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Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000
Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Série 4000

Plasma haute densité pour des résultats de revêtement supérieurs

Le premier choix pour les applications HIPIMS

Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 peuvent être utilisés sans modification à la place des générateurs de pulvérisation à courant continu dans les systèmes à magnétron existants.

Excellentes propriétés de revêtement

Des impulsions pouvant atteindre 8 MW génèrent un plasma extrêmement dense, pour des résultats de revêtement d'excellente qualité.

Revêtement et adhérence irréprochables

Excellents résultats de processus HIPIMS (pulvérisation magnétron en régime d’impulsions de haute puissance).

Diverses classes de puissance

Puissance d'impulsion entre 1 MW et 8 MW, puissance moyenne de 10 kW à 20 kW.

Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000 mis en oeuvre

Applications HIPIMS

Les générateurs TruPlasma Highpulse Série 4000 représentent le choix optimal pour les applications HIPIMS. En qualité de développement le plus récent de processus de pulvérisation PVD pulsés, HIPIMS fournit en particulier des revêtements en matériau dur résistant à la corrosion et à l'usure.

Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

Gravure, prétraitement de surfaces et Trench-Filling

Des pics de puissance jusqu'à 8 MW génèrent des densités de plasma extrêmes avec des flux d'ions élevés. Comparable au niveau du principe avec une décharge d'arc, il n'est toutefois pas créé de gouttelettes de matériau (droplets) avec la technique HIPIMS. En combinaison avec des substrats polarisés, la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 peut également être utilisée pour des applications de semi-conducteurs, comme la gravure, le prétraitement de surfaces et le remplissage de tranchée.

Idéale pour les revêtements de grande surface

Idéale pour les revêtements de grande surface

Les revêtements de grande surface en processus plasma posent des exigences particulièrement fortes en matière d'alimentation électrique. Les générateurs TruPlasma Highpulse Série 4000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, de sorte à atteindre des résultats excellents et reproductibles.

Domaine d'utilisation de la TruPlasma Highpulse Série 4000 : des processus exigeants dans l'industrie photovoltaïque

Fabrication de cellules photovoltaïques

Il existe de nombreux domaines d'utilisation dans le secteur de la photovoltaïque pour une énergie de processus sur mesure. Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 peuvent être adaptés de manière optimale aux différents processus, et autorisent des paramètres de revêtement excellents ainsi qu'une productivité élevée.

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Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000 mis en oeuvre

Résultats de processus optimaux

Les générateurs TruPlasma Highpulse Série 4000 offrent une flexibilité sans équivalent pour les processus de recherche et industriels tout en permettant une pulvérisation sans gouttes et des défauts de surfaces réduits au minimum. La gestion de l'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc, fondée sur une mesure de courant en temps réel, rend possible des qualités de revêtement et des taux de croissance élevés.

Ils permettent une intégration optimale : les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000

Utilisation flexible

Les générateurs TruPlasma Highpulse Série 4000 peuvent être facilement adaptés aux systèmes de cathodes et aux conditions de processus existants, autorisant une intégration optimale des appareils.

Diverses options garantissent une adaptation optimale de la TruPlasma Highpulse Série 4000 à votre application.

Arc-Management CompensateLine (CLC)

La gestion de l'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend possible des qualités de revêtement et des taux de croissance élevés.

Logiciel de commande graphique PVD Power

PVD Power

Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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Contact

Klaus Nock
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Fax +49 761 89711150
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Brochure TruPlasma Highpulse Série 4000
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