000 cuenta con una moderna gestión de arco que ofrece una precisión y una exactitud de repetición únicas. Los valores impresionantes de ambos parámetros garantizan una estabilización de proceso óptima.

Recubrimiento con material duro

Manejo del sistema simplificado al tener solamente un aparato para varios procesos

La TruPlasma Bias Serie 4000 cuenta con dos modos de tensión separados: un modo de alta tensión con hasta 1200 voltios y un modo de baja tensión con hasta 300 voltios. Los modos sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Además de esto, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.

Gestión de arco

Calidad de capa óptima con procesos sin dificultades

Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 4000 están equipados con gestión de arco completamente digital con una energía de arco muy reducida y CompensateLine, lo que posibilita altas calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Así se producen aún menos desprendimiento de gotas y daños del sustrato, lo que mejora el proceso y el producto.

Software de fácil manejo para el usuario PVD Power

PVD Power

El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).

Dependiendo del país, es posible que existan diferencias con respecto a esta gama de productos y a estos datos. Nos reservamos el derecho a realizar modificaciones en la técnica, equipamiento, precio y oferta de accesorios. Póngase en comunicación con su persona de contacto en su zona para saber si el producto está disponible en su país.

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Contacto

Klaus Nock
Ventas de plasma
Fax +49 761 89711150
Correo electrónico

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Folleto TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
Folleto TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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