Nous utilisons des cookies pour la préparation de ce site internet. Si vous continuez d'utiliser ce site internet sans modifier les réglages pour les cookies, nous en déduisons que vous êtes d'accord avec l'utilisation de ces derniers.
Générateur VHF Série 3000
Générateur VHF Série 3000
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF Série 3000

A la hauteur de n'importe quelle exigence

    - / -
    • Aperçu
    • Applications
    • Données techniques
    • Avantages pour le client
    • Options
    • Logiciels
    • Composants système
    • Système HF
    • Plus Moins
    Innovante, modulaire, échelonnable : la nouvelle génération de générateurs TRUMPF Hüttinger

    Les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 sont basés sur un concept de plateforme innovant, qui permet des densités de puissance maximales et répond aux exigences les plus élevées. Cette architecture modulaire, à refroidissement par eau exclusif, permet un échelonnement de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW. Les générateurs VHF compacts vous convaincront également par leur grande rentabilité et leur conception robuste.

    Formation précise et rapide d'impulsions arbitraires

    Permet le meilleur contrôle du processus plasma pour les impulsions à simple niveau et multiniveau.

    Durée du cycle de rampe minimale < 150 ns

    Permet une commande flexible du comportement d'allumage du générateur.

    Un dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

    Adaptation automatique de la fréquence pour une synergie parfaite entre le générateur et le réseau adaptatif.

    Un contrôle fiable et perfectionné du processus

    Résultats de processus excellents et reproductibles grâce à une modulation de fréquence numérique très précise.

    Indépendance par rapport à la longueur de câble

    Pas besoin d'adapter la longueur du câble HF en cas de modification du processus, d'où des temps de préparation réduits.

    Conception robuste

    Fiabilité de fonctionnement du générateur même en cas de désadaptation, grâce à la technologie CombineLine.

    Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 : fabrication de cellules photovoltaïques

    Fabrication de cellules photovoltaïques

    Il existe de nombreux domaines d'utilisation dans le secteur de la photovoltaïque pour une énergie de processus sur mesure. Différents processus par plasma sont ainsi utilisés pour appliquer et enlever de la matière, comme la pulvérisation, la gravure ou encore le procédé PECVD. Les générateurs de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 s'adaptent de manière optimale au processus, et leur gestion de l'arc ultrarapide permet de maîtriser la stabilité du plasma. Ils garantissent ainsi d'excellents résultats de processus et une productivité élevée.

    Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

    Fabrication de semi-conducteurs

    Différents processus par plasma sont utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs, des procédés d'enlèvement de matière par gravure à sec jusqu'à la fusion de zone pour la production de silicium pur. Les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable, adaptée de manière optimale au processus, et vous permettent ainsi d'obtenir des résultats excellents et reproductibles.

    Alimentation électrique MF de première classe pour le revêtement des écrans plats

    Idéal pour le revêtement des écrans plats

    Les générateurs HF de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 conviennent parfaitement pour les procédés plasma tels que RIE, ALD, PECVD et la pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour la fabrication d'éléments semi-conducteurs et de microsystèmes électromécaniques (MEMS) ou pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.

    TruPlasma VHF 3005
    Sortie HF  
    Puissance de sortie 5 kW
    Puissance nominale 5 kW
    Impédance charge nominale 50 Ω
    Fréquence de sortie 40.68 MHz
    Données de raccordement réseau  
    Tension de réseau 200 - 480 V
    Fréquence du réseau 50-60 Hz
    Puissance réseau absorbée 18 kVA
    Facteur de puissance 0.95
    Interfaces de communication  
    Interfaces sync Oui
    Analogique/numérique Oui
    RS 232/RS 485 Oui
    PROFIBUS Oui
    EtherCAT Oui
    DeviceNet Oui
    Enceinte  
    Poids 55 kg
    Protection IP 30
    Exigences de refroidissement  
    Pression hydrostatique max. 7 bar(s)
    Différence de pression max. 2 bar(s)
    Débit min. 8 l/min
    Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 1
    Général  
    Rendement global 75 %
    Certificats/standards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
    Conditions d'environnement  
    Température extérieure 5 °C - 40 °C
    Humidité de l'air 5 % - 85 %
    Pression barométrique 79.5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Fiche technique

    Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

    Technologie CombineLine de la gamme TruPlasma VHF Série 3000

    Adaptation flexible au processus

    Le concept de plateforme modulaire de la gamme TruPlasma VHF Série 3000 permet un échelonnement de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW. Grâce à la technologie CombineLine mise en œuvre, le générateur se comporte de manière très robuste même en cas de désadaptation. Sa large plage de fréquence ainsi que la tension réseau et la longueur de câble variables permettent une grande souplesse d'adaptation à différentes applications et différents pays de destination.

    Générateur HF pour circuits oscillants parallèles

    Efficacité et rentabilité maximales

    Les générateurs HF TruPlasma VHF Série 3000 sont entièrement basés sur la technologie de semi-conducteurs la plus moderne, avec des transistors de puissance LDMOS. Leur conception plane, très intégrée, autorise à la fois des densités de puissance très élevées et une grande efficacité énergétique, avec une puissance frigorifique réduite en conséquence. Cette famille de produits offre ainsi une rentabilité inédite dans cette plage de fréquence et réduit les coûts d'exploitation par rapport aux valeurs usuelles sur le marché.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie du réseau adaptatif. L'ensemble des valeurs de mesure est à la disposition du générateur RF. Cela permet de mieux surveiller les paramètres de processus, de protéger le réseau adaptatif et de garantir une identification d'arc précoce. Il est donc possible de commander l'ensemble du système RF via une seule interface de générateur.

    Diverses options vous permettent d'adapter de manière optimale le générateur VHF à votre application.

    Dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

    La solution brevetée Auto Frequency Tuning permet une adaptation simultanée et rapide de la fréquence et garantit une synergie parfaite entre le générateur et le réseau adaptatif. Grâce à cette technique brevetée, un minimum local ne constitue plus un obstacle : le système RF est amené à son optimum, ce qui permet d'obtenir les meilleurs résultats de processus et une reproductibilité élevée.

    Gestion de l'arc

    Ce système élaboré de gestion de l'arc est le module de contrôle idéal pour les processus plasma. L'identification d'arc ciblée garantit une productivité maximale tout en protégeant le produit et votre installation.

    Flexibilité des formes d'impulsion

    Flexibilité des formes d'impulsion : la forme du signal de sortie peut être librement adaptée aux exigences de n'importe quel processus.

    Logiciel convivial TruControl Power

    TruControl Power

    Le logiciel de commande convivial TruControl Power permet une mise en service confortable et une surveillance fiable du générateur HF ou de l'ensemble du système RF TRUMP au cours du processus.

    En sélectionnant les composants système appropriés, vous avez la possibilité d'adapter de manière optimale le générateur VHF aux exigences de votre application.

    Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
    Réseau adaptatif

    Les réseaux adaptatifs TruPlasma Match assurent un transfert optimal de la puissance du générateur à la décharge de plasma. Le réseau adaptatif peut fonctionner de manière autonome ou via une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente, SystemPort.

    Kit d'accessoires pour la gamme TruPlasma VHF Série
    Jeu d'accessoires

    Comprend un adaptateur pour raccords d'eau, un kit d'alimentation en courant alternatif HARTING, un cavalier pour fonction Interlock, un adaptateur LEMO EPL vers BNC femelle (pour fiche de synchronisation Clock and Pulse).

    Maître-oscillateur pour la stabilisation des procédés plasma synchrones critiques
    Maîtres-oscillateurs

    Les maîtres-oscillateurs permettent de stabiliser et d'optimiser les processus plasma synchrones critiques. Un synthétiseur numérique de fréquence et de phase intégré garantit une grande stabilité de ces deux paramètres, et permet de régler la relation de phase par incréments très faibles. Différentes versions de maîtres-oscillateurs sont disponibles pour la fréquence 13,56 MHz et pour diverses combinaisons de fréquences.

    Générateur VHF Série 3000
    Commutateur HF

    Un commutateur HF permet d'utiliser un générateur HF sur différentes stations de traitement au plasma, par exemple pour l'alimentation électrique de processus séquentiels ou sur des systèmes possédant plusieurs points d'alimentation. Il existe différents commutateurs HF, de deux classes de puissance et avec 2, 3 ou 4 sorties.

    Câble coaxial pour la transmission de la puissance spécifiée
    Câble coaxial

    Pour la transmission de puissance HF, TRUMPF Hüttinger propose des câbles coaxiaux spécialement conçus pour les systèmes 50 ohms.

    Générateur et réseau adaptatif : une solution système parfaitement harmonisée

    Parfaitement harmonisé : le système TRUMPF RF

    Les processus par plasma se comportent comme une charge variable complexe qui doit être continuellement actualisée par le générateur. Cette fonction est assurée par des réseaux adaptatifs actifs, qui garantissent à tout moment une adaptation précise à l'impédance optimale de 50 ohms. On obtient ainsi une solution intégrée parfaitement harmonisée : le système TRUMPF RF. Différentes interfaces, notamment EtherCAT, vous permettent d'intégrer très facilement le générateur et le réseau adaptatif à votre environnement existant, et d'obtenir une solution optimisée grâce à une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente appelée SystemPort.

    En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

    Pied de page
    • La température de l'eau de refroidissement doit être supérieure au point de rosée de la température ambiante, pour éviter toute condensation.

    Vous pourriez également être intéressé par ces thèmes

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Alimentations électriques pour votre processus plasma

    Les générateurs de plasma de TRUMPF Hüttinger offrent un large spectre de fréquences et une large gamme de puissances. Informez-vous au sujet de nos produits.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Adaptation intelligente grâce à des mesures en temps réel

    Complément optimal de nos générateurs RF, les nouvelles boîtes d’adaptation de l’impédance pour la TruPlasma Match Série 1000 (G2/13) fournissent une solution complète : le système RF de TRUMPF.

    Services_Electronics_Training
    Les formations clients individualisées, notre point fort

    Des techniciens SAV expérimentés transmettent des connaissances approfondies, taillées sur mesure en fonction des besoins des participants.

    Contact

    Klaus Nock
    Ventes Plasma
    Fax : +49 761 89711150
    E-mail

    Téléchargements

    Brochure Système RF TruPlasma
    Brochure Système RF TruPlasma
    pdf - 6 MB
    Plaquette TruPlasma VHF Série 3000
    pdf - 1 MB
    Whitepaper LDMOS
    pdf - 3 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Service et contact