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Générateurs haute fréquence TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Générateurs haute fréquence TruPlasma RF 3024 / 3012 / 3006
Processus d'excitation du plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Série 3000

La technologie haute fréquence sans compromis

Garants d'excellents résultats de processus

Avec ces générateurs HF, vous optez pour la sécurité : les appareils de la gamme TruPlasma RF Série 3000 se distinguent par leur construction robuste et leur grande efficacité. Ils conviennent donc parfaitement pour des processus plasma stables et reproductibles, tels que ceux utilisés par exemple pour la fabrication d'écrans plats, de cellules photovoltaïques ou de semi-conducteurs. Installés dans des milliers d'application dans le monde, ces générateurs garantissent une productivité élevée et des résultats de processus exceptionnels.

Efficacité et rentabilité

Grâce à des rendements maximaux de 80 %, la réduction de vos coûts énergétiques peut atteindre 50 %.

Excellente gestion de l'arc RF

Pilotage sûr y compris de processus exigeants et originaux.

Grande solidité et stabilité du processus

Technologie CombineLine : une protection fiable contre les puissances réfléchies en cas de désadaptation.

Flexibilité maximale

Production de puissance continue ou pulsée, ce qui permet des utilisations très variées.

Idéal pour les processus de gravure et de revêtement

Processus de gravure et de revêtement

Les générateurs haute fréquence TruPlasma RF Série 3000 sont appropriés en particulier pour les processus de revêtement et de gravure, par ex. gravure par plasma, gravure ionique réactive, ALD et PECVD.

Idéal pour le revêtement de pièces métalliques

Revêtement de pièces métalliques

Les procédés plasma permettent à la fois d'appliquer et d'enlever du matériau sur des surfaces, par exemple pour l'application d'un revêtement anti-usure sur des pièces métalliques ou la structuration d'éléments électroniques par gravure au plasma ou par la calcination au plasma de résine photosensible.

Alimentation électrique de première classe pour le revêtement des écrans plats

Revêtement d'écrans plats et de cellules photovoltaïques

Les générateurs HF de la gamme TruPlasma RF Série 3000 conviennent parfaitement pour les procédés plasma tels que RIE, ALD, PECVD et la pulvérisation RF. Ces procédés sont notamment utilisés pour le revêtement des écrans plats et des cellules photovoltaïques.

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Sortie HF          
Puissance de sortie 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Puissance nominale 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
Impédance charge nominale 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Fréquence de sortie 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Données de raccordement réseau          
Tension de réseau 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
Fréquence du réseau 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Puissance réseau absorbée 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
Facteur de puissance 0,93 0,93 0,93 - -
Interfaces de communication          
Interfaces sync Oui Oui Oui Oui Oui
Analogique/numérique Oui Oui Oui Oui Oui
RS 232/RS 485 Oui Oui Oui Oui Oui
PROFIBUS Oui Oui Oui Oui Oui
EtherCAT Oui Oui Oui Non Non
DeviceNet Oui Oui Oui Oui Oui
Enceinte          
Poids 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
Protection IP 20 20 20 54 54
Exigences de refroidissement          
Pression hydrostatique max. 7 bar(s) 7 bar(s) 7 bar(s) 6 bar(s) 6 bar(s)
Différence de pression max. 2 bar(s) 2 bar(s) 2 bar(s) 2,5 bar(s) 2,5 bar(s)
Débit min. 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
Température du liquide de refroidissement 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
Général          
Rendement global 78 % 75 % 75 % - -
Certificats/standards SEMI F47, CE, RoHs SEMI F47, CE, RoHs SEMI F47, CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
Conditions d'environnement          
Température extérieure 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Humidité de l'air 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pression barométrique 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Fiche technique

Les caractéristiques techniques de toutes les variantes de produits en téléchargement.

Technologie CombineLine intégrée

Efficacité et stabilité de processus maximales

Vous minimisez vos coûts d'exploitation grâce à une diminution de moitié de la perte de puissance et à la réduction des besoins en eau de refroidissement permise par un rendement excellent. La construction très robuste des générateurs autorise des temps de fonctionnement plus longs, même pour des processus critiques, et ainsi des vitesses de revêtement supérieures. La fluctuations du plasma sont empêchées de manière efficace par la technologie CombineLine avec une impédance de sortie de 50 ohms, ce qui rend possible des processus absolument stables.

Générateur haute fréquence TruPlasma RF 3012

Sécurité dans toutes les circonstances

La construction robuste garantit une fiabilité et une productivité maximales de votre processus. Une protection à 100 % contre les désadaptations garantit un fonctionnement sûr, y compris en cas de charges critiques. La fourniture de puissance au choix continue ou pulsée prend en charge une gamme d'exigences de processus. Plus de 20.000 unités sont déjà installées à travers le monde, plus que de toute autre alimentation électrique à plasma.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

SystemPort permet la formation d'un circuit de régulation fermé grâce à la mesure du signal RF directement à l'entrée et à la sortie du réseau adaptatif. L'ensemble des valeurs de mesure est à la disposition du générateur RF. Cela permet de mieux surveiller les paramètres de processus, de protéger le réseau adaptatif et de garantir une identification d'arc précoce. Il est donc possible de commander l'ensemble du système RF via une seule interface de générateur.

Diverses options vous permettent une adaptation optimale du générateur HF pulsé à votre application.

Gestion de l'arc

Ce système élaboré de gestion de l'arc est le module de contrôle idéal pour les processus plasma. L'identification ciblée des arcs garantit une productivité maximale tout en protégeant le produit et l'installation.

Logiciel convivial TruControl Power

TruControl Power

Le logiciel de commande convivial TruControl Power autorise une mise en service confortable et une surveillance sûre du générateur HF ou du système RF TRUMP complet en cours de processus.

Tous les composants du système RF de TRUMPF sont parfaitement ajustés les uns aux autres.

Solution système RF : un réseau adaptatif pour une stabilité de processus maximale
TruPlasma Match Série 1000 (G2/13)

Les réseaux adaptatifs TruPlasma Match assurent un transfert optimal de la puissance du générateur à la décharge de plasma. Le réseau adaptatif peut fonctionner de manière autonome ou via une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente, SystemPort.

Maître-oscillateur pour la stabilisation des procédés plasma synchrones critiques
Maîtres-oscillateurs

Les maîtres-oscillateurs permettent de stabiliser et d'optimiser les processus plasma synchrones critiques. Un synthétiseur numérique de fréquence et de phase intégré garantit une grande stabilité de ces deux paramètres, et permet de régler la relation de phase par incréments très faibles. Différentes versions de maîtres-oscillateurs sont disponibles pour la fréquence 13,56 MHz et pour diverses combinaisons de fréquences.

Commutateur HF permettant d'utiliser un générateur HF sur des systèmes plasma flexibles
Commutateur HF

Un commutateur HF permet d'utiliser un générateur HF sur différentes stations de traitement au plasma, par exemple pour l'alimentation électrique de processus séquentiels ou sur des systèmes possédant plusieurs points d'alimentation. Il existe différents commutateurs HF, de deux classes de puissance et avec 2, 3 ou 4 sorties.

Câble coaxial pour la transmission de la puissance spécifiée
Câble coaxial

Pour la transmission de puissance HF, TRUMPF Hüttinger propose des câbles coaxiaux spécialement conçus pour les systèmes 50 ohms.

Générateur et réseau adaptatif : une solution système parfaitement harmonisée

Générateur et réseau adaptatif parfaitement ajustés l'un à l'autre

Les processus par plasma se comportent comme une charge variable complexe qui doit être continuellement actualisée par le générateur. Cette fonction est assurée par des réseaux adaptatifs actifs, qui garantissent à tout moment une adaptation précise à l'impédance optimale de 50 ohms. On obtient ainsi une solution intégrée parfaitement harmonisée : le système TRUMPF RF. Différentes interfaces, notamment EtherCAT, vous permettent d'intégrer très facilement le générateur et le réseau adaptatif à votre environnement existant, et d'obtenir une solution optimisée grâce à une liaison générateur-réseau adaptatif intelligente appelée SystemPort.

En fonction du pays, des divergences peuvent survenir au niveau de la gamme de produits et de ces indications. Sous réserve de modifications dans la technique, l’équipement, le prix et l’offre d’accessoires. Veuillez contacter votre interlocuteur sur place, afin de savoir si le produit est disponible dans votre pays.

Pied de page
  • La température de l'eau de refroidissement doit être supérieure au point de rosée de la température ambiante, pour éviter toute condensation.

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Contact

Klaus Nock
Ventes Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Téléchargements

Brochure TruPlasma RF Série 3000
Brochure TruPlasma RF Série 3000
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Brochure Système RF TruPlasma
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