Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 pueden utilizarse como alternativa a los generadores de pulverización CC en sistemas de magnetrones, sin necesidad de efectuar modificaciones.
Los impulsos de hasta 8 MW generan un plasma extremadamente denso para los mejores resultados de recubrimiento.
Resultados de proceso excelentes con pulverizadores catódicos de impulso a alta potencia de magnetrón (HIPIMS).
Potencia de impulso de entre 1 MW y 8 MW, potencia media de entre 10 kW y 20 kW.
Aplicaciones HIPIMS
Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 son la mejor elección para aplicaciones HIPIMS. Como desarrollo más novedoso de los procesos de pulverización catódica PVD, HIPIMS produce recubrimientos con material duro particularmente resistentes a la corrosión y al desgaste.
Decapado, tratamiento previo de superficies y llenado de surcos
Los picos de potencia de hasta 8 megavatios permiten densidades de plasma extremas con altos flujos de iones. La tecnología HIPIMS básicamente se puede comparar con una descarga de arco, sin embargo, casi no se produce goteo de material (droplets). En combinación con sustratos polarizados, la TruPlasma Highpulse Serie 4000 también se puede utilizar en aplicaciones de semiconductores como, por ejemplo, el decapado, el tratamiento previo de superficies y el llenado de surcos.
Ideal para el recubrimiento de grandes superficies
El recubrimiento de grandes superficies plantea en los procesos de plasma requisitos particularmente altos a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.
Fabricación de células solares
En el sector de la fotovoltaica, existen numerosos campos de aplicación para la energía de proceso a medida. Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 permiten ajustarse de forma óptima a cada proceso y hacen posibles unos parámetros de recubrimiento excelentes y una alta productividad.
Resultados de proceso óptimos
Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 ofrecen una flexibilidad insuperable para los procesos de investigación e industria y hacen posible una pulverización catódica sin goteo y con mínimos defectos superficiales. La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida, basada en la medición de corriente a tiempo real, posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas.
Uso flexible
Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 son fácilmente ajustables a los sistemas de cátodos y a los requerimientos de proceso existentes y hacen posible una conexión de aparatos óptima.
Diversas opciones le garantizan la adaptación perfecta de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 a su aplicación.
La gestión de arco íntegramente digital con energía de arco muy reducida posibilita calidades de capa y tasas de deposición elevadas.
PVD Power
El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).
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