Ezen a weboldalon sütiket használunk. Ha továbbra is a sütik beállításának módosítása nélkül használja ezt a weboldalt, akkor abból indulunk ki, hogy Ön beleegyezik a sütik használatába.
Bias generátor stabil feszesség és gyors spontán ívkisülés kezeléssel
Bias generátor stabil feszesség és gyors spontán ívkisülés kezeléssel
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias 4000 sorozat

Stabil és sokoldalú

Univerzális generátorok a fémbevonó eljáráshoz

A TruPlasma Bias 4000 sorozat a legmodernebb impulzusvezérlésű DC-Bias generátorok termékcsaládja. Legfeljebb 100 kHz-es impulzusfrekvencia, ill. folyamatos Bias output lehetséges. A generátorok elsősorban az optikai és fém bevonatoló alkalmazásokat támogatják, amelyeket pl. a félvezető technikában vagy kemény anyag bevonatoknál alkalmaznak. Ezenfelül hasonló feszültség és áram követelményekkel minden alkalmazáshoz illenek.

Magas- és alacsony feszültségű üzemmód

1200 V a szubsztrátum marási eljárásokhoz,
300 V a Bias által támogatott bevonatoló eljárásokhoz.

Gyors spontán ívkisülés kezelés

A jelentősen kevesebb a cseppfogásnak és a szubsztrátum jelentősen kevesebb sérülésének köszönhetően.

Stabil és reprodukálható folyamateredmények

Kiváló spontán ívkisülés kezelés a modern DSP technikának és FPGA jelfeldolgozásnak köszönhetően.

A TruPlasma Bipolar 4000 sorozat (G2) tipikus alkalmazási területe: kopásmentes rétegek gyártása

Kopásmentes rétegek gyártása

A TruPlasma Bias 4000 sorozat generátorai stabil plazma eljárásról és így optimális rétegminőségről gondoskodnak.

Ideális nagy felületű bevonatoláshoz

Nagy felületű bevonatolás

A nagy felületű bevonatolások a plazma eljárásban különösen magas követelményeket támasztanak az eljárás áramellátásával szemben. A TruPlasma Bias 4000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

A TruPlasma Bias 4000 sorozat generátora

Napelem gyártás

A TruPlasma Bias 4000 sorozat generátorai megállják a helyüket minden kritikus PVD és PECVD eljárásban, és minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

- / -
TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Kimenet      
Névleges teljesítmény 12 kW 18 kW 26 kW
Maximális kimeneti áramerősség 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Maximális kimeneti feszültség 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Névleges üzemi frekvencia 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Spontán ívkisülés paraméter      
Maximális spontán ívkisülés-arány 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Spontán ívkisülés kezelési ideje <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Hálózati csatlakozási adatok      
Hálózati feszültség 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Hálózati frekvencia 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Kommunikációs interfészek      
Analóg/Digitális Igen Igen Igen
RS 232 / RS 485 - Igen -
PROFIBUS Igen - Igen
EtherCAT Nem Nem Nem
Burkolat      
Tömeg 70 kg 70 kg 71 kg
IP védettség IP 20 IP 20 IP 20
Hűtési követelmények      
Hűtőközeg Levegő Levegő Levegő
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Általános      
Teljes hatásfok 90 % 90 % 90 %
Tanúsítványok / Szabványok CE CE CE
Környezeti feltételek      
Külső hőmérséklet 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Páratartalom 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

Építészeti üveg

Egyenletesen jó eljárási feltételeket biztosít

A speciális teljesítmény és vezérlési dizájn megalapozott feszültség stabilitásról gondoskodik, amely döntő fontosságú a réteg minőségéhez és a stabil eljáráshoz. DSP technikával és FPGA jelfeldolgozással készítve a TruPlasma Bias 4000 sorozat olyan spontán ívkisülés kezeléssel rendelkezik, amely egyedülálló pontosságot és ismétlési pontosságot nyújt. A két paraméter meggyőző értékei optimális folyamatstabilizálásról gondoskodnak.

Kemény anyag bevonatolás

Leegyszerűsített rendszerkezelés egyetlen készülékkel több eljáráshoz

A TruPlasma Bias 4000 sorozat két külön feszültség móddal rendelkezik: egy legfeljebb 1200 voltos nagyfeszültségű móddal és egy legfeljebb 300 voltos kisfeszültségű móddal. Az üzemmódok elsősorban az optikai és fém bevonatoló alkalmazásokat támogatják, amelyeket pl. a félvezető technikában vagy kemény anyag bevonatoknál alkalmaznak. Ezenfelül hasonló feszültség és áram követelményekkel minden alkalmazáshoz illenek.

Spontán ívkisülés kezelés

Optimális rétegminőség a súrlódásmentes eljárások révén

A TruPlasma Bias 4000 sorozat generátorai igen alacsony spontán ívkisülés energiával rendelkező, teljesen digitális spontán ívkisülés kezeléssel és CompensateLine-nal vannak felszerelve, így kiváló minőségű réteget és leválasztási arányokat tesznek lehetővé. Ezáltal még kevesebb a cseppfogás, és a szubsztrátum még kevésbé sérül, az eljárás és a termék pedig javul.

Kezelőbarát PVD Power szoftver

PVD Power

A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Services_Electronics_Technical_Support
Egyedülálló szerviz

A személyre szabott szervizmegállapodással biztosíthatja a generátor maximális rendelkezésre állását, valamint az áttekinthető karbantartási és üzemeltetési költségeket.

Bias Generator mit stabilem Spannungs- und schnellem Arc-Management
Optimalizált impulzusvezérlésű eljárások

A kétféle munkamódot biztosító és teljesen digitális spontán ívkisülés kezeléssel rendelkező TruPlasma Bias 3000 sorozatú generátorok magas vágásminőséget és leválasztási arányt biztosítanak.

Services_Electronics_Training
Erősségünk a személyre szabott ügyféloktatás

Tapasztalt szerviztechnikusok megalapozott tudást közvetítenek, amely tartalmilag a résztvevők igényeire van szabva.

Kapcsolat

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Letöltések

Brosúra
TruPlasma Bias 3000/4000 sorozat brosúra
TruPlasma Bias 3000/4000 sorozat brosúra
pdf - 1 MB
Szerviz & kapcsolat