Ezen a weboldalon sütiket használunk. Ha továbbra is a sütik beállításának módosítása nélkül használja ezt a weboldalt, akkor abból indulunk ki, hogy Ön beleegyezik a sütik használatába.
TruPlasma RF 3006 nagyfrekvenciás generátor
TruPlasma RF 3006 nagyfrekvenciás generátor
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat

Stabil eljárások a rendkívüli termelékenység érdekében

viewport test images /w Retina support
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat

    - / -
    • Áttekintés
    • Alkalmazások
    • Műszaki adatok
    • Ügyfélelőny
    • Opciók
    • Rendszerkomponensek
    • MF rendszer
    • Több Kevesebb
    Az új generáció nagyfrekvenciás generátorai

    Felületek bevonatolásánál vagy strukturálásánál döntő fontosságú a stabil és reprodukálható plazma áramellátás. Ehhez a TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat modern teljesítményelektronikával felszerelt, nagyfrekvenciás generátorai a legjobb előfeltételeket biztosítják: a stabil kimenő teljesítményüknek és a nagyfokú szabályozási pontosságuknak köszönhetően a legjobb eredményeket biztosítják Önnek a nagyfokú termelékenység mellett.

    Nagyfokú pontosság és reprodukálhatóság

    CombineLine technológia: optimális folyamatteljesítmény a valódi 50 ohmos kimenő impedanciának köszönhetően.

    Független a nagyfrekvenciás kábelhossztól

    A folyamat változásai esetén nincs szükség a kábel hosszának igazítására – ez teljesen új a nagyfrekvenciás tartományban!

    Robusztusság és biztonság

    CombineLine technológia: megbízható védelem a reflektált teljesítmény ellen rossz illesztés esetén.

    Hatékonyság és gazdaságosság

    Az akár 80%-os hatékonysági fok az energiaköltségek legfeljebb 50%-os csökkentését teszi lehetővé.

    Ventilátor nélküli hűtési koncepció

    A környezeti levegő nem melegszik fel és nem szennyeződik, ezért tiszta levegőjű helyiségben üzemelhet.

    TruPlasma RF 3006 nagyfrekvenciás generátor

    Ideális kis síkképernyők bevonatolásához

    A TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

    Napelem gyártás

    Tipikus alkalmazási terület: a napelem-ipar

    A TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat tipikus alkalmazási területei az igényes PECVD, marási és nagyfrekvenciás fémbevonó eljárásai a napelem-iparban.

    Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

    Félvezető gyártás

    Félvezetők gyártásánál különböző plazma folyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártánál. A TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

    TruPlasma RF 1002
    TruPlasma RF 1003
    TruPlasma RF 3006
    Nagyfrekvenciás kimenet      
    Kimenő teljesítmény 2 kW 3 kW 6 kW
    Névleges teljesítmény 2 kW 3 kW 6 kW
    Névleges terhelő impedancia 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Kimeneti frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Hálózati csatlakozási adatok      
    Hálózati feszültség 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
    Hálózati frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
    Bemeneti teljesítmény 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
    Teljesítménytényező 0,95 0,95 0,95
    Kommunikációs interfészek      
    Szink. interfészek Igen Igen Igen
    Analóg/Digitális Igen Igen Igen
    RS 232 / RS 485 Igen Igen Igen
    PROFIBUS Igen Igen Igen
    EtherCAT Igen Igen Igen
    DeviceNet Igen Igen Igen
    Burkolat      
    Tömeg 18 kg 18 kg 38 kg
    IP védettség 30 30 30
    Hűtési követelmények      
    Max. víznyomás 7 bar 7 bar 7 bar
    Min. nyomáskülönbség 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
    Min. térfogatáram 4 l/min 4 l/min 8 l/min
    Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
    Általános      
    Teljes hatásfok 80 % 80 % 80 %
    Tanúsítványok / Szabványok Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
    Környezeti feltételek      
    Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Páratartalom 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Műszaki adatlap

    Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

    Integrált CombineLine technológia

    Optimális hozzáigazítás az eljáráshoz

    A TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) sorozat intelligens valós idejű illesztője gyors és közvetlen impedancia igazítást biztosít 50 ohmhoz. A plazma ingadozások és szennyeződések a szabadalmaztatott CombineLine technológiával megbízhatóan megakadályozásra kerülnek, a ventilátor nélküli hűtési koncepció csökkenti a kiesési arányt, növeli a hatékonyságot, és lehetővé teszi a tiszta levegőjű helyiségben való alkalmazást.

    Nagyfrekvenciás generátor párhuzamos rezgőkörökhöz

    Maximális hatékonyság és rugalmasság

    A legfeljebb 80%-os hatékonysági foknak köszönhetően Ön az energiaköltségeket a hagyományos generátorokkal szemben akár 50%-kal csökkentheti. A számos rendelkezésre álló interfész (konfigurálható analóg interfész, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) egyszerűvé teszi az integrációt a meglévő berendezésekbe, műszaki igazítások az integrált ultraszéles tartományú hálózati tápegységnek (200-480 VAC) köszönhetően nem szükségesek. A széles teljesítményspektrum ellenére kompakt kivitel révén (19 hüvelyk, ill. ½-19 hüvelyk betolás) helytakarékosan minden gyártóberendezésbe integrálható.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.

    A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális testreszabását teszik lehetővé.

    HF spontán ívkisülés kezelés

    Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.

    Auto Frequency Tuning

    A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning megoldás szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé, valamint a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja. E szabadalmaztatott technika révén a helyi minimum már nem akadály: az RF rendszer a legnagyobb teljesítményt nyújtja, így a legjobb folyamat-eredményeket és nagyfokú reprodukálhatóságot tesz lehetővé.

    A TRUMPF RF rendszer minden komponense optimálisan egymásra van hangolva.

    RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
    A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat matchboxa

    A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.

    Főoszcillátor a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálásához
    Főoszcillátorok

    A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.

    Nagyfrekvenciás átkapcsoló nagyfrekvenciás generátor rugalmas plazmarendszerekben való használatához
    Nagyfrekvenciás átkapcsoló

    A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.

    Koaxiális vezeték a meghatározott teljesítmény átviteléhez
    Koaxiális vezeték

    A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.

    Generátor és matchbox: egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás

    Tökéletesen egymásra hangolva: a TRUMPF RF rendszer

    A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.

    Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

    Lábjegyzetek
    • A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.

    Ezek a témák is érdekelhetik Önt

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Áramellátások plazmaeljárásokhoz

    A TRUMPF Hüttinger plazmagenerátorok széles teljesítmény- és frekvenciaspektrummal rendelkeznek. Termékeinkről itt tájékozódhat.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Intelligens illesztés valós idejű méréssel

    A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat új matchboxai tökéletes kiegészítői az RF generátoroknak, és egységes megoldást kínálnak: a TRUMPF RF rendszert.

    Services_Electronics_Technical_Support
    Egyedülálló szerviz

    A személyre szabott szervizmegállapodással biztosíthatja a generátor maximális rendelkezésre állását, valamint az áttekinthető karbantartási és üzemeltetési költségeket.

    Kapcsolat

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Letöltések

    TruPlasma RF 1000 3000 sorozat brosúra
    TruPlasma RF 1000 3000 sorozat brosúra
    pdf - 337 KB
    TruPlasma RF rendszer brosúra
    pdf - 6 MB
    Whitepaper Autofrequency Tuning
    pdf - 1 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Szerviz & kapcsolat