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Générateur pulsé TruPlasma DC Série 4000
Générateur pulsé TruPlasma DC Série 4000
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Série 4000

Limpide : des processus pulsés pour des surfaces irréprochables

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    Le premier choix pour des processus plasma exigeants

    Les générateurs TruPlasma DC Série 4000 constituent le premier choix pour des processus plasma exigeants. Ils délivrent leur puissance totale sur une vaste plage d'adaptation de charge. Ils se qualifient ainsi pour les applications de pulvérisation à haute technologie ainsi que pour les applications de plasma CC standards ou pulsées. Ils disposent, tout comme les générateurs non pulsés, d'une excellente gestion de l'arc.

    Des processus stables, pour des résultats constants

    Grâce à la technique de régulation DSP la plus moderne, les pertes de temps causées par les arcs sont réduites au minimum.

    Excellente gestion d'arc

    De meilleurs résultats grâce à une réduction des séparations de gouttelettes et des détériorations du substrat.

    Un seul générateur pour de nombreux processus

    Grande flexibilité d'utilisation grâce à une large plage de puissance et à des fréquences d'impulsion pouvant atteindre 100 kHz.

    Générateur pulsé TruPlasma DC Série 4000

    Pulvérisation réactive de matériaux difficiles

    Les générateurs pulsés TruPlasma DC Série 4000 ont été mis au point tout spécialement pour la pulvérisation réactive de matériaux difficiles. Les générateurs font leurs preuves dans tous les processus PVD et PECVD critiques, par exemple dans le cadre de la fabrication de cellules photovoltaïques et de semi-conducteurs ou pour les revêtements de matériaux durs.

    Idéal pour le revêtement de pièces métalliques

    Des processus plasma exigeants

    Les générateurs TruPlasma DC Série 4000 constituent le premier choix pour des processus plasma exigeants. Ils délivrent leur puissance totale sur une vaste plage d'adaptation de charge. Ils se qualifient ainsi pour les applications de pulvérisation à haute technologie ainsi que pour les applications de plasma CC standards ou pulsées. Ils disposent, tout comme les générateurs non pulsés, d'une excellente gestion de l'arc.

    Gestion d'arc

    Efficacité élevée

    La gestion de l'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc rend possible des qualités de revêtement et des taux de croissance élevés. Cela réduit encore les séparations de gouttelettes et les détériorations de substrat. Avec la très faible énergie d'arc résiduelle, le processus et le produit final en sont directement améliorés. Une haute productivité est assurée par des durées de fonctionnement stables et constantes avec de très courtes interruptions de processus.

    Générateur pulsé TruPlasma DC Série 4000

    Adaptation conviviale du processus

    Les générateurs TruPlasma DC Série 4000 sont dotés d'une gestion de l'arc, d'une fréquence d'impulsion et d'un déphasage synchronisés. La fréquence et les paramètres d'impulsion peuvent être adaptés avec flexibilité, permettant d'opérer un grand nombre de processus avec un unique appareil. Le mode pulsé synchrone est également possible avec plusieurs générateurs TruPlasma DC 4000.

    Logiciel convivial PVD Power

    PVD Power

    Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

    En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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    Klaus Nock
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    Fax : +49 761 89711150
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    Plaquette TruPlasma DC Série 4000
    Plaquette TruPlasma DC Série 4000
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