You have selected Magyarország. Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

TruPlasma RF Air 1000 sorozat | TRUMPF
.NEW
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air 1000 sorozat

Accuracy you can rely on

A léghűtéses TruPlasma RF 1001 Air nagyfrekvenciás generátor akár 1000 watt nagy pontosságú, reprodukálható nagyfrekvenciás energiát ad rendkívül finom felbontásban – 100 mW-os lépésekben –, és így a legkülönbözőbb plazma alkalmazásokhoz is alkalmas. Félvezetők, napelemek vagy képernyők gyártásánál – a szabadalmaztatott TRUMPF Hüttinger technológia mindenhol a legnagyobb megbízhatóságot és a legjobb folyamat-eredményeket garantálja a modern folyamat funkcióknak köszönhetően.

Okos auto frekvencia tuning

Optimális és nagyon gyors frekvenciaigazítást és így a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja.

Nagy pontosságú spontán ívkisülés

Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése a termék védelmét garantálja.

Multi-Level Pulsing

Az impulzusforma több fokozatú, rugalmas vezérlése a jobb folyamat-eredményekért a modern plazma folyamatokban.

Plug & Play

Rugalmas alkalmazás és a generátorok cseréje lehetséges folyamatmódosítások vagy retrofit esetén.

Stabil plazmaeljárások

A szabadalmaztatott CombineLine technológia egyenletes folyamatteljesítményt garantál a valódi 50 ohmos kimenő impedanciának köszönhetően.

Egységes generátor technológia

A különböző teljesítményosztályokkal a nagyfrekvenciás termékcsaládon belül valamennyi folyamatkövetelmény lefedhető.

Független a nagyfrekvenciás kábelhossztól

Folyamatmódosítások vagy a rendszer módosításai esetén a kábelhossz igazítás már nem szükséges.

Csúcskategóriás áramellátás síkképernyők bevonatolásához

A TruPlasma RF Air 1000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

Napelem gyártás

A TruPlasma RF Air 1000 sorozat tipikus alkalmazási területei az igényes PECVD, marási és nagyfrekvenciás fémbevonó eljárásai a napelem-iparban.

RF plazmagenerátorok technológia képe

Félvezetők gyártásánál különböző plazma folyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártánál. A TruPlasma RF Air 1000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

-/-
TruPlasma RF 1001 Air
Nagyfrekvenciás kimenet  
Kimenő teljesítmény 1 kW
Névleges teljesítmény 1 kW
Névleges terhelő impedancia 50 Ω
Kimeneti frekvencia 13,56 MHz
Hálózati csatlakozási adatok  
Hálózati feszültség 110 - 230 V
Hálózati frekvencia 50-60 Hz
Bemeneti teljesítmény 1,8 kVA
Teljesítménytényező 0,9
Kommunikációs interfészek  
Szink. interfészek Igen
Analóg/Digitális Igen
RS 232 / RS 485 Igen
PROFIBUS Igen
EtherCAT Igen
DeviceNet Igen
Burkolat  
Tömeg 15 kg
IP védettség 20
Hűtési követelmények  
Max. víznyomás N/A bar
Min. nyomáskülönbség N/A bar
Min. térfogatáram N/A l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C
Általános  
Teljes hatásfok 70 %
Tanúsítványok / Szabványok Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Környezeti feltételek  
Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C
Páratartalom 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa
Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás

Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás

A nagyfrekvenciás generátorok rugalmas, robusztus formatervezése a teljesítmény növelését és az üzemeltetési költségek csökkentését teszi lehetővé.

Szabadalmaztatott CombineLine technológia

Stabil eljárások, reprodukálható eredmények

A szabadalmaztatott CombineLine technológia az intelligens valós idejű illesztéssel a TruPlasma RF 1001 Air optimális rendelkezésre állását garantálja, és megbízhatóan megakadályozza a plazma ingadozásokat és szennyeződéseket.

Kompakt és rugalmasan alkalmazható

A kompakt felépítésnek köszönhetően (½ 19 hüvelykes betolás) a nagyfrekvenciás generátor igen helytakarékos – ideálisan alkalmas újratelepítésnél és retrofit megoldásként a meglévő berendezésekben. Az integráció a számos rendelkezésre álló interfésznek (konfigurálható analóg interfész, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) köszönhetően nagyon egyszerű.

Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

Tizedesjegyre pontosan

A precíz, 100 mW-os lépésekben való energia adagolásnak köszönhetően a TruPlasma RF 1001 Air-rel a legmodernebb, legigényesebb alkalmazásokban is, pl. ALD, a legjobb eredmények érhetők el. A nagyfrekvenciás generátor rendkívül precíz teljesítményszabályozása a legjobb Wafer-to-Wafer ismételhetőséget garantálja.

Építészeti üveg

A legjobb folyamat-eredmények a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően

Az olyan digitális vezérlőfunkciókkal, mint a Smart Auto Frequency Tuning 2.0, spontán ívkisülés kezelés és a Multi-Level Pulsing, a nagyfrekvenciás generátor optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazítható.

TruPlasma RF 1003: nagyfrekvenciás generátor a maximális termelékenység érdekében

Rugalmas hozzáigazítás az ügyfél alkalmazásához

Különböző teljesítményosztályok és frekvenciák állnak rendelkezésre az egységes generátor formatervezésben, így folyamatmódosítások esetén egyszerű csere lehetséges. A kábelhossz igazítása sem szükséges.

A teljes nagyfrekvenciás rendszer vezérlése a TRUMPF SystemPort-on keresztül

A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox be- és kimeneténél, így a nagyfrekvenciás generátorhoz mindig minden mért érték rendelkezésre áll. A folyamatparamétereket állandóan felügyelik, a matchbox jobban védett, és a spontán ívkisülés felismerése időben biztosított.

Auto Frequency Tuning
Smart Auto Frequency Tuning (AFT)

A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé a generátor és matchbox között. Így garantáltak a legjobb folyamateredmények és a legnagyobb reprodukálhatóság.

Gyors és precíz spontán ívkisülés kezelés

Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés a plazmafolyamat optimális ellenőrzését biztosítja. A célzott spontán ívkisülés felismerés révén nő a termelékenység, egyidejűleg pedig a termék és a berendezés védett a sérülésekkel szemben.

Multi-Level Pulsing

A legújabb plazmaeljárásoknak rugalmasabbaknak kell lenniük az impulzus üzemmódban. Az impulzusforma minden fajtája elérhető a több fokozatú, szabadon válaszható impulzus üzemmóddal. Ezáltal új vezérlő mechanizmus jön létre a plazmafizikában és jobbak a folyamateredmények.

Szinkronizáló modulok (impulzus, CEX, spontán ívkisülés)

A szinkronizáló modul több generátor rugalmas és biztonságos szinkronizálását teszi lehetővé komplex plazmarendszerekben.

TruControl Power

A kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás közben.

Web-GUI

Az integrált webszerver a nagyfrekvenciás rendszer üzemét és a webböngészőn keresztüli szoftverfrissítéseket is lehetővé teszi.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Kapcsolat
Nikolas Hunzinger
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail
Letöltések
Szerviz & kapcsolat