Ezen a weboldalon sütiket használunk. Ha továbbra is a sütik beállításának módosítása nélkül használja ezt a weboldalt, akkor abból indulunk ki, hogy Ön beleegyezik a sütik használatába.
TruPlasma RF 3024/3012/3006 nagyfrekvenciás generátorok
TruPlasma RF 3024/3012/3006 nagyfrekvenciás generátorok
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 3000 sorozat

Nagyfrekvenciás technológia kompromisszumok nélkül

viewport test images /w Retina support
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 3000 sorozat

viewport test images /w Retina support
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF 3000 sorozat

    - / -
    • Áttekintés
    • Alkalmazások
    • Műszaki adatok
    • Ügyfélelőny
    • Opciók
    • Szoftver
    • Rendszerkomponensek
    • MF rendszer
    • Több Kevesebb
    A kiváló folyamateredmények garantálói

    Ezekkel a nagyfrekvenciás generátorokkal biztosra megy: a TruPlasma RF 3000 sorozata a robusztus felépítésükkel és nagyfokú hatékonyságukkal tűnik ki. Ezért ez ideálisan alkalmas a stabil, reprodukálható plazmafolyamatokhoz, például a félvezetők, napelemek és síkképernyők gyártásánál alkalmazzák őket. Világszerte alkalmazások ezreiben telepítve ezek a generátorok nagyfokú termelékenységet és kimagasló folyamateredményeket garantálnak.

    Hatékonyság és gazdaságosság

    Az akár 80%-os hatékonysági fok az energiaköltségek legfeljebb 50%-os csökkentését teszi lehetővé.

    Kiváló nagyfrekvenciás spontán ívkisülés kezelés

    Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése.

    Nagyfokú robusztusság és folyamatstabilitás

    CombineLine technológia: megbízható védelem a reflektált teljesítmények ellen rossz illesztés esetén.

    Maximális rugalmasság

    Folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás, ezért sokoldalúan alkalmazható.

    Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

    Marási és bevonatoló eljárások

    A TruPlasma RF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai elsősorban marási és bevonatoló eljárásaihoz alkalmasak, például plazmamarás, reaktív ionmarás, ALD és PECVD.

    Ideális fém munkadarabok bevonatolásához

    Fém munkadarabok bevonatolása

    A plazmafolyamatok segítségével az anyag felvihető a felületekre és leválasztható onnan, például fém munkadarabok bevonatolásánál vagy elektronikus alkatrészek strukturálásánál plazmamarással vagy fotoreziszt plazmaégetéssel.

    Csúcskategóriás áramellátás síkképernyők bevonatolásához

    Kis síkképernyők és napelemek bevonatolása

    A TruPlasma RF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

    Nagyfrekvenciás kimenet          
    Kimenő teljesítmény 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Névleges teljesítmény 12 kW 20 kW 24 kW 40 kW 50 kW
    Névleges terhelő impedancia 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω 50 Ω
    Kimeneti frekvencia 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
    Hálózati csatlakozási adatok          
    Hálózati feszültség 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V 400 - 480 V
    Hálózati frekvencia 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Bemeneti teljesítmény 16,6 kVA 28,1 kVA 33,3 kVA 80 kVA 100 kVA
    Teljesítménytényező 0,93 0,93 0,93 - -
    Kommunikációs interfészek          
    Szink. interfészek Igen Igen Igen Igen Igen
    Analóg/Digitális Igen Igen Igen Igen Igen
    RS 232 / RS 485 Igen Igen Igen Igen Igen
    PROFIBUS Igen Igen Igen Igen Igen
    EtherCAT Igen Igen Igen Nem Nem
    DeviceNet Igen Igen Igen Igen Igen
    Burkolat          
    Tömeg 57 kg 117 kg 117 kg 1000 kg 1200 kg
    IP védettség 20 20 20 54 54
    Hűtési követelmények          
    Max. víznyomás 7 bar 7 bar 7 bar 6 bar 6 bar
    Min. nyomáskülönbség 2 bar 2 bar 2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Min. térfogatáram 10 l/min 20 l/min 20 l/min 46 l/min 56 l/min
    Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1 10 °C - 35 °C 1
    Általános          
    Teljes hatásfok 78 % 75 % 75 % - -
    Tanúsítványok / Szabványok SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs SEMI F47,CE, RoHs CE, SEMI F47 CE, SEMI F47
    Környezeti feltételek          
    Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    Páratartalom 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Műszaki adatlap

    Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

    Integrált CombineLine technológia

    A legnagyobb hatékonyság és folyamatstabilitás

    A veszteségi teljesítmény felezése és a hűtővíz ráfordítás csökkentése a kiváló hatékonysági fokkal – így Ön minimálisra csökkenti az üzemeltetési költségeket. A generátorok robusztus felépítése hosszabb üzemidőket és így nagyobb bevonatolási arányt tesz lehetővé még kritikus folyamatokban is. A CombineLine technológiával hatékonyan megakadályozhatók a plazma ingadozások valódi 50 ohmos kimenő impedanciával – így abszolút stabil folyamatokat tesz lehetővé.

    TruPlasma RF 3012 nagyfrekvenciás generátor

    Biztonság minden körülményben

    A robusztus felépítés az eljárás maximális megbízhatóságáról és termelékenységéről gondoskodik. A 100%-os rossz illesztés elleni védelem biztonságos üzemet biztosít kritikus terhelés esetén is. Az opcionálisan folyamatos vagy impulzusos teljesítményleadás a folyamatkövetelmények nagy sávszélességét támogatja. Világszerte már több mint 20.000 egységet telepítettek – többet, mint bármelyik másik plazma áramellátásból.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.

    A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális hozzáigazítását teszik lehetővé.

    Spontán ívkisülés kezelés

    Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.

    Kezelőbarát TruControl Power szoftver

    TruControl Power

    A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.

    A TRUMPF RF rendszer minden komponense optimálisan egymásra van hangolva.

    RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
    TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat

    A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.

    Főoszcillátor a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálásához
    Főoszcillátorok

    A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.

    Nagyfrekvenciás átkapcsoló nagyfrekvenciás generátor rugalmas plazmarendszerekben való használatához
    Nagyfrekvenciás átkapcsoló

    A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.

    Koaxiális vezeték a meghatározott teljesítmény átviteléhez
    Koaxiális vezeték

    A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.

    Generátor és matchbox: egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás

    Tökéletesen egymásra hangolva: generátor és matchbox

    A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.

    Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

    Lábjegyzetek
    • A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.

    Ezek a témák is érdekelhetik Önt

    Services_Electronics_TQZ_TRUMPF_Tower
    Tesztelési és minősítési központ

    Teszt- és minősítési központunkban (TQZ) tapasztalt mérnökök gondoskodnak arról nap mint nap, hogy folyamatosan tökéletesítsék a termékek minőségét.

    TruPlasma RF 1003: Hochfrequenzgenerator für maximale Produktivität
    Minimális költségek, maximális eredmények

    A TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) sorozat a legújabb generációs nagyfrekvenciás generátorok, melyek kiváló feltételeket biztosítanak a stabil plazma-áramellátáshoz.

    Services_Electronics_Training
    Erősségünk a személyre szabott ügyféloktatás

    Tapasztalt szerviztechnikusok megalapozott tudást közvetítenek, amely tartalmilag a résztvevők igényeire van szabva.

    Kapcsolat

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Letöltések

    TruPlasma RF 3000 sorozat brosúra
    TruPlasma RF 3000 sorozat brosúra
    pdf - 1 MB
    TruPlasma RF rendszer brosúra
    pdf - 6 MB
    Szerviz & kapcsolat