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MF Plasmageneratoren

Générateurs de plasma MF

Les générateurs de plasma MF de TRUMPF Hüttinger sont utilisés principalement dans les systèmes à deux cathodes, notamment pour la pulvérisation à double magnétron. Grâce à leur grande puissance de sortie et à la stabilité du processus, les générateurs MF conviennent tant pour le revêtement de verre architectural de grandes surfaces à haute vitesse de dépôt, que pour l'application de couches ultrafines et homogènes sur des semi-conducteurs et cellules photovoltaïques. Grâce à leur précision et leur productivité exceptionnelles, nos systèmes d'alimentation en courant de processus représentent la solution idéale pour de nombreuses applications dans le domaine de la génération de plasma.

Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1)

Les blocs d'alimentation électrique de processus de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2.1), avec des signaux de sortie souplement configurables et une gestion d'arc perfectionnée, fournissent des résultats excellents pour la fabrication de cellules photovoltaïques et de semi-conducteurs, l'application de couches décoratives et résistantes à l'usure ainsi que le revêtement de verre architectural. Les générateurs de dernière génération sont parfaits pour les processus plasma exigeants tels que la pulvérisation réactive, le PVD et le PECVD.

Générateur bipolaire TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2)

Les alimentations électriques de la gamme TruPlasma Bipolar Série 4000 (G2) sont parfaitement adaptées à des processus plasma exigeants, tels que la pulvérisation réactive, le PVD et le PECVD. Avec des signaux de sortie souplement configurables et une gestion de l'arc perfectionnée, elles fournissent des résultats excellents pour la fabrication de semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques, le revêtement de verre architectural et l'application de couches décoratives et résistantes à l'usure.

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

TruPlasma MF Série 7000 (G2)

Avec les générateurs MF TruPlasma Série MF 7000 (G2), vous gardez toujours le plein contrôle de votre processus. Résultat : des revêtements d'une qualité exceptionnelle et une productivité maximale, même pour des applications de revêtement exigeantes sur de grandes surfaces. Avec des rendements de pointe supérieurs à 90 %, ces alimentations électriques de dernière génération sont également très économiques à utiliser.

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