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Processus d'excitation du plasma

TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Les premiers de la classe

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Contrôle total du processus

Avec la gamme TruPlasma Série MF 7000 (G2), vous gardez à tout moment le contrôle de votre processus : avec leur gestion d'arc et leur comportement d'allumage supérieurs, ces générateurs sont l'alimentation électrique idéale pour des revêtements de grandes surfaces (Large Area Coating) et des processus réactifs exigeants, comme la pulvérisation par double magnétron. Avec des rendements de pointe supérieurs à 90 % et un système de gestion du refroidissement par eau particulièrement efficace, ils sont également d'une utilisation extrêmement économique.

Qualité de revêtement et productivité maximales

Des résultats excellents et des taux de revêtement élevés, même dans les processus réactifs les plus difficiles.

Efficacité maximale

Avec des rendements de pointe
de plus de 90 %, vous atteignez des rendements de fonctionnement supérieurs à 80 %.

Une alimentation électrique stable, quel que soit le climat

Fiabilité de fonctionnement, même en cas de température élevée de l'eau de refroidissement et de pressions différentielles basses.

Utilisation dans le monde entier

Tension d'alimentation variable : aucune modification technique n'est nécessaire.

Alimentation électrique MF de première classe

Revêtement de grandes surfaces (Large Area Coating) de verre architectural : les matériaux sophistiqués, comme le SiOx, posent des exigences extrêmes à la stabilité de l'alimentation électrique.

Application de couches extrêmement fines

Revêtement d'écrans plats et d'écrans tactiles : la pulvérisation par double magnétron permet d'appliquer des revêtements d'AlxOx extrêmement fins (nm), très résistants et homogènes.

Générateur MF de la gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2) pour l'application de revêtements ultrafins

Fabrication de cellules photovoltaïques

Revêtement du verre solaire : l'alimentation électrique très stable du TruPlasma MF Série 7000 (G2) permet d'appliquer de manière homogène des couches de TCO extrêmement minces à l'aide de la pulvérisation MF.

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Sortie
Puissance nominale	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Courant de sortie maximal	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tension de sortie maximale	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Fréquence de fonctionnement nominale	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Paramètre arc
Taux arc maximum	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energie Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Durée de traitement arc	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensions d'allumage
avec dispositif d'aide à l'allumage	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sans dispositif d'aide à l'allumage	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Données de raccordement réseau
Tension de réseau	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Fréquence du réseau	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Puissance réseau absorbée	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Facteur de puissance	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
Enceinte
Poids	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Protection IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Exigences de refroidissement
Médium de refroidissement	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau
Pression hydrostatique max.	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)
Différence de pression max.	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.5 bar(s)	2.5 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.5 bar(s)	2.5 bar(s)
Débit min.	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Température du liquide de refroidissement	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Général
Rendement global	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificats/standards	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18
Conditions d'environnement
Température extérieure	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Sortie
Puissance nominale	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW	50 kW	75 kW	100 kW	120 kW	150 kW
Courant de sortie maximal	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff	110 A eff	200 A eff	225 A eff	300 A eff	350 A eff
Tension de sortie maximale	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff	1100 V eff
Fréquence de fonctionnement nominale	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz	20 kHz - 50 kHz
Paramètre arc
Taux arc maximum	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s	8000 1/s
Energie Arc	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	1 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW	10 mJ/kW
Durée de traitement arc	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	25 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs	50 µs
Tensions d'allumage
avec dispositif d'aide à l'allumage	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V	3100 V
sans dispositif d'aide à l'allumage	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V	790 V
Données de raccordement réseau
Tension de réseau	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V	(±10%) 380 V - 480 V
Fréquence du réseau	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz	50/60 Hz
Puissance réseau absorbée	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA	61 kVA	93 kVA	124 kVA	149 kVA	186 kVA
Facteur de puissance	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
Enceinte
Poids	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg	560 kg	610 kg	610 kg	660 kg	660 kg
Protection IP	54	54	54	54	54	54	54	54	54	54
Exigences de refroidissement
Médium de refroidissement	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau	Eau
Pression hydrostatique max.	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)	6 bar(s)
Différence de pression max.	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.5 bar(s)	2.5 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.2 bar(s)	2.5 bar(s)	2.5 bar(s)
Débit min.	30 l/min	31 l/min	31 l/min	36 l/min	36 l/min	28 l/min	30 l/min	30 l/min	34 l/min	34 l/min
Température du liquide de refroidissement	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
Général
Rendement global	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %	91 %
Certificats/standards	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18	CE, SEMI S2-0709, norme FCC partie 18
Conditions d'environnement
Température extérieure	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C	5 °C - 40 °C

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Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Les générateurs TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantissent une efficacité maximale

Forte rentabilité et grande flexibilité

Les rendements de fonctionnement élevés et la souplesse du concept de refroidissement de la gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2) garantissent une forte rentabilité du produit sur l'ensemble de sa durée de vie. L'alimentation électrique reste toujours stable, même dans des conditions climatiques et d'installation difficiles – des températures d'eau de refroidissement élevées, une faible pression hydrostatique et des taux d'humidité de l'air importants n'ont aucun impact sur la qualité du processus. Grâce à sa plage étendue de tensions de fonctionnement, le générateur MF peut être utilisé partout dans le monde sans modifications techniques.

Générateur MF de la gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Pilotage précis du processus

Quelques réglages de paramètres suffisent pour piloter avec précision la qualité de revêtement et la productivité. Vous pouvez ainsi trouver l'équilibre idéal entre la sensibilité du traitement à l'arc et le débit souhaité. Un grand nombre d'interfaces et le confort d'utilisation du logiciel de commande TruControl Power garantissent en outre une configuration et un diagnostic efficaces.

Gestion de l'arc de qualité supérieure

Grâce à des vitesses de réaction élevées et à des énergies résiduelles réduites en conséquence, vous bénéficiez de processus stables et de taux de pulvérisation très élevés. Le générateur identifie et empêche de manière fiable la formation d'arcs et le stress thermique sur les cibles. Résultat : des revêtements absolument homogènes sur toute la surface du substrat. La gestion d'arc, rapide et fiable, permet en outre d'utiliser le générateur sans problème dans la plage de transition à tension régulée (transition mode).

De nombreuses options sont disponibles pour la gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2) ; elles vous permettront d'adapter le générateur MF aux exigences de votre application.

Plage de fréquence étendue

Les générateurs MF d'une puissance allant jusqu'à 100 kW peuvent être dotés en option d'une plage de fréquence étendue, de 20 à 70 kHz (plage standard : 20 – 50 kHz).

Dispositif d'amorçage

Il permet de réduire la formation d'arcs ainsi que le stress thermique. Possibilité de régler individuellement la tension d'allumage et la durée du cycle de rampe.

Gestion de l'arc ultrarapide

La gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2) peut être équipée d'une gestion de l'arc particulièrement sensible (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, valeur standard : ≤ 10 mJ/kW). La catégorie de sécurité 3 est requise pour l'UltraFastTreatment.

Équipé pour toutes les situations

Profinet, Profibus, EtherCAT ou encore interfaces analogiques et numériques permettent d'intégrer simplement les appareils TruPlasma MF Série 7000 dans les installations existantes.

Porte d'armoire électrique

La porte de l'armoire électrique est disponible en option avec un angle d'ouverture particulièrement ouvert (180° au lieu de la valeur standard de 130°).

Déshumidification active de l'armoire électrique

L'armoire électrique du générateur peut être équipée d'une unité de déshumidification active pour des environnements présentant une humidité de l'air très importante. Le fonctionnement de cette unité nécessite un dispositif de régulation de l'eau de refroidissement.

TruControl Power

Le logiciel de commande TruControl Power, convivial et multilingue, vous offre de multiples possibilités de commande, de configuration et de diagnostic.

En sélectionnant les composants système adéquats, vous pouvez adapter le TruPlasma MF Série 7000 (G2) de manière optimale à votre environnement système.

Câble de puissance MF

TRUMPF Hüttinger vous propose des câbles de puissance MF optimisés pour la gamme TruPlasma MF Série 7000 (G2). Ces câbles vous garantissent à tout moment une puissance système optimale.

Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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