Nous utilisons des cookies pour la préparation de ce site internet. Si vous continuez d'utiliser ce site internet sans modifier les réglages pour les cookies, nous en déduisons que vous êtes d'accord avec l'utilisation de ces derniers.
Technologiebild RF Plasmageneratoren

Générateurs de plasma HF

Les générateurs HF TruPlasma de TRUMPF Hüttinger offrent une stabilité de processus maximale pour tous les systèmes d'alimentation en courant utilisés pour la génération de plasma. La technologie HF convient ainsi particulièrement bien pour les processus nécessitant une grande précision et une reproductibilité garantie. Nos générateurs haute fréquence comptent également parmi les leaders du marché en termes d'efficacité énergétique et de robustesse – ils sont ainsi idéaux pour les applications exigeantes comme la fabrication de composants semi-conducteurs, de puces, de cellules photovoltaïques ou d'écrans plats.

Générateur haute fréquence TruPlasma RF 3006

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Les appareils TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sont des générateurs HF de dernière génération. Grâce à des fonctions innovantes, comme la technologie de couplage brevetée CombineLine ou la mesure en temps réel de tous les paramètres de processus, la sécurité de l'alimentation électrique est garantie même dans les procédés plasma les plus exigeants – des conditions optimales pour obtenir des résultats reproductibles et une productivité élevée.

Générateurs haute fréquence TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006

TruPlasma RF Série 3000

Les puissants générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Série 3000 se distinguent par leur efficacité maximale et la stabilité de processus qu'ils permettent. Ils conviennent donc parfaitement aux processus plasma exigeants, tels que ceux utilisés pour la fabrication des écrans plats, des cellules photovoltaïques ou des semi-conducteurs. Des réseaux adaptatifs conçus spécifiquement en fonction du générateur assurent à tout moment un transfert de puissance optimal et stable du générateur au plasma.

Générateur VHF Série 3000

TruPlasma VHF Série 3000

Puissance maximale pour votre processus : les générateurs TruPlasma VHF Série 3000 sont basés sur un concept de plateforme innovant, qui répond même aux exigences les plus élevées. La structure modulaire des générateurs VHF, refroidie exclusivement par eau, permet un changement d'échelle de la puissance de sortie jusqu'à 80 kW – et ce, dans un espace très réduit !

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale

TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Pour un guidage optimal du processus plasma, il faut adapter avec précision l'impédance de sortie du générateur HF. C'est ce que permettent les réseaux adaptatifs de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13), en faisant le lien entre le générateur et le processus. Vous obtenez ainsi une solution complète pour l'alimentation électrique de vos processus – le système RF TRUMPF.

Service et contact