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Générateur VHF Série 3000
Générateur VHF Série 3000
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Série 3000

A la hauteur de n'importe quelle exigence

Innovante, modulaire, échelonnable : la nouvelle génération de générateurs TRUMPF Hüttinger

Les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 sont basés sur un concept de plateforme innovant, qui permet des densités de puissance maximales et répond aux exigences les plus élevées. Cette architecture modulaire, à refroidissement par eau exclusif, permet un échelonnement de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW. Les générateurs VHF compacts vous convaincront également par leur grande rentabilité et leur conception robuste.

Formation précise et rapide d'impulsions arbitraires

Permet le meilleur contrôle du processus plasma pour les impulsions à simple niveau et multiniveau.

Durée du cycle de rampe minimale < 150 ns

Permet une commande flexible du comportement d'allumage du générateur.

Un dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

Adaptation automatique de la fréquence pour une synergie parfaite entre le générateur et le réseau adaptatif.

Un contrôle fiable et perfectionné du processus

Résultats de processus excellents et reproductibles grâce à une modulation de fréquence numérique très précise.

Indépendance par rapport à la longueur de câble

Pas besoin d'adapter la longueur du câble HF en cas de modification du processus, d'où des temps de préparation réduits.

Conception robuste

Fiabilité de fonctionnement du générateur même en cas de désadaptation, grâce à la technologie CombineLine.

Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 : fabrication de cellules photovoltaïques

Fabrication de cellules photovoltaïques

Il existe de nombreux domaines d'utilisation dans le secteur de la photovoltaïque pour une énergie de processus sur mesure. Différents processus par plasma sont ainsi utilisés pour appliquer et enlever de la matière, comme la pulvérisation, la gravure ou encore le procédé PECVD. Les générateurs de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 s'adaptent de manière optimale au processus, et leur gestion de l'arc ultrarapide permet de maîtriser la stabilité du plasma. Ils garantissent ainsi d'excellents résultats de processus et une productivité élevée.

Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

Fabrication de semi-conducteurs

Différents processus par plasma sont utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs, des procédés d'enlèvement de matière par gravure à sec jusqu'à la fusion de zone pour la production de silicium pur. Les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable, adaptée de manière optimale au processus, et vous permettent ainsi d'obtenir des résultats excellents et reproductibles.

Alimentation électrique MF de première classe pour le revêtement des écrans plats

Idéal pour le revêtement des écrans plats

Les générateurs HF de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 conviennent parfaitement pour les procédés plasma tels que RIE, ALD, PECVD et la pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour la fabrication d'éléments semi-conducteurs et de microsystèmes électromécaniques (MEMS) ou pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.

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TruPlasma VHF 3005
Sortie HF  
Puissance de sortie 5 kW
Puissance nominale 5 kW
Impédance charge nominale 50 Ω
Fréquence de sortie 40.68 MHz
Données de raccordement réseau  
Tension de réseau 200 - 480 V
Fréquence du réseau 50-60 Hz
Puissance réseau absorbée 18 kVA
Facteur de puissance 0.95
Interfaces de communication  
Interfaces sync Oui
Analogique/numérique Oui
RS 232/RS 485 Oui
PROFIBUS Oui
EtherCAT Oui
DeviceNet Oui
Enceinte  
Poids 55 kg
Protection IP 30
Exigences de refroidissement  
Pression hydrostatique max. 7 bar(s)
Différence de pression max. 2 bar(s)
Débit min. 8 l/min
Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 1
Général  
Rendement global 75 %
Certificats/standards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
Conditions d'environnement  
Température extérieure 5 °C - 40 °C
Humidité de l'air 5 % - 85 %
Pression barométrique 79.5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Technologie CombineLine de la gamme TruPlasma VHF Série 3000

Adaptation flexible au processus

Le concept de plateforme modulaire de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 permet un échelonnement de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW. Grâce à la technologie CombineLine mise en œuvre, le générateur se comporte de manière très robuste même en cas de désadaptation. Sa large plage de fréquence ainsi que la tension réseau et la longueur de câble variables permettent une grande souplesse d'adaptation à différentes applications et différents pays de destination.

Générateur HF pour circuits oscillants parallèles

Efficacité et rentabilité maximales

Les générateurs HF TruPlasma VHF Série 3000 sont entièrement basés sur la technologie de semi-conducteurs la plus moderne, avec des transistors de puissance LDMOS. Leur conception plane, très intégrée, autorise à la fois des densités de puissance très élevées et une grande efficacité énergétique, avec une puissance frigorifique réduite en conséquence. Cette famille de produits offre ainsi une rentabilité inédite dans cette plage de fréquence et réduit les coûts d'exploitation par rapport aux valeurs usuelles sur le marché.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie du réseau adaptatif. L'ensemble des valeurs de mesure est à la disposition du générateur RF. Cela permet de mieux surveiller les paramètres de processus, de protéger le réseau adaptatif et de garantir une identification d'arc précoce. Il est donc possible de commander l'ensemble du système RF via une seule interface de générateur.

Diverses options vous permettent d'adapter de manière optimale le générateur VHF à votre application.

Dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

La solution brevetée Auto Frequency Tuning permet une adaptation simultanée et rapide de la fréquence et garantit une synergie parfaite entre le générateur et le réseau adaptatif. Grâce à cette technique brevetée, un minimum local ne constitue plus un obstacle : le système RF est amené à son optimum, ce qui permet d'obtenir les meilleurs résultats de processus et une reproductibilité élevée.

Gestion de l'arc

Ce système élaboré de gestion de l'arc est le module de contrôle idéal pour les processus plasma. L'identification d'arc ciblée garantit une productivité maximale tout en protégeant le produit et votre installation.

Flexibilité des formes d'impulsion

Flexibilité des formes d'impulsion : la forme du signal de sortie peut être librement adaptée aux exigences de n'importe quel processus.

Logiciel convivial TruControl Power

TruControl Power

Le logiciel de commande convivial TruControl Power permet une mise en service confortable et une surveillance fiable du générateur HF ou de l'ensemble du système RF TRUMP au cours du processus.

En sélectionnant les composants système appropriés, vous avez la possibilité d'adapter de manière optimale le générateur VHF aux exigences de votre application.

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
Réseau adaptatif

Les réseaux adaptatifs TruPlasma Match assurent un transfert optimal de la puissance du générateur à la décharge de plasma. Le réseau adaptatif peut fonctionner de manière autonome ou via une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente, SystemPort.

Kit d'accessoires pour la gamme TruPlasma VHF Série
Jeu d'accessoires

Comprend un adaptateur pour raccords d'eau, un kit d'alimentation en courant alternatif HARTING, un cavalier pour fonction Interlock, un adaptateur LEMO EPL vers BNC femelle (pour fiche de synchronisation Clock and Pulse).

Maître-oscillateur pour la stabilisation des procédés plasma synchrones critiques
Maîtres-oscillateurs

Les maîtres-oscillateurs permettent de stabiliser et d'optimiser les processus plasma synchrones critiques. Un synthétiseur numérique de fréquence et de phase intégré garantit une grande stabilité de ces deux paramètres, et permet de régler la relation de phase par incréments très faibles. Différentes versions de maîtres-oscillateurs sont disponibles pour la fréquence 13,56 MHz et pour diverses combinaisons de fréquences.

Générateur VHF Série 3000
Commutateur HF

Un commutateur HF permet d'utiliser un générateur HF sur différentes stations de traitement au plasma, par exemple pour l'alimentation électrique de processus séquentiels ou sur des systèmes possédant plusieurs points d'alimentation. Il existe différents commutateurs HF, de deux classes de puissance et avec 2, 3 ou 4 sorties.

Câble coaxial pour la transmission de la puissance spécifiée
Câble coaxial

Pour la transmission de puissance HF, TRUMPF Hüttinger propose des câbles coaxiaux spécialement conçus pour les systèmes 50 ohms.

Générateur et réseau adaptatif : une solution système parfaitement harmonisée

Parfaitement harmonisé : le système TRUMPF RF

Les processus par plasma se comportent comme une charge variable complexe qui doit être continuellement actualisée par le générateur. Cette fonction est assurée par des réseaux adaptatifs actifs, qui garantissent à tout moment une adaptation précise à l'impédance optimale de 50 ohms. On obtient ainsi une solution intégrée parfaitement harmonisée : le système TRUMPF RF. Différentes interfaces, notamment EtherCAT, vous permettent d'intégrer très facilement le générateur et le réseau adaptatif à votre environnement existant, et d'obtenir une solution optimisée grâce à une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente appelée SystemPort.

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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