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Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040
Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)

Une puissance élevée sur des ondes variables

La technologie bipolaire au service des plus hautes exigences

L'alimentation électrique des processus par le TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) a été conçue spécialement pour le revêtement au plasma à l'aide des procédés PVD, PECVD et de pulvérisation réactive. Grâce à la forme variable de leur signal de sortie et à leur gestion de l'arc perfectionnée, ces pulseurs bipolaires de dernière génération sont très souples d'utilisation. Pour la fabrication de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques aussi bien que pour le revêtement de verre architectural, vous pouvez compter sur des performances maximales en matière de qualité et de taux de revêtement.

Energie d'arc extrêmement faible

Gestion de l'arc entièrement numérique pour une qualité de revêtement et une productivité maximales.

Formes d'ondes configurables

Simplicité d'adaptation à des processus différents grâce à la variation du signal de sortie.

Un générateur, de nombreuses applications

Courant continu, courant continu pulsé et mode bipolaire : économisez sur les coûts grâce à de multiples options de réglage.

Refroidissement par eau intégré

Pas besoin de composants externes, d'où un encombrement très réduit.

Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) : fabrication de revêtements résistants à l'usure

Alimentation électrique très haut de gamme

Les domaines d'utilisation typiques sont la production de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques, le revêtement de verre architectural et la création de revêtements décoratifs et résistants à l'usure de très haute qualité. Les procédés PVD et PECVD sont notamment utilisés pour ces processus.

Sortie          
Puissance nominale 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Courant de sortie maximal 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
Tension de sortie maximale 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
Fréquence de fonctionnement nominale 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Paramètre arc          
Taux arc maximum 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Energie Arc 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW 0.3 mJ/kW
Tensions d'allumage          
avec dispositif d'aide à l'allumage 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Données de raccordement réseau          
Tension de réseau 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Fréquence du réseau 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Facteur de puissance 0.95 0.95 0.95 0.95 0.95
Interfaces de communication          
Analogique/numérique Oui Oui Oui Oui Oui
RS 232/RS 485 Oui Oui Oui Oui Oui
PROFIBUS Oui Oui Oui Oui Oui
EtherCAT Oui Oui Oui
-
Oui Oui
DeviceNet Oui Oui Oui
-
Oui Oui
Enceinte          
Largeur 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Hauteur 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Profondeur 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Poids 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Protection IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Exigences de refroidissement          
Médium de refroidissement Eau Eau Eau Eau Eau
Pression hydrostatique max. 7 bar(s) 7 bar(s) 7 bar(s) 7 bar(s) 7 bar(s)
Différence de pression max. 3 bar(s) 3 bar(s) 3 bar(s) 3 bar(s) 3 bar(s)
Débit min. 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Température du liquide de refroidissement 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Général          
Rendement global 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Conditions d'environnement          
Température extérieure 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Humidité de l'air 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pression barométrique 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Gestion d'arc

Des revêtements parfaits, une productivité élevée

La gestion d'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Les appareils TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) garantissent une alimentation électrique constante, et donc la stabilité du plasma, même dans le cas des processus réactifs exigeants.

Grande polyvalence grâce à la libre sélection du signal de sortie

Davantage de flexibilité, moins de coûts

Vous pouvez adapter très simplement les générateurs de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) aux exigences de différents processus en configurant la forme des ondes. La libre sélection du signal de sortie (courant continu, courant continu pulsé ou mode bipolaire) les rend très polyvalents et vous permet de réduire votre coût total de possession (TCO).

Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4060

Tout dans un même boîtier

Le refroidissement par eau étant entièrement intégré dans le boîtier de générateur protégé des influences extérieures, aucun composant externe n'est nécessaire.

Logiciel convivial PVD Power

PVD Power

Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités de commande, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alerte, la définition des valeurs de consigne par l'opérateur ainsi que l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

Vous pouvez adapter au mieux le générateur d'impulsions bipolaire à l'environnement de votre système en sélectionnant différents composants du système.

Vue arrière d'un générateur de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 G2
Câble secteur

Différentes versions de câbles et de connecteurs, correspondant aux diverses normes de raccordement, sont disponibles.

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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Contact

Klaus Nock
Ventes Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Téléchargements

Brochure
Brochure TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)
Brochure TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)
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Whitepaper Shape matters - Bipolar sputtering
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