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TruPlasma MW Série 1000 / 3000 / 5000

Un robuste générateur de plasma à semi-conducteurs pour des densités de plasma et des exigences de processus les plus élevées

Un robuste et puissant générateur de plasma à semi-conducteurs pour des densités de plasma et des exigences de processus les plus élevées

Les générateurs de la Série TruPlasma MW reposent sur la technologie des semi-conducteurs et atteignent une précision de fréquence nettement supérieure à celle des générateurs de micro-ondes par magnétron. Le concept de plateforme innovant peut réaliser des densités de plasma très élevées et même répondre à des exigences de processus très pointues de manière efficace et économique. La structure modulaire permet de plus une mise à l'échelle précise de la puissance de sortie. L'alimentation électrique reste stable en permanence, sans aucun impact sur la qualité du processus. Dans la fabrication de semi-conducteurs, de cellules solaires et d'écrans, la Série TruPlasma MW garantit les meilleurs résultats et une fiabilité maximale grâce à des fonctions de processus modernes.

Formation précise et rapide des impulsions

Une impulsion innovante de l'ordre de la nanoseconde permet un excellent contrôle du processus plasma.

Dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

Une adaptation automatique de la fréquence garantit un résultat optimal du processus et une reproductibilité élevée.

Phases synchrones

Dans les systèmes à plusieurs antennes, différents générateurs peuvent fonctionner en synchronisation de phase et être pulsés. En faisant varier les relations de phase entre les différents générateurs, il est possible d'obtenir une homogénéité du plasma sur une grande surface.

Conception robuste

Faites confiance au fonctionnement du générateur - même en cas de désadaptation, la qualité du processus n'est pas affectée.

Contrôle fiable des processus

Bénéficiez d'une modulation de fréquence numérique de haute précision garantissant des résultats de processus reproductibles, ainsi qu'une qualité de couche et une productivité maximales.

Communication en temps réel avec plusieurs générateurs

Grâce à l'interface numérique EtherCat, vous pouvez contrôler l'appareil très rapidement, en une milliseconde. Cela permet une répartition précise du plasma.

Fabrication de cellules photovoltaïques

Dans le domaine du photovoltaïque, les procédés plasma tels que la pulvérisation cathodique ou le PECVD sont utilisés pour le dépôt et l'enlèvement de matière. Les générateurs de la Série TruPlasma MW s'adaptent rapidement aux différents processus et garantissent une productivité élevée ainsi que des résultats de processus de première classe. Grâce au dosage précis de l'énergie, les meilleurs résultats sont obtenus même dans les applications les plus modernes et les plus exigeantes. La régulation de la puissance de haute précision permet une reproductibilité optimale de tranche à tranche.

Fabrication de semi-conducteurs

Les générateurs de plasma sont utilisés pour les processus plasma les plus divers au cours de la fabrication de semi-conducteurs, de la gravure sèche à l'étirage de zone dans la fabrication de silicium. Notre Série TruPlasma MW offre une alimentation électrique optimisée pour tous ces processus

Revêtement d'écrans plats

Pour le revêtement des écrans plats, nos générateurs TruPlasma MW montrent leurs capacités dans les processus plasma comme PECVD, ALD et RIE.

Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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