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Generadores de plasma | TRUMPF
Imagen tecnológica del generador de plasma DC

Generadores de plasma

Los generadores de plasma de TRUMPF Hüttinger proporcionan la energía de proceso necesaria para muchas industrias de alta tecnología y, de este modo, hacen posible el recubrimiento funcional de celdas solares y microchips, el revestimiento de grandes superficies de vidrio arquitectónico y la fabricación de componentes semiconductores y pantallas planas. Gracias a su excepcional precisión, su eficiencia energética y la gran estabilidad de proceso, son líderes en el mercado.

Generadores de plasma MF

Gracias a su excepcional precisión y productividad, es la solución ideal para numerosas aplicaciones en la excitación plasmática.

Generadores de plasma por impulsos DC

Los generadores de plasma por impulsos DC de TRUMPF Hüttinger son ideales para su aplicación en gran número de procesos reactivos.

Generadores de plasma DC

Los generadores de plasma DC de TRUMPF Hüttinger son un clásico de la excitación plasmática.

Generadores de plasma HF

La primera opción para aplicaciones exigentes, tales como la fabricación de componentes semiconductores, microchips, celdas solares o pantallas planas.

Generadores de plasma MF

Generador bipolar TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1)

Las alimentaciones de corriente de proceso de la TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2.1), con señales de salida configurables de forma flexible y una sofisticada gestión de arco, proporcionan resultados excelentes en la fabricación de semiconductores y células solares, en el recubrimiento de vidrio arquitectónico y en la aplicación de capas decorativas y resistentes al desgaste. Estos generadores de última generación se adaptan excelentemente a procesos de plasma exigentes como pulverización reactiva, PVD y PECVD.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

Con los generadores de frecuencia media de la TruPlasma Serie MF 7000 (G2) siempre tiene el control completo de su proceso; como resultado, extraordinarias calidades de capa y máxima productividad, incluso con exigentes aplicaciones de recubrimiento de grandes superficies. Con un pico de eficiencia superior al 90 %, estas alimentaciones eléctricas de la última generación permiten al mismo tiempo un funcionamiento sumamente rentable.

Generadores de plasma por impulsos DC

Generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2)

Los suministros de corriente de proceso de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste, y son la mejor elección para aplicaciones HIPIMS. En combinación con sustratos polarizados, la TruPlasma Highpulse Serie 4000 (G2) también se puede utilizar en aplicaciones de semiconductores como, por ejemplo, el decapado, el tratamiento previo de superficies y el llenado de surcos.

Generador de la TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Los generadores de la TruPlasma Highpulse Serie 4000 son la mejor elección para aplicaciones HIPIMS y proporcionan recubrimientos con material duro especialmente resistentes a la corrosión y al desgaste. En combinación con sustratos polarizados, la TruPlasma Highpulse Serie 4000 también se puede utilizar en aplicaciones de semiconductores como, por ejemplo, el decapado, el tratamiento previo de superficies y el llenado de surcos.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

La TruPlasma DC Serie 4000 (G2) unifica la excelente gestión de arco de TRUMPF Hüttinger y las ventajas de la tecnología de impulsos de CC. Así puede conseguir mejores resultados de recubrimiento con menos defectos y, al mismo tiempo, una mayor tasa de desprendimiento. El resultado son superficies brillantes y un alto rendimiento de la producción.

Generadores de plasma DC

Generador de corriente continua TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

Como nueva generación de generadores de corriente continua, la TruPlasma CC Serie 3000 (G2) es ideal para una multitud de procesos de pulverización catódica de CC. Gracias a su avanzada gestión de arco y a la refrigeración por agua integrada, los generadores de CC también son interesantes como alternativa económica a los generadores de CC por impulsos. El diseño muy compacto posibilita además una integración fácil en las aplicaciones existentes.

Generador de arco de la TruPlasma Arc Serie 3000

TruPlasma Arc Serie 3000

Los generadores de la TruPlasma Arc Serie 3000 convencen, sobre todo, por los recubrimientos de material duro y decorativos. Su diseño compacto y la refrigeración por aire garantizan un aprovechamiento óptimo de la valiosa superficie útil y facilitan la integración en sistemas nuevos o ya instalados.

Generadores de plasma RF

TruPlasma RF Air Serie 1000

El generador de AF refrigerado por aire TruPlasma RF 1001 Air proporciona hasta 1000 vatios de energía de AF reproducible de alta precisión con una resolución extremadamente alta (en saltos de 100 mW). Esto lo convierte en el generador apropiado para una amplísima variedad de aplicaciones de plasma. Tanto si se trata de fabricar semiconductores, como células solares o pantallas: la tecnología patentada de TRUMPF Hüttinger garantiza en todos los lugares la máxima disponibilidad y los mejores resultados de proceso gracias a sus modernas funciones de procesamiento.

Generador de alta frecuencia TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)

Las TruPlasma RF Series 1000 / 3000 (G2/13) son generadores de AF de última generación. Gracias a innovadoras funciones como la tecnología de acoplamiento patentada CombineLine o la medición a tiempo real de todos los parámetros de proceso, se garantiza una alimentación eléctrica segura incluso en exigentes procesos de plasma; requisitos óptimos para obtener resultados reproducibles y una productividad elevada.

Generadores de alta frecuencia TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Serie 3000

Los potentes generadores de AF de la TruPlasma RF Serie 3000 se distinguen por la máxima eficiencia y estabilidad del proceso. Por ello son ideales para procesos de plasma exigentes, como los que se emplean, por ejemplo, para la fabricación de pantallas planas, células solares o semiconductores. Las matchboxes precisamente armonizadas con el generador para la adaptación de la impedancia proporcionan en todo momento una transferencia de potencia estable y óptima, del generador al plasma.

Generador VHF Serie 3000

TruPlasma VHF Serie 3000

Alto rendimiento para su proceso: los generadores de la TruPlasma VHF Serie 3000 se basan en un concepto innovador de plataforma que cumple hasta los más exigentes requisitos del proceso. La estructura modular y refrigerada completamente por agua de los generadores VHF permite una escalada de la potencia de salida hasta los 80 kW, ¡y esto en un espacio mínimo!

Solución de sistema RF: matchbox para la mayor estabilidad de proceso

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

El desarrollo óptimo de un proceso de plasma depende de la adaptación exacta de la impedancia de salida del generador de AF. Esta la proporcionan las matchboxes de la TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) como vínculo entre el generador y el proceso. De este modo surge una solución integral para la alimentación eléctrica de su proceso: el sistema TRUMPF RF.

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Nikolas Hunzinger
Ventas de plasma
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