A jelen weboldal rendelkezésre bocsátásához és működtetéséhez sütiket használunk. Ha további célokra is használhatunk sütiket, kérjük, kattintson ide. Sütik kikapcsolásával és adatvédelemmel kapcsolatos információk
TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat
TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat

A legjobban az osztályukban

Az eljárás teljes ellenőrzése

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozattal mindig ellenőrzés alatt tartja az eljárást: az átgondolt spontán ívkisülés kezeléssel és gyújtással a generátorok ideálisak áramellátásként a nagy felületű bevonatoláshoz (large area coating) és az olyan igényes reaktív eljárásokhoz a kettős magnetron fémbevonásnál. A több mint 90%-os kimagasló hatékonysági fokkal, valamint a rendkívül hatékony hűtővíz kezeléssel egyidejűleg rendkívül gazdaságosak üzemelés közben.

Legkiválóbb rétegminőség és termelékenység

Kiváló eredmények és nagy bevonatolási arány a legnehezebb reaktív eljárásokban is.

Maximális hatékonyság

A több mint
90%-os kimagasló hatékonysági fokkal a gyártás hatékonysági foka 80% felett van.

Stabil áramellátás minden klímában

Megbízható működés magas hűtővíz-hőmérséklet és alacsony nyomáskülönbségek esetén is.

Világszerte alkalmazható

Változó hálózati feszültség, ezért nem szükséges műszaki igazítás.

A csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás ideális nagy felületű bevonatoláshoz

Csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás

Építészeti üveg nagy felületű bevonatolása (large area coating): az olyan igényes anyagok, mint a SiOx a legkomolyabb elvárásokat támasztják az áramellátás stabilitásával szemben.

Csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás síkképernyők bevonatolásához

A legvékonyabb rétegek felvitele

Síkképernyők és érintőpanelek bevonatolása: a kettős magnetron fémbevonással a legvékonyabb (nm), nagy szilárdságú és homogén AlxOx rétegek kerülnek felvitelre.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat középfrekvenciás generátora ultravékony rétegek felviteléhez

Napelem gyártás

Szolárüveg bevonatolása: a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat stabil áramellátása a legvékonyabb TCO rétegek homogén felvitelét teszi lehetővé közepes formátumú fémbevonással.

- / -
Kimenet                    
Névleges teljesítmény 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
Maximális kimeneti áramerősség 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
Maximális kimeneti feszültség 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
Névleges üzemi frekvencia 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
Spontán ívkisülés paraméter                    
Maximális spontán ívkisülés-arány 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
Arc Energia 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
Spontán ívkisülés kezelési ideje 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
Gyújtási feszültségek                    
gyújtási segítséggel 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
gyújtási segítség nélkül 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
Hálózati csatlakozási adatok                    
Hálózati feszültség (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
Hálózati frekvencia 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
Bemeneti teljesítmény 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
Teljesítménytényező 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Burkolat                    
Tömeg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
IP védettség 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
Hűtési követelmények                    
Hűtőközeg Víz Víz Víz Víz Víz Víz Víz Víz Víz Víz
Max. víznyomás 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
Min. nyomáskülönbség 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
Min. térfogatáram 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Általános                    
Teljes hatásfok 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
Tanúsítványok / Szabványok CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
Környezeti feltételek                    
Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
PDF <1MB
Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat generátorai a legnagyobb fokú hatékonyságot garantálják

Maximális gazdaságosság és rugalmasság

Az üzemelés kiváló hatékonysági foka és a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat rugalmas hűtési koncepciója a legnagyobb gazdaságosságot garantálja a teljes élettartam alatt. Az áramellátás nehéz klíma- és telepítési feltételek mellett is mindig stabil marad – a magas hűtővíz-hőmérséklet, az alacsony víznyomás és a magas páratartalom nem befolyásolja az eljárás minőségét. A széles üzemi feszültségtartománynak köszönhetően a középfrekvenciás generátor műszaki igazítások nélkül világszerte használható.

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat középfrekvenciás generátora

Az eljárás precíz vezérlése

Csak kevés paraméter beállítással precízen irányíthatja a rétegminőséget és a termelékenységet. Így Ön optimális egyensúlyt talál a spontán ívkisülés kezelés érzékenysége és a kívánt teljesítőképesség között. Ezenkívül számos interfész és a kényelmes TruControl Power kezelői szoftver hatékony konfigurációt és diagnózist biztosít.

Spontán ívkisülés kezelés

Fölényes spontán ívkisülés kezelés

A gyors reakciósebesség és a megfelelően csökkentett maradék energia stabil eljárásról és fémbevonási arányról gondoskodik. A generátor megbízhatóan felismeri és megakadályozza a spontán ívkisülés kialakulását és a céltárgyban keletkező termikus stresszt – az eredmény: teljesen homogén rétegek a szubsztrátum teljes felületén. Ezenkívül a gyors és megbízható spontán ívkisülés kezelés a generátor problémamentes üzemelését teszi lehetővé a feszültségszabályozott átmeneti tartományban (transition mode).

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozathoz számos opció áll rendelkezésre, amelyekkel a középfrekvenciás generátor az alkalmazás követelményeihez igazítható.

Bővített frekvenciatartomány

A legfeljebb 100 kW teljesítményű középfrekvenciás generátorok opcionálisan bővített, 20–70 kHz-es frekvenciatartománnyal is kaphatók (a standard 20–50 kHz).

Gyújtó

Ezáltal csökken a spontán ívkisülés kialakulása és a céltárgyban keletkező termikus stressz. A gyújtófeszültség és a rámpaidő egyénileg beállítható.

Ultragyors spontán ívkisülés kezelés

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat különösen érzékeny spontán ívkisülés kezeléssel szerelhető fel (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, a standard ≤ 10 mJ/kW). Az UltraFastTreatment-hez 3. biztonsági kategória szükséges.

Für alle Fälle gerüstet

Profinet, Profibus, EtherCAT sowie analoge und digitale Schnittstellen ermöglichen eine einfache Einbindung der TruPlasma MF Serie 7000 in bestehende Anlagen.

Minden esethez felszerelve

ProfiNet, Profibus, EtherCAT, valamint analóg és digitális interfészekkel a TruPlasma MF 7000 sorozat egyszerűen a meglévő berendezésekbe integrálható.

Aktive Schaltschrankentfeuchtung

Für Umgebungen mit sehr hoher Luftfeuchtigkeit kann der Generator-Schaltschrank mit einer aktiven Entfeuchtungseinheit ausgestattet werden. Für deren Betrieb ist eine Kühlwasserregelung erforderlich.

Kapcsolószekrény ajtó

A kapcsolószekrény ajtó opcionálisan különösen széles, 180°-os nyílásszöggel kapható (a standard 130°).

Aktív kapcsolószekrény víztelenítő

A magas páratartalmú környezethez a generátor kapcsolószekrény aktív víztelenítő egységgel szerelhető fel. Ennek üzemeléséhez hűtővízszabályozó szükséges.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver

TruControl Power

Az alkalmazásbarát, többnyelvű TruControl Power vezérlő szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja.

Az alkalmas rendszerkomponensek kiválasztásával a TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat kiválóan igazítható a rendszerkörnyezethez.

Közepes formátumú teljesítménykábel
Közepes formátumú teljesítménykábel

A TruPlasma MF 7000 (G2) sorozathoz optimalizált TRUMPF Hüttinger közepes formátumú teljesítménykábeleket kap. Ezek mindig optimális rendszerteljesítményt biztosítanak.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Kapcsolat

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Letöltések

TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat brosúra
TruPlasma MF 7000 (G2) sorozat brosúra
pdf - 1 MB
Szerviz & kapcsolat

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Hungary . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Hungary
United States

Or select a country or region.