Generadores universales para sus procesos de pulverización catódica
Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Por ello, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.
1200 V para procesos con sustrato o decapado
300 V para procesos de aplicación de capas reforzados por corriente de polarización.
Energía residual de arco muy baja, y en consecuencia menos daños en el substrato y procesos más estables.
Precisión única gracias a la más moderna tecnología DSP y la evaluación de la señal FPGA.
Recubrimiento decorativo
El recubrimiento de grandes superficies plantea en los procesos de plasma requisitos particularmente altos a la corriente de alimentación del proceso. Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, de forma que se obtienen resultados excelentes y reproducibles.
Tecnología de semiconductores
Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 demuestran su eficacia en todos los procesos PVD y PECVD críticos y ofrecen todos los requisitos para una alimentación eléctrica estable y óptimamente ajustada al proceso, para que usted obtenga unos resultados excelentes y reproducibles.
Garantiza buenas condiciones de proceso permanentes.
El diseño especial de potencia y control garantiza una estabilidad de tensión sólida que es decisiva para la calidad de capa y un proceso estable. Concebida con tecnología DSP y con evaluación de señal FPGA, la TruePlasma Bias Serie 3000 cuenta con una moderna gestión de arco que ofrece una precisión y una exactitud de repetición únicas. Los valores impresionantes de ambos parámetros garantizan una estabilización de proceso óptima.
Manejo del sistema simplificado al tener solamente un aparato para varios procesos
La TruPlasma Bias Serie 3000 cuenta con dos modos de tensión separados: un modo de alta tensión con hasta 1200 voltios y un modo de baja tensión con hasta 300 voltios. Los modos sustentan magníficamente aplicaciones de recubrimiento óptico y metálico, por ejemplo, cuando se trabaja con tecnología de semiconductores o el recubrimiento con materiales duros. Además de esto, son aptos para cualquier aplicación con requisitos similares en cuanto a tensión y corriente.
Calidad de capa óptima gracias a los procesos realizados sin dificultades
Los generadores de la TruPlasma Bias Serie 3000 están equipados con gestión de arco completamente digital con una energía de arco muy reducida y CompensateLine, lo que posibilita altas calidades de capa y tasas de deposición elevadas. Así se producen aún menos daños del sustrato, lo que mejora el proceso y el producto final.
PVD Power
El software multilingüe de fácil manejo PVD Power le ofrece múltiples posibilidades de manejo, configuración y diagnóstico para la optimización de la calidad del proceso y la subsanación eficaz de errores: visualización de los valores reales de todos los parámetros de proceso importantes, así como las advertencias y mensajes de alarma, predeterminación de los valores nominales por parte del operario y el registro y la visualización de importantes parámetros de funcionamiento con una alta solución temporal (función de osciloscopio).
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