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Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion de l'arc rapide
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Série 3000

Stable et polyvalent

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    • Applications
    • Avantages pour le client
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    Générateurs universels pour votre processus de pulvérisation

    Les générateurs TruPlasma Bias Série 3000 prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui sont par exemple utilisées dans la technique de semi-conducteur ou de revêtement en matériau dur. Ils s'adaptent en outre à chaque application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

    Modes haute tension et basse tension

    1 200 V pour les processus de gravure de substrat,
    300 V pour les processus de revêtement compatibles Bias.

    Gestion de l'arc rapide

    Grâce à des énergies d'arc résiduelles très réduites, les détériorations du substrat sont moins nombreuses et les processus sont plus stables.

    Résultats de processus stables et reproductibles

    Une précision unique grâce à la technologie DSP moderne et à l'analyse de signal FPGA.

    Idéal pour les revêtements de grande surface

    Revêtement décoratif

    Les revêtements de grande surface dans le processus plasma sont particulièrement exigeants envers l'alimentation électrique du processus. Les générateurs TruPlasma Bias Série 3000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, de sorte à atteindre des résultats excellents et reproductibles.

    Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

    Technique de semi-conducteur

    Les générateurs TruPlasma Bias Série 3000 font leurs preuves dans tous les processus PVD et PECVD critiques et offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale au processus respectif, pour atteindre des résultats excellents et reproductibles.

    Générateur TruPlasma Bias Série 3000 mis en oeuvre

    Assure des conditions de processus constamment bonnes

    La conception spéciale de puissance et de commande garantit une grande stabilité de tension qui est décisive pour la qualité de revêtement et un processus stable. Reposant sur la technologie DSP avec analyse de signal FPGA, la gamme TruPlasma Bias Série 3000 dispose d'une gestion de l'arc moderne qui offre une exactitude et une précision de répétition uniques. Les impressionnantes valeurs des deux paramètres sont garantes d'une stabilisation optimale du processus.

    Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) : fabrication de revêtements résistants à l'usure

    Facilite le traitement du processsus avec un seul appareil pour plusieurs processus

    La TruPlasma Bias Série 3000 dispose de deux modes tension séparés : un mode haute tension pour max. 1 200 V et un mode basse tension limité à 300 V. Ces modes prennent en charge en particulier les applications de revêtement optiques et métalliques qui interviennent pas exemple dans la technique de semi-conducteur ou le revêtement en matériau dur. Ils sont de plus adaptés à chaque application avec des exigences comparables en matière de tension et d'intensité.

    Domaine d'utilisation typique de la gamme TruPlasma Bias Série 3000 : la production de cellules photovoltaïques

    Une qualité de couche optimale par des processus sans accroc

    Les générateurs TruPlasma Bias série 3000 sont équipés d'une gestion d'arc totalement numérique avec une très faible énergie d'arc qui rend ainsi possible des qualités de revêtement et de taux de croissance élevés. Cela réduit encore davantage le nombre de détériorations du substrat, et améliore le processus ainsi que le produit final.

    Logiciel convivial PVD Power

    PVD Power

    Le logiciel PVD Power, disponible en plusieurs langues et d'utilisation conviviale, offre de nombreuses possibilités d'utilisation, de configuration et de diagnostic pour une optimisation de la qualité de processus et un dépannage efficace : l'affichage des valeurs réelles de tous les paramètres de processus pertinents ainsi que des avertissements et des messages d'alarme, la prescription des valeurs de consigne par l'opérateur, l'enregistrement et la visualisation de paramètres de fonctionnement importants avec haute résolution temporelle (fonction d'oscilloscope).

    En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

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    Klaus Nock
    Ventes Plasma
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    Brochure TruPlasma Bias Série 3000 / 4000
    Brochure TruPlasma Bias Série 3000 / 4000
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