A jelen weboldal rendelkezésre bocsátásához és működtetéséhez sütiket használunk. Ha további célokra is használhatunk sütiket, kérjük, kattintson ide. Sütik kikapcsolásával és adatvédelemmel kapcsolatos információk
Új
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Air 1000 sorozat

Accuracy you can rely on

A léghűtéses TruPlasma RF 1001 Air nagyfrekvenciás generátor akár 1000 watt nagy pontosságú, reprodukálható nagyfrekvenciás energiát ad rendkívül finom felbontásban – 100 mW-os lépésekben –, és így a legkülönbözőbb plazma alkalmazásokhoz is alkalmas. Félvezetők, napelemek vagy képernyők gyártásánál – a szabadalmaztatott TRUMPF Hüttinger technológia mindenhol a legnagyobb megbízhatóságot és a legjobb folyamat-eredményeket garantálja a modern folyamat funkcióknak köszönhetően.

Okos auto frekvencia tuning

Optimális és nagyon gyors frekvenciaigazítást és így a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja.

Nagy pontosságú spontán ívkisülés

Az igényes és újszerű eljárások biztonságos vezetése a termék védelmét garantálja.

Multi-Level Pulsing

Az impulzusforma több fokozatú, rugalmas vezérlése a jobb folyamat-eredményekért a modern plazma folyamatokban.

Plug & Play

Rugalmas alkalmazás és a generátorok cseréje lehetséges folyamatmódosítások vagy retrofit esetén.

Stabil plazmaeljárások

A szabadalmaztatott CombineLine technológia egyenletes folyamatteljesítményt garantál a valódi 50 ohmos kimenő impedanciának köszönhetően.

Egységes generátor technológia

A különböző teljesítményosztályokkal a nagyfrekvenciás termékcsaládon belül valamennyi folyamatkövetelmény lefedhető.

Független a nagyfrekvenciás kábelhossztól

Folyamatmódosítások vagy a rendszer módosításai esetén a kábelhossz igazítás már nem szükséges.

Csúcskategóriás áramellátás síkképernyők bevonatolásához

A TruPlasma RF Air 1000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

Napelem gyártás

A TruPlasma RF Air 1000 sorozat tipikus alkalmazási területei az igényes PECVD, marási és nagyfrekvenciás fémbevonó eljárásai a napelem-iparban.

RF plazmagenerátorok technológia képe

Félvezetők gyártásánál különböző plazma folyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártánál. A TruPlasma RF Air 1000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

- / -
TruPlasma RF 1001 Air
Nagyfrekvenciás kimenet  
Kimenő teljesítmény 1 kW
Névleges teljesítmény 1 kW
Névleges terhelő impedancia 50 Ω
Kimeneti frekvencia 13,56 MHz
Hálózati csatlakozási adatok  
Hálózati feszültség 110 - 230 V
Hálózati frekvencia 50-60 Hz
Bemeneti teljesítmény 1,8 kVA
Teljesítménytényező 0,9
Kommunikációs interfészek  
Szink. interfészek Igen
Analóg/Digitális Igen
RS 232 / RS 485 Igen
PROFIBUS Igen
EtherCAT Igen
DeviceNet Igen
Burkolat  
Tömeg 15 kg
IP védettség 20
Hűtési követelmények  
Max. víznyomás N/A bar
Min. nyomáskülönbség N/A bar
Min. térfogatáram N/A l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C
Általános  
Teljes hatásfok 70 %
Tanúsítványok / Szabványok Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Környezeti feltételek  
Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C
Páratartalom 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás

Legkiválóbb termelékenység és rendelkezésre állás

A nagyfrekvenciás generátorok rugalmas, robusztus formatervezése a teljesítmény növelését és az üzemeltetési költségek csökkentését teszi lehetővé.

Szabadalmaztatott CombineLine technológia

Stabil eljárások, reprodukálható eredmények

A szabadalmaztatott CombineLine technológia az intelligens valós idejű illesztéssel a TruPlasma RF 1001 Air optimális rendelkezésre állását garantálja, és megbízhatóan megakadályozza a plazma ingadozásokat és szennyeződéseket.

Kompakt és rugalmasan alkalmazható

A kompakt felépítésnek köszönhetően (½ 19 hüvelykes betolás) a nagyfrekvenciás generátor igen helytakarékos – ideálisan alkalmas újratelepítésnél és retrofit megoldásként a meglévő berendezésekben. Az integráció a számos rendelkezésre álló interfésznek (konfigurálható analóg interfész, EtherNet, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) köszönhetően nagyon egyszerű.

Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

Tizedesjegyre pontosan

A precíz, 100 mW-os lépésekben való energia adagolásnak köszönhetően a TruPlasma RF 1001 Air-rel a legmodernebb, legigényesebb alkalmazásokban is, pl. ALD, a legjobb eredmények érhetők el. A nagyfrekvenciás generátor rendkívül precíz teljesítményszabályozása a legjobb Wafer-to-Wafer ismételhetőséget garantálja.

Építészeti üveg

A legjobb folyamat-eredmények a modern folyamatfunkcióknak köszönhetően

Az olyan digitális vezérlőfunkciókkal, mint a Smart Auto Frequency Tuning 2.0, spontán ívkisülés kezelés és a Multi-Level Pulsing, a nagyfrekvenciás generátor optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazítható.

TruPlasma RF 1003: nagyfrekvenciás generátor a maximális termelékenység érdekében

Rugalmas hozzáigazítás az ügyfél alkalmazásához

Különböző teljesítményosztályok és frekvenciák állnak rendelkezésre az egységes generátor formatervezésben, így folyamatmódosítások esetén egyszerű csere lehetséges. A kábelhossz igazítása sem szükséges.

A teljes nagyfrekvenciás rendszer vezérlése a TRUMPF SystemPort-on keresztül

A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox be- és kimeneténél, így a nagyfrekvenciás generátorhoz mindig minden mért érték rendelkezésre áll. A folyamatparamétereket állandóan felügyelik, a matchbox jobban védett, és a spontán ívkisülés felismerése időben biztosított.

Auto Frequency Tuning
Smart Auto Frequency Tuning (AFT)

A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé a generátor és matchbox között. Így garantáltak a legjobb folyamateredmények és a legnagyobb reprodukálhatóság.

Gyors és precíz spontán ívkisülés kezelés

Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés a plazmafolyamat optimális ellenőrzését biztosítja. A célzott spontán ívkisülés felismerés révén nő a termelékenység, egyidejűleg pedig a termék és a berendezés védett a sérülésekkel szemben.

Multi-Level Pulsing

A legújabb plazmaeljárásoknak rugalmasabbaknak kell lenniük az impulzus üzemmódban. Az impulzusforma minden fajtája elérhető a több fokozatú, szabadon válaszható impulzus üzemmóddal. Ezáltal új vezérlő mechanizmus jön létre a plazmafizikában és jobbak a folyamateredmények.

Szinkronizáló modulok (impulzus, CEX, spontán ívkisülés)

A szinkronizáló modul több generátor rugalmas és biztonságos szinkronizálását teszi lehetővé komplex plazmarendszerekben.

TruControl Power

A kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás közben.

Web-GUI

Az integrált webszerver a nagyfrekvenciás rendszer üzemét és a webböngészőn keresztüli szoftverfrissítéseket is lehetővé teszi.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Kapcsolat

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Letöltések

TruPlasma RF rendszer brosúra
TruPlasma RF rendszer brosúra
pdf - 6 MB
Szerviz & kapcsolat

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Hungary . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Hungary
United States

Or select a country or region.