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Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040
Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1)

Des résultats optimaux pour la qualité de couche

Lasers pulsés bipolaires de dernière génération

Les blocs d'alimentation électrique de processus de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) ont été spécialement mis au point pour le revêtement à base de plasma au moyen des procédés PVD, PECVD et de pulvérisation réactive. Avec des signaux de sortie souplement configurables et une gestion d'arc perfectionnée, ils fournissent des résultats excellents pour la fabrication de cellules photovoltaïques et de semi-conducteurs, l'application de couches décoratives et résistantes à l'usure ainsi que le revêtement de verre architectural.

Energie d'arc extrêmement faible

Gestion de l'arc entièrement numérique pour une qualité de revêtement et une productivité maximales.

Formes d'onde configurables

Simplicité d'adaptation à des processus différents grâce à la variation du signal de sortie.

Un générateur, de nombreuses applications

Courant continu, courant continu pulsé et mode bipolaire : économisez sur les coûts grâce à de multiples options de réglage.

Refroidissement par eau intégré

Pas besoin de composants externes, d'où un encombrement très réduit.

Idéal pour le revêtement de pièces métalliques

Alimentation électrique très haut de gamme

Les domaines d'utilisation typiques sont la production de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques, le revêtement de verre architectural et la création de revêtements décoratifs et résistants à l'usure de très haute qualité. Les procédés PVD et PECVD sont notamment utilisés pour ces processus.

Gestion d'arc

Des revêtements parfaits, une productivité élevée

La gestion d'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Les appareils TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) garantissent une alimentation électrique constante, et donc la stabilité du plasma, même dans le cas des processus réactifs exigeants.

Grande polyvalence grâce à la libre sélection du signal de sortie

Davantage de flexibilité, moins de coûts

Vous pouvez adapter très simplement les générateurs de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1) aux exigences de différents processus en configurant la forme des ondes. La libre sélection du signal de sortie (courant continu, courant continu pulsé ou mode bipolaire) les rend très polyvalents et vous permet de réduire votre coût total de possession (TCO).

Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4060

Tout dans un même boîtier

Le refroidissement par eau étant entièrement intégré dans le boîtier de générateur protégé des influences extérieures, aucun composant externe n'est nécessaire.

Logiciel convivial PVD Power

PVD Power

Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités de commande, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alerte, la définition des valeurs de consigne par l'opérateur ainsi que l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

Vous pouvez adapter au mieux le générateur d'impulsions bipolaire à votre environnement système en sélectionnant différents composants système.

Câble de puissance MF
Câble secteur

Différentes versions de câbles et de connecteurs, correspondant aux diverses normes de raccordement, sont disponibles.

Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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