Robusztus és magas teljesítményű szilárdtest-teljesítmény-plazmagenerátor a legmagasabb plazmasűrűséghez és folyamatkövetelményekhez
TruPlasma MW Serie generátorai a szilárdtest-technológián alapulnak, és jelentősen magasabb frekvenciapontossággal működnek, mint a magnetron alapú mikrohullám-generátorok. Az innovatív platform koncepció képes a legmagasabb plazmasűrűséget és a rendkívül kifinomult folyamatkövetelményeket hatékonyan és gazdaságosan megvalósítani. A moduláris felépítés emellett a kimenő teljesítmény pontos skálaelosztását teszi lehetővé. Az áramellátás eközben mindvégig stabil marad a folyamatminőség bárminemű korlátozása nélkül. A félvezetők, napelemek és kijelzők gyártásában a TruPlasma MW Serie a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően a legjobb eredményeket és a maximális megbízhatóságot biztosítja.
Egy innovatív pulsing a nanoszekundum-tartományban lehetővé teszi a legjobb plazmafolyamat-ellenőrzést.
Az automatikus frekvencia-beállítás optimális folyamateredményt és magas reprodukálhatóságot biztosít.
A többantennás rendszerekben a különböző generátorok fázisszinkronban üzemeltethetők és pulzálhatók. Az egyes generátorok közötti fázisviszonyok változtatásával egy nagy felületű plazmahomogenitás érhető el.
Hagyatkozzon a generátor működésére – a folyamat minőségét még a hibák sem korlátozzák.
Használja ki a magas pontosságú, digitális frekvenciamodulációt, amely gondoskodik a reprodukálható folyamateredményekről, a magas rétegminőségről és produktivitásról.
A digitális EtherCat interfész által a készüléket rendkívül gyorsan, egy ezredmásodperc alatt irányíthatja. Ez egy precíz plazmafelosztást tesz lehetővé.
Napelemek gyártása
A napenergia területén a plazmafolyamatok, mint a porlasztás vagy PECVD az anyag felvitelére és eltávolítására szolgálnak. A TruPlasma MW Serie generátorai gyorsan hozzáilleszthetők a különböző folyamatokhoz, és magas produktivitást, illetve elsőosztályú folyamateredményeket biztosítanak. A precíz energia-adagolásnak köszönhetően a legmodernebb, legkifinomultabb alkalmazásoknál is a legjobb eredményeket produkálják. Emellett a magas pontosságú teljesítményszabályozás a legjobb „wafer-to-wafer”-ismételhetőséget teszi lehetővé.
Félvezetők gyártása
A plazmagenerátorokat a legkülönfélébb plazmafolyamatokhoz használják a félvezetők gyártásában – a száraz maratástól a zónahúzásig a szilíciumgyártásban. TruPlasma MW Serie optimalizált áramellátást kínál mindezen folyamatokhoz
Síkképernyők bevonata
A síkképernyők bevonásánál TruPlasma MW generátoraink olyan plazmafolyamatokban mutatják meg erősségeiket, mint a PECVD, ALD és RIE.
Az üzemelés kiváló hatékonysági foka és a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat rugalmas hűtési koncepciója a legnagyobb gazdaságosságot garantálja a teljes élettartam alatt. Az áramellátás nehéz klíma- és telepítési feltételek mellett is mindig stabil marad – a magas hűtővíz-hőmérséklet, az alacsony víznyomás és a magas páratartalom nem befolyásolja az eljárás minőségét. A széles üzemi feszültségtartománynak köszönhetően a középfrekvenciás generátor műszaki igazítások nélkül világszerte használható.
Csak kevés paraméter beállítással precízen irányíthatja a rétegminőséget és a termelékenységet. Így Ön optimális egyensúlyt talál a spontán ívkisülés kezelés érzékenysége és a kívánt teljesítőképesség között. Ezenkívül számos interfész és a kényelmes TruControl Power kezelői szoftver hatékony konfigurációt és diagnózist biztosít.
A gyors reakciósebesség és a megfelelően csökkentett maradék energia stabil eljárásról és fémbevonási arányról gondoskodik. A generátor megbízhatóan felismeri és megakadályozza a spontán ívkisülés kialakulását és a céltárgyban keletkező termikus stresszt – az eredmény: teljesen homogén rétegek a szubsztrátum teljes felületén. Ezenkívül a gyors és megbízható spontán ívkisülés kezelés a generátor problémamentes üzemelését teszi lehetővé a feszültségszabályozott átmeneti tartományban (transition mode).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
