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Générateur haute fréquence TruPlasma RF 3006
Générateur haute fréquence TruPlasma RF 3006
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13)

Des processus stables pour une productivité maximale

Générateurs HF de nouvelle génération

Une alimentation électrique du plasma stable et reproductible est d'une importance décisive pour le revêtement ou la structuration des surfaces. Les générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) et leur électronique de puissance moderne offrent ici les meilleures conditions préalables : grâce à la stabilité de leur puissance de sortie et à leur grande précision de réglage, ils vous garantissent à la fois les meilleurs résultats et une productivité élevée.

Précision et répétition élevées

Technologie CombineLine : une puissance de processus optimale grâce à une véritable impédance de sortie de 50 ohms.

Indépendance par rapport à la longueur des câbles HF

Plus besoin d'adapter la longueur des câbles – une nouveauté absolue dans le domaine HF !

Robustesse et sécurité

Technologie CombineLine : une protection fiable contre la puissance réfléchie en cas de désadaptation.

Efficacité et rentabilité

Grâce à des rendements maximaux de 80 %, la réduction de vos coûts énergétiques peut atteindre 50 %.

Concept de refroidissement sans ventilateur

Aucun réchauffement ni pollution de l'air ambiant : le système est utilisable en salle blanche.

Générateur HF TruPlasma RF 3006

Idéal pour le revêtement des écrans plats

Les générateurs HF de la gamme TruPlasma Série RF 1000 / 3000 (G2/13) conviennent parfaitement pour les procédés plasma tels que RIE, ALD, PECVD et la pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour la fabrication d'éléments semi-conducteurs et de microsystèmes électromécaniques (MEMS) ou pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.

Fabrication de cellules photovoltaïques

Domaine d'utilisation typique : l'industrie solaire

Les domaines d'utilisation typiques des gammes TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) sont les processus exigeants de l'industrie solaire (PECVD, gravure et pulvérisation HF).

Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

Fabrication de semi-conducteurs

Différents processus par plasma sont utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs, des procédés d'enlèvement de matière par gravure à sec jusqu'à la fusion de zone pour la production de silicium pur. Les générateurs TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) offrent toutes les conditions requises pour une alimentation électrique stable et adaptée de manière optimale à votre processus. Ils vous permettent ainsi d'obtenir des résultats excellents et reproductibles.

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TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
Sortie HF      
Puissance de sortie 2 kW 3 kW 6 kW
Puissance nominale 2 kW 3 kW 6 kW
Impédance charge nominale 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Fréquence de sortie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Données de raccordement réseau      
Tension de réseau 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Fréquence du réseau 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Puissance réseau absorbée 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Facteur de puissance 0,95 0,95 0,95
Interfaces de communication      
Interfaces sync Oui Oui Oui
Analogique/numérique Oui Oui Oui
RS 232/RS 485 Oui Oui Oui
PROFIBUS Oui Oui Oui
EtherCAT Oui Oui Oui
DeviceNet Oui Oui Oui
Enceinte      
Poids 18 kg 18 kg 38 kg
Protection IP 30 30 30
Exigences de refroidissement      
Pression hydrostatique max. 7 bar(s) 7 bar(s) 7 bar(s)
Différence de pression max. 1,1 bar(s) 1,1 bar(s) 1,1 bar(s)
Débit min. 4 l/min 4 l/min 8 l/min
Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
Général      
Rendement global 80 % 80 % 80 %
Certificats/standards Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs Semi S2, SEMI F47, UL, CSA, CE, RoHs
Conditions d'environnement      
Température extérieure 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Humidité de l'air 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pression barométrique 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Technologie CombineLine intégrée

Adaptation optimale à votre processus

L'adaptation intelligente en temps réel des appareils TruPlasma RF Série 1000 / 3000 (G2/13) permet un réglage rapide et direct de l'impédance sur 50 ohms. La technologie brevetée CombineLine empêche de manière fiable les fluctuations du plasma et le dégagement d'impuretés, et le concept de refroidissement sans ventilateur réduit le taux d'apparition de défaillances, augmente l'efficacité et permet une utilisation en salle blanche.

Générateur HF pour circuits oscillants parallèles

Efficacité et flexibilité maximales

Grâce aux rendements très élevés (jusqu'à 80 %), la réduction de vos coûts énergétiques peut atteindre 50 % par rapport aux générateurs classiques. Les nombreuses interfaces disponibles (interface analogique configurable, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) facilitent l'intégration dans des installations existantes. Les blocs d'alimentation à plage ultralarge (200-480 VAC) rendent toute modification technique superflue. Le modèle, compact malgré sa grande densité de puissance (tiroir enfichable de 19 pouces ou 19 pouces ½), peut être intégré à n'importe quelle installation de production dans un minimum d'espace.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie du réseau adaptatif. L'ensemble des valeurs de mesure est à la disposition du générateur RF. Cela permet de mieux surveiller les paramètres de processus, de protéger le réseau adaptatif et de garantir une identification d'arc précoce. Il est donc possible de commander l'ensemble du système RF via une seule interface de générateur.

Différentes options vous permettent d'adapter le générateur HF de manière optimale à votre application.

Gestion de l'arc HF

Ce système élaboré de gestion de l'arc est le module de contrôle idéal pour les processus plasma. L'identification ciblée des arcs garantit une productivité maximale tout en protégeant le produit et l'installation.

Auto Frequency Tuning

La solution brevetée Auto Frequency Tuning permet une adaptation simultanée et rapide de la fréquence et garantit une synergie parfaite entre le générateur et le réseau adaptatif. Grâce à cette technique brevetée, un minimum local ne constitue plus un obstacle : le système RF est amené à son optimum, ce qui permet d'obtenir les meilleurs résultats de processus et une reproductibilité élevée.

Tous les composants du système RF de TRUMPF sont parfaitement ajustés les uns aux autres.

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
Réseau adaptatif de la gamme TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Les réseaux adaptatifs TruPlasma Match assurent un transfert optimal de la puissance du générateur à la décharge de plasma. Le réseau adaptatif peut fonctionner de manière autonome ou via une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente, SystemPort.

Maître-oscillateur pour la stabilisation des procédés plasma synchrones critiques
Maîtres-oscillateurs

Les maîtres-oscillateurs permettent de stabiliser et d'optimiser les processus plasma synchrones critiques. Un synthétiseur numérique de fréquence et de phase intégré garantit une grande stabilité de ces deux paramètres, et permet de régler la relation de phase par incréments très faibles. Différentes versions de maîtres-oscillateurs sont disponibles pour la fréquence 13,56 MHz et pour diverses combinaisons de fréquences.

Commutateur HF permettant d'utiliser un générateur HF sur des systèmes plasma flexibles
Commutateur HF

Un commutateur HF permet d'utiliser un générateur HF sur différentes stations de traitement au plasma, par exemple pour l'alimentation électrique de processus séquentiels ou sur des systèmes possédant plusieurs points d'alimentation. Il existe différents commutateurs HF, de deux classes de puissance et avec 2, 3 ou 4 sorties.

Câble coaxial pour la transmission de la puissance spécifiée
Câble coaxial

Pour la transmission de puissance HF, TRUMPF Hüttinger propose des câbles coaxiaux spécialement conçus pour les systèmes 50 ohms.

Générateur et réseau adaptatif : une solution système parfaitement harmonisée

Parfaitement harmonisé : le système TRUMPF RF

Les processus par plasma se comportent comme une charge variable complexe qui doit être continuellement actualisée par le générateur. Cette fonction est assurée par des réseaux adaptatifs actifs, qui garantissent à tout moment une adaptation précise à l'impédance optimale de 50 ohms. On obtient ainsi une solution intégrée parfaitement harmonisée : le système TRUMPF RF. Différentes interfaces, notamment EtherCAT, vous permettent d'intégrer très facilement le générateur et le réseau adaptatif à votre environnement existant, et d'obtenir une solution optimisée grâce à une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente appelée SystemPort.

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

Pied de page
  • La température de l'eau de refroidissement doit être supérieure au point de rosée de la température ambiante, pour éviter toute condensation.

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Klaus Nock
Ventes Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Téléchargements

Brochure TruPlasma RF Série 1000 3000
Brochure TruPlasma RF Série 1000 3000
pdf - 337 KB
Brochure Système RF TruPlasma
pdf - 6 MB
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