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Générateurs de plasma | TRUMPF
Générateur de plasma CC

Générateurs de plasma

Les générateurs de plasma de TRUMPF Hüttinger fournissent l'énergie des processus nécessaire à de nombreuses industries de haute technologie et permettent ainsi le revêtement fonctionnel de cellules solaires et de micropuces, le revêtement de grandes surfaces de verre architectural et la fabrication de composants semiconducteurs et d'écrans plats. Grâce à leur précision exceptionnelle, leur efficience énergétique et leur grande stabilité, ils comptent parmi les leaders du marché.

Générateurs de plasma MF

Grâce à une précision et à une productivité exceptionnelles  la solution idéale pour de nombreuses applications d'excitation du plasma.

Générateurs de plasma CC pulsé

Les générateurs de plasma CC pulsé de TRUMPF Hüttinger sont parfaits pour de nombreux procédés réactifs.

Générateurs de plasma CC

Les générateurs de plasma CC de TRUMPF Hüttinger sont des références dans le domaine de l'excitation du plasma.

Générateurs de plasma HF

Le premier choix pour les applications exigeantes comme la fabrication de composants semi-conducteurs, de micropuces, de cellules solaires ou d'écrans plats.

Générateurs de plasma MF

Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1)

Les blocs d'alimentation électrique de processus de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1), avec des signaux de sortie souplement configurables et une gestion d'arc perfectionnée, fournissent des résultats excellents pour la fabrication de cellules photovoltaïques et de semi-conducteurs, l'application de couches décoratives et résistantes à l'usure ainsi que le revêtement de verre architectural. Les générateurs de dernière génération sont parfaits pour les processus plasma exigeants tels que la pulvérisation réactive, le PVD et le PECVD.

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Avec les générateurs MF TruPlasma Série MF 7000 (G2), vous gardez toujours le plein contrôle de votre processus. Résultat : des revêtements d'une qualité exceptionnelle et une productivité maximale, même pour des applications de revêtement exigeantes sur de grandes surfaces. Avec des rendements de pointe supérieurs à 90 %, ces alimentations électriques de dernière génération sont également très économiques à utiliser.

Générateurs de plasma CC pulsé

Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000

TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2)

Les blocs d'alimentation de processus de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) permettent d'obtenir des revêtements en matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure ; ils représentent le choix numéro un pour les applications HIPIMS. En combinaison avec des substrats polarisés, la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 (G2) peut également être utilisée pour des applications de semi-conducteurs, comme le comblement d'interstice, le prétraitement de surfaces et la gravure.

Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000

TruPlasma Highpulse Série 4000

Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 représentent le choix optimal pour les applications HIPIMS et produisent des revêtements de matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure. En combinaison avec des substrats polarisés, la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 peut également être utilisée pour des applications de semi-conducteurs, comme la gravure, le prétraitement de surfaces et le remplissage de tranchée.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Série 4000 (G2)

La gamme TruPlasma DC Série 4000 (G2) associe l'excellente gestion d'arc de TRUMPF Hüttinger aux avantages de la technologie du courant continu pulsé. Vous obtenez ainsi de meilleurs résultats de revêtement, avec moins de défauts, pour une vitesse de déposition plus élevée. Résultat : des surfaces parfaites et un rendement soutenu.

Générateurs de plasma CC

Générateur à courant continu TruPlasma DC3040

TruPlasma DC Série 3000 (G2)

Nouvelle génération de générateurs à courant continu, la gamme TruPlasma DC Série 3000 (G2) convient à un grand nombre de processus de pulvérisation à courant continu. Grâce à leur gestion d'arc innovante et à leur refroidissement par eau intégré, ces générateurs à courant continu représentent une alternative intéressante aux générateurs à courant continu pulsé. Leur construction très compacte permet en outre de les intégrer facilement à des applications existantes.

Générateur d'arc TruPlasma Arc Série 3000

TruPlasma Arc Série 3000

Les générateurs TruPlasma Arc Série 3000 convainquent avant tout pour les revêtements décoratifs et en matériau dur. Leur construction compacte et le refroidissement par air permettent d'optimiser l'utilisation de votre précieuse surface utile et facilitent l'intégration dans des systèmes nouveaux ou existants.

Générateurs de plasma RF

TruPlasma RF Air Série 1000

Le générateur HF TruPlasma RF 1001 Air refroidi par air fournit jusqu'à 1 000 W d'énergie HF ultraprécise et reproductible, avec une résolution extrêmement fine – par pas de 100 mW – ce qui en fait l'équipement parfait pour les applications plasma les plus diverses. Pour la fabrication de semi-conducteurs comme pour celle de cellules photovoltaïques ou d'écrans, la technologie TRUMPF Hüttinger brevetée garantit en toutes circonstances une disponibilité maximale et des résultats parfaits grâce à des fonctions de process modernes.

Générateur haute fréquence TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Les appareils TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sont des générateurs HF de dernière génération. Grâce à des fonctions innovantes, comme la technologie de couplage brevetée CombineLine ou la mesure en temps réel de tous les paramètres de processus, la sécurité de l'alimentation électrique est garantie même dans les procédés plasma les plus exigeants – des conditions optimales pour obtenir des résultats reproductibles et une productivité élevée.

Générateurs haute fréquence TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Série 3000

Les puissants générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Série 3000 se distinguent par leur efficacité maximale et la stabilité de processus qu'ils permettent. Ils conviennent donc parfaitement aux processus plasma exigeants, tels que ceux utilisés pour la fabrication des écrans plats, des cellules photovoltaïques ou des semi-conducteurs. Des réseaux adaptatifs conçus spécifiquement en fonction du générateur assurent à tout moment un transfert de puissance optimal et stable du générateur au plasma.

Générateur VHF Série 3000

TruPlasma VHF Série 3000

Puissance maximale pour votre processus : les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 sont basés sur un concept de plateforme innovant, qui répond même aux exigences les plus élevées. La structure modulaire des générateurs VHF, refroidie exclusivement par eau, permet un changement d'échelle de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW – et ce, dans un espace très réduit !

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Pour un guidage optimal du processus plasma, il faut adapter avec précision l'impédance de sortie du générateur HF. C'est ce que permettent les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13), en faisant le lien entre le générateur et le processus. Vous obtenez ainsi une solution complète pour l'alimentation électrique de vos processus – le système RF TRUMPF.

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Nikolas Hunzinger
Ventes Plasma
Fax +49 761 89711150
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