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Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Une adaptation intelligente grâce à des mesures en temps réel

Une solution système RF qui forme une unité

Les nouveaux réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) représentent le complément idéal des générateurs HF TRUMPF Hüttinger. Grâce à un algorithme d'adaptation intelligent et à une plateforme de commande numérique pour l'observation du processus, c'est une solution complète, offrant une synergie optimale de tous les composants, qui est proposée : le système RF TRUMPF.

Algorithme d'adaptation intelligent

Adaptation rapide, stable et reproductible de l'impédance à 50 ohms, même dans les processus critiques.

Système complet en parfaite synergie

Logiciel avancé et communication améliorée entre le générateur et le réseau adaptatif.

Mesure en temps réel de la puissance HF

Actualisation rapide du système à chaque modification de l'impédance du réseau adaptatif et de la charge.

Circuit de régulation fermé

Surveillance optimale des paramètres de processus et identification d'arc précoce.

Contrôle convivial du processus

Interface utilisateur graphique et outils efficaces (abaque de Smith, oscilloscope en temps réel).

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale

Fabrication de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et d'écrans plats

La stabilité des processus par plasma est d'une importance cruciale pour la fabrication de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et d'écrans plats. Combinés aux générateurs HF TRUMPF Hüttinger, les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) offrent une solution complète, pour une stabilité de processus et une productivité maximales.

Ils vous assistent dans vos opérations de revêtement de matière dure : réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Application de revêtements de substance dure ou de protection contre l'usure

Les pièces à usiner fortement sollicitées sont dotées d'une dureté mécanique renforcée ainsi que d'une meilleure stabilité thermique et chimique grâce à l'application d'un revêtement fonctionnel. Associés à un générateur HF TRUMPF Hüttinger, les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) garantissent une qualité de revêtement parfaite.

Parfaitement adaptés au revêtement de grandes surfaces : les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Enlèvement de matière et revêtement de surfaces

Les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) peuvent être utilisés dans tous les procédés courants d'enlèvement de matière ou de revêtement de surfaces par plasma – comme la gravure par plasma, la gravure ionique réactive, les procédés ALD et PECVD, la pulvérisation RF ou la calcination au plasma de résine photosensible. Combinés au générateur HF TRUMPF Hüttinger, ils permettent d'obtenir des résultats de processus optimaux.

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Sortie HF        
Puissance de sortie 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Puissance nominale 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Fréquence de sortie 13.56 MHz 13.56 MHz 13.56 MHz 13.56 MHz
Données de raccordement réseau        
Tension de réseau (±10%) 23.5 V - 24.5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23.5 V - 24.5 V
Fréquence du réseau 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfaces de communication        
Interfaces sync Oui Oui Oui Oui
Analogique/numérique Oui Oui Oui Oui
RS 232/RS 485 Oui Oui Oui Oui
PROFIBUS Oui Oui Oui Oui
EtherCAT Oui Oui Oui Oui
DeviceNet Non Non Non Non
Enceinte        
Poids 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
Protection IP 21 21 21 21
Exigences de refroidissement        
Pression hydrostatique max. - 6 bar(s) 6 bar(s) -
Différence de pression max. - 1.5 bar(s) 1.5 bar(s) -
Débit min. - 3.5 l/min 5 l/min -
Température du liquide de refroidissement - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
Général        
Certificats/standards CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
Conditions d'environnement        
Température extérieure 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
Humidité de l'air 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
Pression barométrique 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Garantit que le générateur HF délivre en permanence sa pleine puissance

Un contrôle parfait du processus à tout moment

Le réseau adaptatif assure à tout moment une adaptation rapide et directe de l'impédance à une valeur de 50 ohms – l'alimentation à pleine puissance du processus par le générateur HF est ainsi garantie. La communication parfaite entre le réseau adaptatif et le générateur permet une surveillance optimale du processus et une identification d'arc précoce.

Logiciel convivial TruControl Power

Tous les paramètres en un coup d'œil

La mesure en temps réel des puissances HF d'entrée et de sortie signale les modifications dynamiques de l'impédance, et les capteurs de refroidissement permettent de prédire de manière fiable la perte de puissance. Grâce au logiciel de commande graphique et à ses options d'affichage complexes (abaque de Smith, oscilloscope en temps réel), vous gardez en permanence une vue d'ensemble de tous les paramètres de processus pertinents.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie du réseau adaptatif. L'ensemble des valeurs de mesure est à la disposition du générateur RF. Cela permet de mieux surveiller les paramètres de processus, de protéger le réseau adaptatif et de garantir une identification d'arc précoce. Il est donc possible de commander l'ensemble du système RF via une seule interface de générateur.

Diverses options vous permettent d'adapter de manière optimale le système RF TRUMPF à votre application.

Mesure de courant HF

Dispositif ultraprécis de mesure du courant alternatif pour l'identification des anomalies de plasma, intégré dans le réseau adaptatif, directement sur le caisson, à proximité du processus.

Gestion d'arc

Ce système élaboré de gestion de l'arc est le module de contrôle idéal pour les processus plasma. L'identification ciblée des arcs garantit une productivité maximale tout en protégeant le produit et l'installation.

Interfaces

Les interfaces analogique/numérique, PROFIBUS et EtherCAT sont disponibles en option. Les interfaces standard sont EtherNet, SystemPort et RS232/485.

Logiciel convivial TruControl Power

TruControl Power

Le logiciel de commande convivial TruControl Power permet une mise en service confortable et une surveillance fiable du générateur HF ou de l'ensemble du système RF TRUMP au cours du processus.

Logiciel convivial TruControl Power

Logiciel de commande graphique

Grâce à des représentations graphiques complexes, vous contrôlez l'ensemble des paramètres de processus pertinents. Les impédances de la charge et du réseau adaptatif sont visualisées à l'aide d'un abaque de Smith, et les puissances HF d'entrée et de sortie, y compris la relation de phase et la relation de fréquence, à l'aide d'un oscilloscope en temps réel.

Le système RF TRUMPF, composé d'un générateur HF et d'un réseau adaptatif, forme un ensemble parfaitement harmonisé, pour des résultats de processus parfaits.

Logiciel convivial TruControl Power
Logiciel de commande graphique

Grâce à des représentations graphiques complexes, vous contrôlez l'ensemble des paramètres de processus pertinents. Les impédances de la charge et du réseau adaptatif sont visualisées à l'aide d'un abaque de Smith, et les puissances HF d'entrée et de sortie, y compris la relation de phase et la relation de fréquence, à l'aide d'un oscilloscope en temps réel.

Maître-oscillateur pour la stabilisation des procédés plasma synchrones critiques
Maîtres-oscillateurs

Les maîtres-oscillateurs permettent de stabiliser et d'optimiser les processus plasma synchrones critiques. Un synthétiseur numérique de fréquence et de phase intégré garantit une grande stabilité de ces deux paramètres, et permet de régler la relation de phase par incréments très faibles. Différentes versions de maîtres-oscillateurs sont disponibles pour la fréquence 13,56 MHz et pour diverses combinaisons de fréquences.

Commutateur HF permettant d'utiliser un générateur HF sur des systèmes plasma flexibles
Commutateur HF

Un commutateur HF permet d'utiliser un générateur HF sur différentes stations de traitement au plasma, par exemple pour l'alimentation électrique de processus séquentiels ou sur des systèmes possédant plusieurs points d'alimentation. Il existe différents commutateurs HF, de deux classes de puissance et avec 2, 3 ou 4 sorties.

Câble coaxial pour la transmission de la puissance spécifiée
Câble coaxial

Pour la transmission de puissance HF, TRUMPF Hüttinger propose des câbles coaxiaux spécialement conçus pour les systèmes 50 ohms.

Générateur et réseau adaptatif : une solution système parfaitement harmonisée

Maîtrise optimale du processus par plasma

Les processus par plasma se comportent comme une charge variable complexe qui doit être continuellement actualisée par le générateur. Cette fonction est assurée par des réseaux adaptatifs actifs, qui garantissent à tout moment une adaptation précise à l'impédance optimale de 50 ohms. On obtient ainsi une solution intégrée parfaitement harmonisée : le système TRUMPF RF. Différentes interfaces, notamment EtherCAT, vous permettent d'intégrer très facilement le générateur et le réseau adaptatif à votre environnement existant, et d'obtenir une solution optimisée grâce à une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente appelée SystemPort.

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

Pied de page
  • La température de l'eau de refroidissement doit être supérieure au point de rosée de la température ambiante, pour éviter toute condensation.

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