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Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 4000

Stable et polyvalent

Générateurs universels pour votre processus de pulvérisation

La TruPlasma Bias Série 4000 est une gamme de générateurs Bias CC pulsés très modernes. Des fréquences d'impulsions atteignant 100 kHz ainsi qu'une sortie Bias continue sont possibles. Les générateurs prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui interviennent pas exemple dans la technique de semi-conducteur ou le revêtement en matériau dur. Ils sont de plus appropriés pour toute application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

Modes haute tension et basse tension

1 200 V pour les processus de gravure de substrat,
300 V pour les processus de revêtement compatibles Bias.

Gestion de l'arc rapide

D'où une réduction des séparations de gouttelettes et des détériorations du substrat.

Résultats de processus stables et reproductibles

Excellente gestion de l'arc grâce à la technologie DSP moderne et à l'analyse de signal FPGA.

Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) : fabrication de revêtements résistants à l'usure

Production de revêtements résistants à l'usure

Les générateurs pulsés TruPlasma Bias Série 4000 assurent un processus plasma stable ainsi qu'une qualité de revêtement optimale.

Idéal pour les revêtements de grande surface

Revêtement de grandes surfaces

Les revêtements de grande surface sont particulièrement exigeants envers l'alimentation électrique du processus. Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, de sorte à atteindre des résultats excellents et reproductibles.

Générateur TruPlasma Bias Série 4000

Fabrication de cellules photovoltaïques

Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 s'imposent dans tous les processus PVD et PECVD critiques et offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, pour atteindre des résultats excellents et reproductibles.

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TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Sortie      
Puissance nominale 12 kW 18 kW 26 kW
Courant de sortie maximal 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Tension de sortie maximale 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Fréquence de fonctionnement nominale 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Paramètre arc      
Taux arc maximum 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Durée de traitement arc <0.5 µs <0.5 µs <0.5 µs
Données de raccordement réseau      
Tension de réseau 3 x 360 V - 440 V 3 x 360 V - 440 V 3 x 360 V - 440 V
Fréquence du réseau 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfaces de communication      
Analogique/numérique Oui Oui Oui
RS 232/RS 485 - Oui -
PROFIBUS Oui - Oui
EtherCAT Non Non Non
Enceinte      
Poids 70 kg 70 kg 71 kg
Protection IP IP 20 IP 20 IP 20
Exigences de refroidissement      
Médium de refroidissement Air Air Air
Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Général      
Rendement global 90 % 90 % 90 %
Certificats/standards CE CE CE
Conditions d'environnement      
Température extérieure 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Humidité de l'air 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pression barométrique 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Verre architectural

Assure des conditions de processus constamment bonnes

La conception spéciale de puissance et de commande garantit une grande stabilité de tension qui est décisive pour la qualité de revêtement et un processus stable. Reposant sur la technologie DSP avec analyse de signal FPGA, la gamme TruPlasma Bias Série 4000 dispose d'une gestion d'arc moderne qui offre une exactitude et une précision de répétition uniques. Les impressionnantes valeurs des deux paramètres sont garantes d'une stabilisation optimale du processus.

Revêtement en matériau dur

Facilite le traitement du processus avec un seul appareil pour plusieurs processus

La TruPlasma Bias Série 4000 dispose de deux modes tension séparés : un mode haute tension pour max. 1200 volt et un mode basse tension limité à 300 volt. Ces modes prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui interviennent pas exemple dans la technique de semi-conducteur ou le revêtement en matériau dur. Ils s'adaptent en outre à chaque application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

Gestion d'arc

Une qualité de revêtement optimale par des processus sans accroc

Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 sont équipés d'une gestion de l'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc qui rend ainsi possible des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Cela réduit encore les séparations de gouttelettes et les détériorations de substrat, le processus et le produit sont améliorés.

Logiciel convivial PVD Power

PVD Power

Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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Klaus Nock
Ventes Plasma
Fax +49 761 89711150
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Brochure TruPlasma Bias Série 3000 / 4000
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