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Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air Série 1000

Accuracy you can rely on

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    Le générateur HF TruPlasma RF 1001 Air refroidi par air fournit jusqu'à 1 000 W d'énergie HF ultraprécise et reproductible, avec une résolution extrêmement fine – par pas de 100 mW – ce qui en fait l'équipement parfait pour les applications plasma les plus diverses. Pour la fabrication de semi-conducteurs comme pour celle de cellules photovoltaïques ou d'écrans, la technologie TRUMPF Hüttinger brevetée garantit en toutes circonstances une fiabilité maximale et des résultats parfaits grâce à des fonctions de process modernes.

    Dispositif intelligent de réglage automatique de la fréquence

    Garantit une adaptation optimale et très rapide de la fréquence, et donc une interaction parfaite entre le générateur et la boîte d'adaptation de l'impédance.

    Gestion de l'arc ultraprécise

    Un pilotage fiable des processus exigeants et innovants garantit la protection de votre produit.

    Génération d'impulsions multiniveaux

    Une commande flexible et sur plusieurs niveaux de la forme d'impulsion pour de meilleurs résultats sur les processus plasma modernes.

    Plug & Play

    Les générateurs offrent une grande flexibilité d'utilisation ou d'échange en cas de modification du processus ou de rétrofits.

    Des processus plasma stables

    La technologie CombineLine brevetée garantit une puissance de processus uniforme grâce à une impédance de sortie réellement égale à 50 ohms.

    Des générateurs appartenant à une même technologie

    A l'intérieur de la famille de produits HF, différentes classes de puissance permettent de couvrir les exigences de tous les processus.

    Indépendance par rapport à la longueur des câbles HF

    Il n'est plus nécessaire d'adapter la longueur de câble en cas de modification du processus ou du système.

    Alimentation électrique de première classe pour le revêtement des écrans plats

    Les générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Air Série 1000 conviennent parfaitement pour les processus plasma tels que RIE, ALD, PECVD et pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour la fabrication d'éléments semi-conducteurs et de microsystèmes électromécaniques (MEMS) ou pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.

    Fabrication de cellules photovoltaïques

    Les domaines d'utilisation typiques des gammes TruPlasma RF Air Série 1000 sont les processus exigeants de l'industrie solaire (PECVD, gravure et pulvérisation HF).

    Portrait technologique des générateurs plasma RF

    Différents processus par plasma sont utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs, des procédés d'enlèvement de matière par gravure à sec jusqu'à la fusion de zone pour la production de silicium pur. Les générateurs TruPlasma RF Air Série 1000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale à votre processus. Ils vous permettent ainsi d'obtenir des résultats excellents et reproductibles.

    TruPlasma RF 1001 Air
    Sortie HF  
    Puissance de sortie 1 kW
    Puissance nominale 1 kW
    Impédance charge nominale 50 Ω
    Fréquence de sortie 13,56 MHz
    Données de raccordement réseau  
    Tension de réseau 110 - 230 V
    Fréquence du réseau 50-60 Hz
    Puissance réseau absorbée 1,8 kVA
    Facteur de puissance 0,9
    Interfaces de communication  
    Interfaces sync Oui
    Analogique/numérique Oui
    RS 232/RS 485 Oui
    PROFIBUS Oui
    EtherCAT Oui
    DeviceNet Oui
    Enceinte  
    Poids 15 kg
    Protection IP 20
    Exigences de refroidissement  
    Pression hydrostatique max. N/A bar(s)
    Différence de pression max. N/A bar(s)
    Débit min. N/A l/min
    Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C
    Général  
    Rendement global 70 %
    Certificats/standards Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs
    Conditions d'environnement  
    Température extérieure 5 °C - 40 °C
    Humidité de l'air 5 % - 85 %
    Pression barométrique 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Fiche technique

    Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

    Productivité et disponibilité maximales

    Productivité et disponibilité maximales

    Le design flexible et robuste des générateurs HF permet une augmentation de la cadence et une réduction des coûts d'exploitation.

    Technologie CombineLine brevetée

    Des processus stables, des résultats reproductibles

    Avec son adaptation intelligente de l'impédance en temps réel, la technologie brevetée CombineLine garantit une disponibilité optimale du TruPlasma RF 1001 Air et empêche de manière fiable les fluctuations du plasma et les pollutions.

    Compacité et flexibilité d'utilisation

    Grâce à sa construction compacte (½ tiroir enfichable de 19 pouces), le générateur HF occupe très peu d'espace – il est idéal pour les réinstallations et comme solution de rétrofit dans des installations existantes. Les nombreuses interfaces disponibles (interface analogique configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) rendent l'intégration très simple.

    Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

    Précis à la décimale près

    Grâce au dosage précis de l'énergie par pas de 100 mW, le TruPlasma RF 1001 Air permet d'obtenir des résultats excellents, même dans les applications les plus modernes et les plus exigeantes, comme l'ALD. La régulation ultraprécise de la puissance du générateur HF garantit une répétabilité parfaite d'une pièce à la suivante.

    Verre architectural

    Des résultats de processus parfaits grâce à des fonctions de processus modernes

    Des fonctions de commande numériques telles que l'adaptation automatique intelligente de la fréquence 2.0, la gestion de l'arc et la génération d'impulsions multiniveaux, permettent une adaptation optimale du générateur HF au processus concerné.

    TruPlasma RF 1003 : un générateur HF pour une productivité maximale

    Adaptation flexible à l'application client

    Différentes fréquences et classes de puissance sont disponibles sous un même design de générateur, ce qui permet un échange facile en cas de modification du processus. Il n'est même plus nécessaire d'adapter la longueur du câble.

    Commande de l'ensemble du système HF via le SystemPort TRUMPF

    Le SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie de la boîte d'adaptation de l'impédance, de sorte que le générateur HF dispose en permanence de toutes les valeurs de mesure. Cela permet de surveiller les paramètres de processus de manière continue, de protéger la boîte d'adaptation de l'impédance et de garantir une identification de l'arc précoce.

    Auto Frequency Tuning
    Réglage automatique intelligent de la fréquence (AFT)

    Le système breveté de réglage automatique de la fréquence permet une adaptation simultanée et rapide de la fréquence entre le générateur et la boîte d'adaptation de l'impédance. Il garantit ainsi des résultats de processus parfaits et une reproductibilité maximale.

    Gestion de l'arc rapide et précise

    Le système sophistiqué de gestion de l'arc garantit un contrôle optimal du processus plasma. Une identification ciblée des arcs permet d'augmenter la productivité tout en protégeant le produit et l'installation de tout endommagement.

    Génération d'impulsions multiniveaux

    Les processus plasma les plus récents requièrent davantage de flexibilité en mode pulsé. Le mode pulsé multiniveaux, librement sélectionnable, permet d'obtenir n'importe quelle forme d'impulsion. Cela conduit à un nouveau mécanisme de commande dans la physique des plasmas et à de meilleurs résultats de processus.

    Modules de synchronisation (Pulse, CEX, Arc)

    Le module de synchronisation permet de synchroniser de manière flexible et sûre plusieurs générateurs dans des systèmes plasma complexes.

    TruControl Power

    Ce logiciel de commande convivial permet une mise en service confortable et une surveillance fiable du générateur HF ou de l'ensemble du système RF TRUMPF au cours du processus.

    Interface Web

    Le serveur Web intégré permet non seulement de faire fonctionner le système HF, mais aussi d'effectuer des mises à jour logicielles par l'intermédiaire d'un navigateur Web.

    En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

    Contact

    Klaus Nock
    Ventes Plasma
    Fax : +49 761 89711150
    E-mail

    Téléchargements

    Brochure Système RF TruPlasma
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Service et contact