Nous utilisons des cookies pour la préparation de ce site internet. Si vous continuez d'utiliser ce site internet sans modifier les réglages pour les cookies, nous en déduisons que vous êtes d'accord avec l'utilisation de ces derniers.
Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 4000

Stable et polyvalent

    - / -
    • Aperçu
    • Applications
    • Données techniques
    • Avantages pour le client
    • Logiciels
    • Plus Moins
    Générateurs universels pour votre processus de pulvérisation

    La TruPlasma Bias Série 4000 est une gamme de générateurs Bias CC pulsés très modernes. Des fréquences d'impulsions atteignant 100 kHz ainsi qu'une sortie Bias continue sont possibles. Les générateurs prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui interviennent pas exemple dans la technique de semi-conducteur ou le revêtement en matériau dur. Ils sont de plus appropriés pour toute application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

    Modes haute tension et basse tension

    1 200 V pour les processus de gravure de substrat,
    300 V pour les processus de revêtement compatibles Bias.

    Gestion de l'arc rapide

    D'où une réduction des séparations de gouttelettes et des détériorations du substrat.

    Résultats de processus stables et reproductibles

    Excellente gestion de l'arc grâce à la technologie DSP moderne et à l'analyse de signal FPGA.

    Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) : fabrication de revêtements résistants à l'usure

    Production de revêtements résistants à l'usure

    Les générateurs pulsés TruPlasma Bias Série 4000 assurent un processus plasma stable ainsi qu'une qualité de revêtement optimale.

    Idéal pour les revêtements de grande surface

    Revêtement de grandes surfaces

    Les revêtements de grande surface sont particulièrement exigeants envers l'alimentation électrique du processus. Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, de sorte à atteindre des résultats excellents et reproductibles.

    Générateur TruPlasma Bias Série 4000

    Fabrication de cellules photovoltaïques

    Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 s'imposent dans tous les processus PVD et PECVD critiques et offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, pour atteindre des résultats excellents et reproductibles.

    TruPlasma Bias 4012
    TruPlasma Bias 4018
    TruPlasma Bias 4026
    Sortie      
    Puissance nominale 12 kW 18 kW 26 kW
    Courant de sortie maximal 40 A eff 60 A eff 87 A eff
    Tension de sortie maximale 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
    Fréquence de fonctionnement nominale 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
    Paramètre arc      
    Taux arc maximum 50 1/s 50 1/s 50 1/s
    Durée de traitement arc <0.5 µs <0.5 µs <0.5 µs
    Données de raccordement réseau      
    Tension de réseau 3 x 360 V - 440 V 3 x 360 V - 440 V 3 x 360 V - 440 V
    Fréquence du réseau 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Interfaces de communication      
    Analogique/numérique Oui Oui Oui
    RS 232/RS 485 - Oui -
    PROFIBUS Oui - Oui
    EtherCAT Non Non Non
    Enceinte      
    Poids 70 kg 70 kg 71 kg
    Protection IP IP 20 IP 20 IP 20
    Exigences de refroidissement      
    Médium de refroidissement Air Air Air
    Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Général      
    Rendement global 90 % 90 % 90 %
    Certificats/standards CE CE CE
    Conditions d'environnement      
    Température extérieure 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
    Humidité de l'air 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pression barométrique 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
    PDF <1MB
    Fiche technique

    Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

    Verre architectural

    Assure des conditions de processus constamment bonnes

    La conception spéciale de puissance et de commande garantit une grande stabilité de tension qui est décisive pour la qualité de revêtement et un processus stable. Reposant sur la technologie DSP avec analyse de signal FPGA, la gamme TruPlasma Bias Série 4000 dispose d'une gestion d'arc moderne qui offre une exactitude et une précision de répétition uniques. Les impressionnantes valeurs des deux paramètres sont garantes d'une stabilisation optimale du processus.

    Revêtement en matériau dur

    Facilite le traitement du processus avec un seul appareil pour plusieurs processus

    La TruPlasma Bias Série 4000 dispose de deux modes tension séparés : un mode haute tension pour max. 1200 volt et un mode basse tension limité à 300 volt. Ces modes prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui interviennent pas exemple dans la technique de semi-conducteur ou le revêtement en matériau dur. Ils s'adaptent en outre à chaque application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

    Gestion d'arc

    Une qualité de revêtement optimale par des processus sans accroc

    Les générateurs TruPlasma Bias Série 4000 sont équipés d'une gestion de l'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc qui rend ainsi possible des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Cela réduit encore les séparations de gouttelettes et les détériorations de substrat, le processus et le produit sont améliorés.

    Logiciel convivial PVD Power

    PVD Power

    Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

    En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

    Vous pourriez également être intéressé par ces thèmes

    Services_Electronics_Technical_Support
    Un service inégalé

    Avec une convention de service taillée sur mesure, vous obtenez une disponibilité maximale de vos générateurs et contrôlez dans le même temps vos coûts d’exploitation et de maintenance.

    Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
    Processus pulsés optimisés

    Les générateurs TruPlasma Bias Série 3000 sont équipés d'une gestion de l'arc totalement numérique et de deux modes de fonctionnement, ce qui rend possible des qualités de revêtement et des taux de dépôt élevés.

    Services_Electronics_Training
    Les formations clients individualisées, notre point fort

    Des techniciens SAV expérimentés transmettent des connaissances approfondies, taillées sur mesure en fonction des besoins des participants.

    Contact

    Klaus Nock
    Ventes Plasma
    Fax : +49 761 89711150
    E-mail

    Téléchargements

    Brochure
    Brochure TruPlasma Bias Série 3000 / 4000
    Brochure TruPlasma Bias Série 3000 / 4000
    pdf - 1 MB
    Service et contact