A TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai a DC fémbevonó generátorok alternatívájaként a meglévő magnetron rendszerekben módosítás nélkül használhatók.
Az akár 8 MW-os impulzusok rendkívül sűrű plazmát hoznak létre a legjobb bevonatolási eredmények érdekében.
Kiváló folyamateredmények a nagy teljesítményű impulzus magnetron fémbevonásnál (HIPIMS).
1 MW és 8 MW közötti impulzusteljesítmény, 10 kW és 20 kW közötti átlagos teljesítmény.
HIPIMS alkalmazások
A TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai jelentik a legjobb választást a HIPIMS alkalmazásokhoz. Az impulzusvezérlésű PVD fémbevonó eljárás legújabb fejlesztéseként a HIPIMS különösen korrózióálló és kopásálló kemény anyag bevonatolást eredményez.
Marás, felületek előkezelése és trench-filling
A legfeljebb 8 megawattos teljesítménycsúcsok extrém plazmasűrűséget hoznak létre nagy ionfolyamokkal. Alapvetően a spontán ívkisüléssel összehasonlítva a HIPIMS technikánál nincsenek anyagcseppek (droplets). A polarizált szubsztrátumokkal kombinálva a TruPlasma Highpulse 4000 sorozat félvezető alkalmazásokat is kezelni tud, pl. marás, felületek előkezelése és trench-filling.
Ideális nagy felületű bevonatoláshoz
A nagy felületű bevonatolások a plazma eljárásban különösen magas követelményeket támasztanak az eljárás áramellátásával szemben. A TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Napelem gyártás
A napelemek területén számos alkalmazási terület van a méretre szabott munkaenergiához. TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazíthatók, kiváló bevonatolási paramétereket, valamint nagyfokú termelékenységet tesznek lehetővé.
Optimális folyamateredmények
A TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai verhetetlen rugalmasságot kínálnak a kutatási és ipari eljárásokhoz, és cseppmentes fémbevonást és a felületsérülések előfordulásának minimalizálását teszik lehetővé. A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés a valós idejű árammérésen alapulva kiváló réteg minőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé.
Rugalmasan alkalmazható
A TruPlasma Highpulse 4000 sorozat generátorai a meglévő katódrendszerhez és az eljárás feltételeihez igazíthatók, és a készülék optimális bekötését teszik lehetővé.
A különböző opciók révén a TruPlasma Highpulse 4000 sorozat optimálisan az alkalmazáshoz igazítható.
A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
Ezek a témák is érdekelhetik Önt
Kapcsolat
Szolgáltatások
Letöltések
