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Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Générateurs de plasma CC

Les générateurs de plasma CC pulsé de TRUMPF Hüttinger conviennent de manière idéale à une utilisation dans de nombreux processus réactifs. A la différence des générateurs à courant continu simples, les générateurs à courant continu pulsé permettent également de traiter les matières semi-conductrices ou non conductrices comme les oxydes. Les générateurs d'impulsions sont fréquemment utilisés pour les revêtements durs ainsi que pour les processus de décapage et de revêtement dans la fabrication des semi-conducteurs.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Série 4000 (G2)

La gamme TruPlasma DC Série 4000 (G2) associe l'excellente gestion d'arc de TRUMPF Hüttinger aux avantages de la technologie du courant continu pulsé. Vous obtenez ainsi de meilleurs résultats de revêtement, avec moins de défauts, pour une vitesse de déposition plus élevée. Résultat : des surfaces parfaites et un rendement soutenu.

Générateur pulsé TruPlasma DC Série 4000

TruPlasma DC Série 4000

Les générateurs TruPlasma DC Série 4000 constituent le premier choix pour des processus plasma exigeants. Ils délivrent leur puissance totale sur une vaste plage d'adaptation de charge. Ils se qualifient ainsi pour les applications de pulvérisation à haute technologie ainsi que pour les applications de plasma DC standards ou pulsées. Ils disposent, tout comme les générateurs non pulsés, d'une excellente gestion d'arc.

Générateur TruPlasma Highpulse Série 4000

TruPlasma Highpulse Série 4000

Les générateurs de la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 représentent le choix optimal pour les applications HIPIMS et produisent des revêtements de matière dure particulièrement résistants à la corrosion et à l'usure. En combinaison avec des substrats polarisés, la gamme TruPlasma Highpulse Série 4000 peut également être utilisée pour des applications de semi-conducteurs, comme la gravure, le prétraitement de surfaces et le remplissage de tranchée.

Générateur Bias avec gestion de tension stable et gestion d'arc rapide

TruPlasma Bias Série 4000

La TruPlasma Bias Série 4000 est une gamme de générateurs Bias DC pulsés très modernes. Des fréquences d'impulsions atteignant 100 kHz ainsi qu'une sortie Bias continue sont possibles.
Chaque appareil de la gamme dispose de deux modes de fonctionnement : un mode haute tension à 1 200 V pour les processus de gravure de substrat ainsi qu'un mode basse tension à 300 V pour les processus de revêtement compatibles Bias, tels qu'utilisés dans la technologie des semi-conducteurs ou du revêtement de matière dure.

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