Le générateur HF TruPlasma RF 1001 Air refroidi par air fournit jusqu'à 1 000 W d'énergie HF ultraprécise et reproductible, avec une résolution extrêmement fine – par pas de 100 mW – ce qui en fait l'équipement parfait pour les applications plasma les plus diverses. Pour la fabrication de semi-conducteurs comme pour celle de cellules photovoltaïques ou d'écrans, la technologie TRUMPF Hüttinger brevetée garantit en toutes circonstances une fiabilité maximale et des résultats parfaits grâce à des fonctions de process modernes.
Garantit une adaptation optimale et très rapide de la fréquence, et donc une interaction parfaite entre le générateur et la boîte d'adaptation de l'impédance.
Un pilotage fiable des processus exigeants et innovants garantit la protection de votre produit.
Une commande flexible et sur plusieurs niveaux de la forme d'impulsion pour de meilleurs résultats sur les processus plasma modernes.
Les générateurs offrent une grande flexibilité d'utilisation ou d'échange en cas de modification du processus ou de rétrofits.
La technologie CombineLine brevetée garantit une puissance de processus uniforme grâce à une impédance de sortie réellement égale à 50 ohms.
A l'intérieur de la famille de produits HF, différentes classes de puissance permettent de couvrir les exigences de tous les processus.
Il n'est plus nécessaire d'adapter la longueur de câble en cas de modification du processus ou du système.
Les générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Air Série 1000 conviennent parfaitement pour les processus plasma tels que RIE, ALD, PECVD et pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour la fabrication d'éléments semi-conducteurs et de microsystèmes électromécaniques (MEMS) ou pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.
Les domaines d'utilisation typiques des gammes TruPlasma RF Air Série 1000 sont les processus exigeants de l'industrie solaire (PECVD, gravure et pulvérisation HF).
Différents processus par plasma sont utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs, des procédés d'enlèvement de matière par gravure à sec jusqu'à la fusion de zone pour la production de silicium pur. Les générateurs TruPlasma RF Air Série 1000 offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale à votre processus. Ils vous permettent ainsi d'obtenir des résultats excellents et reproductibles.
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TruPlasma RF 1000 - 1/13 Air
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| Sortie HF | |
| Puissance de sortie | 1 kW |
| Puissance nominale | 1 kW |
| Impédance charge nominale | 50 Ω |
| Fréquence de sortie | 13,56 MHz |
| Données de raccordement réseau | |
| Tension de réseau | 190 - 240 V |
| Fréquence du réseau | 50-60 Hz |
| Puissance réseau absorbée | 1,8 kVA |
| Facteur de puissance | 0,9 |
| Interfaces de communication | |
| Interfaces sync | Oui |
| Analogique/numérique | Oui |
| RS 232/RS 485 | Oui |
| PROFIBUS | Non |
| EtherCAT | Oui |
| DeviceNet | Oui |
| Enceinte | |
| Poids | 15 kg |
| Protection IP | 20 |
| Exigences de refroidissement | |
| Pression hydrostatique max. | N/A bar(s) |
| Différence de pression max. | N/A bar(s) |
| Débit min. | N/A l/min |
| Température du liquide de refroidissement | 5 °C - 35 °C |
| Général | |
| Rendement global | 70 % |
| Certificats/standards | Semi S2, SEMI F47, UL, CE, RoHs |
| Conditions d'environnement | |
| Température extérieure | 5 °C - 40 °C |
| Humidité de l'air | 5 % - 85 % |
| Pression barométrique | 79,5 kPa - 106 kPa |
Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.
Productivité et disponibilité maximales
Le design flexible et robuste des générateurs HF permet une augmentation de la cadence et une réduction des coûts d'exploitation.
Des processus stables, des résultats reproductibles
Avec son adaptation intelligente de l'impédance en temps réel, la technologie brevetée CombineLine garantit une disponibilité optimale du TruPlasma RF 1001 Air et empêche de manière fiable les fluctuations du plasma et les pollutions.
Compacité et flexibilité d'utilisation
Grâce à sa construction compacte (½ tiroir enfichable de 19 pouces), le générateur HF occupe très peu d'espace – il est idéal pour les réinstallations et comme solution de rétrofit dans des installations existantes. Les nombreuses interfaces disponibles (interface analogique configurable, Ethernet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) rendent l'intégration très simple.
Précis à la décimale près
Grâce au dosage précis de l'énergie par pas de 100 mW, le TruPlasma RF 1001 Air permet d'obtenir des résultats excellents, même dans les applications les plus modernes et les plus exigeantes, comme l'ALD. La régulation ultraprécise de la puissance du générateur HF garantit une répétabilité parfaite d'une pièce à la suivante.
Des résultats de processus parfaits grâce à des fonctions de processus modernes
Des fonctions de commande numériques telles que l'adaptation automatique intelligente de la fréquence 2.0, la gestion de l'arc et la génération d'impulsions multiniveaux, permettent une adaptation optimale du générateur HF au processus concerné.
Adaptation flexible à l'application client
Différentes fréquences et classes de puissance sont disponibles sous un même design de générateur, ce qui permet un échange facile en cas de modification du processus. Il n'est même plus nécessaire d'adapter la longueur du câble.
Commande de l'ensemble du système HF via le SystemPort TRUMPF
Le SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie de la boîte d'adaptation de l'impédance, de sorte que le générateur HF dispose en permanence de toutes les valeurs de mesure. Cela permet de surveiller les paramètres de processus de manière continue, de protéger la boîte d'adaptation de l'impédance et de garantir une identification de l'arc précoce.
Le système breveté de réglage automatique de la fréquence permet une adaptation simultanée et rapide de la fréquence entre le générateur et la boîte d'adaptation de l'impédance. Il garantit ainsi des résultats de processus parfaits et une reproductibilité maximale.
Le système sophistiqué de gestion de l'arc garantit un contrôle optimal du processus plasma. Une identification ciblée des arcs permet d'augmenter la productivité tout en protégeant le produit et l'installation de tout endommagement.
Les processus plasma les plus récents requièrent davantage de flexibilité en mode pulsé. Le mode pulsé multiniveaux, librement sélectionnable, permet d'obtenir n'importe quelle forme d'impulsion. Cela conduit à un nouveau mécanisme de commande dans la physique des plasmas et à de meilleurs résultats de processus.
Le module de synchronisation permet de synchroniser de manière flexible et sûre plusieurs générateurs dans des systèmes plasma complexes.
TruControl Power
Ce logiciel de commande convivial permet une mise en service confortable et une surveillance fiable du générateur HF ou de l'ensemble du système RF TRUMPF au cours du processus.
Interface Web
Le serveur Web intégré permet non seulement de faire fonctionner le système HF, mais aussi d'effectuer des mises à jour logicielles par l'intermédiaire d'un navigateur Web.
Il peut y avoir des différences par rapport à cette gamme de produits et à ces indications dans certains pays. Sous réserve de modification de la technologie, de l’équipement, du prix et de l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur local, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.
