Ezen weboldal rendelkezésre bocsátásához és működéséhez sütiket használunk. Ha további célokra is használhatunk sütiket, akkor kérjük, kattintson ide. Információk a sütik deaktiválásához és az adatvédelemhez
TruPlasma Bipolar 4040 bipoláris generátor
TruPlasma Bipolar 4040 bipoláris generátor
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat

Csúcsteljesítmény rugalmas tengelyen

viewport test images /w Retina support
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat

-/-

Bipoláris technológia a legkomolyabb igényekhez

A TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat folyamat áramellátását speciálisan a plazma által védett bevonatoláshoz fejlesztették ki a PVD, PECVD és reaktív fémbevonó eljárások segítségével. A rugalmasan alakítható kimeneti jeleknek és kidolgozott spontán ívkisülés kezelésnek köszönhetően a legújabb generációs bipoláris impulzusok sokoldalúan alkalmazhatók. Legyen szó félvezetők és napelemek gyártásáról vagy építészeti üveg bevonatolásáról, minden esetben csúcsteljesítményre számíthat a rétegminőségre és bevonatolási arányra vonatkozólag.

Rendkívül alacsony spontán ívkisülés energia

Teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés a legkiválóbb rétegminőség és termelékenység érdekében.

Állítható hullámformák

Egyszerű igazítás a különböző eljárásokhoz a kimeneti jel variációja révén.

Egy generátor, számos alkalmazás

DC, impulzusvezérlésű DC és bipoláris: költségmegtakarítás a sokrétű beállítási opcióknak köszönhetően.

Integrált vízhűtés

Nincs szükség külső komponensekre, ezért igen kis helyet igényel.

A TruPlasma Bipolar 4000 sorozat (G2) tipikus alkalmazási területe: kopásmentes rétegek gyártása

Csúcskategóriás áramellátás

Tipikus alkalmazási terület a félvezető és napelemek gyártása, építészeti üveg bevonatolás, valamint dekoratív és kopásmentes rétegek gyártása a legkiválóbb minőségben. Elsősorban a PVD és PECVD eljárásokat alkalmazzák.

Kimenet      
Névleges teljesítmény 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Maximális kimeneti áramerősség 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
Maximális kimeneti feszültség 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
Névleges üzemi frekvencia 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Spontán ívkisülés paraméter      
Maximális spontán ívkisülés-arány 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Arc Energia 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Gyújtási feszültségek      
gyújtási segítséggel 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Hálózati csatlakozási adatok      
Hálózati feszültség 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Hálózati frekvencia 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Teljesítménytényező 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Kommunikációs interfészek      
Analóg/Digitális Igen Igen Igen Igen Igen
RS 232 / RS 485 Igen Igen Igen Igen Igen
PROFIBUS Igen Igen Igen Igen Igen
EtherCAT Igen Igen Igen
-
Igen Igen
DeviceNet Igen Igen Igen
-
Igen Igen
Burkolat      
Szélesség 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Magasság 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Mélység 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Tömeg 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
IP védettség IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Hűtési követelmények      
Hűtőközeg Víz Víz Víz Víz Víz
Max. víznyomás 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Min. nyomáskülönbség 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Min. térfogatáram 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
Általános      
Teljes hatásfok 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Környezeti feltételek      
Külső hőmérséklet 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Páratartalom 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
Spontán ívkisülés kezelés

Tökéletes rétegek, nagyfokú termelékenység

A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé. A TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat igényes reaktív eljárásoknál is egyenletes folyamat áramellátást és így stabil plazmaállapotot biztosít.

A kimeneti jel rugalmas kiválasztásával sokoldalúan alkalmazható

Nagyobb rugalmasság, alacsonyabb költségek

Az állítható hullámformákkal a TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat generátorait igen egyszerűen a különböző folyamatkövetelményekhez igazíthatja. A kimeneti jel (DC, impulzusvezérlésű DC vagy bipoláris) rugalmas kiválasztásának köszönhetően sokoldalúan alkalmazhatók, és ezáltal csökkentik a teljes üzemeltetési költséget (TCO).

TruPlasma Bipolar 4060 bipoláris generátor

Minden egy burkolatban

A teljesen a környezeti hatásoktól védett generátor burkolatba integrált vízhűtésnek köszönhetően nincs szükség külső komponensekre.

Kezelőbarát PVD Power szoftver

PVD Power

A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).

A különböző rendszerkomponensek kiválasztásával a bipoláris impulzusgenerátort a lehető legjobban a rendszerkörnyezethez igazíthatja.

A TruPlasma Bipolar 4000 (G2) sorozat generátorainak hátulnézete
Hálózati kábel

Különböző kábel és csatlakozódugó kivitelek állnak rendelkezésre a különböző csatlakoztatási standardokhoz.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Kapcsolat
Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail
Letöltések
Szerviz & kapcsolat

Close

Country/region and language selection

Please take note of

You have selected Hungary. Based on your configuration, United States might be more suitable. Would you like to keep or change the selection?

Hungary
United States

Or, select a country or a region.