Ezen a weboldalon sütiket használunk. Ha továbbra is a sütik beállításának módosítása nélkül használja ezt a weboldalt, akkor abból indulunk ki, hogy Ön beleegyezik a sütik használatába.
VHF Generator 3000 sorozat
VHF Generator 3000 sorozat
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF 3000 sorozat

Minden igényt teljesít

    - / -
    • Áttekintés
    • Alkalmazások
    • Műszaki adatok
    • Ügyfélelőny
    • Opciók
    • Szoftver
    • Rendszerkomponensek
    • MF rendszer
    • Több Kevesebb
    Innovatív, moduláris, kalibrálható: a TRUMPF Hüttinger új generátor platformja

    A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorainak alapja egy olyan innovatív platform koncepció, amely a legnagyobb teljesítményspektrumot teszi lehetővé, és a legigényesebb folyamatkövetelményeket is teljesíti. A VHF generátorok moduláris és tisztán vízhűtéses felépítése a kimenő teljesítmény legfeljebb 80 kW-ig történő kalibrálását teszi lehetővé. Ezenfelül a kompakt VHF generátorok a nagyfokú gazdaságossággal és robusztus dizájnnal hívják fel magukra a figyelmet.

    Pontos és gyors impulzusformálás

    A meglévő Single és Multi-Level Pulsing-hoz ez a legjobb plazma eljárás ellenőrzést nyújtja.

    Minimális rakodási idő < 150 ns

    Ezáltal a generátor gyújtás igen rugalmas vezérlése lehetséges.

    Okos auto frekvencia tuning

    Automatikus frekvenciaigazítás a generátor és matchbox optimális együttműködése érdekében.

    Megbízható és finomított folyamat-ellenőrzés

    Kiváló, reprodukálható folyamat-eredmények a rendkívül pontos digitális frekvenciamodulációnak köszönhetően.

    Független a kábelhossztól

    A nagyfrekvenciás kábel hosszának igazítása nem szükséges, ezért rövid a felszerszámozási idő.

    Robusztus design

    A generátorok megbízható működése hibás igazítás esetén is a CombineLine technológiának köszönhetően.

    A TruPlasma VHF 3000 sorozat tipikus alkalmazási területe: napelem gyártás

    Napelemek gyártása

    A napelemek területén számos alkalmazási területe van a méretre szabott munkaenergiának. Itt következő plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra az anyagok felhordásához és lehúzásához, pl. fémbevonó, PECVD és maratási eljárás. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazíthatóak, a gyors spontán ívkisülés kezelés a plazma stabil ellenőrzését teszi lehetővé. Így garantáltak a kiváló folyamateredmények és a nagyfokú termelékenység.

    Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

    Félvezető gyártás

    Félvezetők gyártásánál különböző plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártásnál. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

    Csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás síkképernyők bevonatolásához

    Ideális kis síkképernyők bevonatolásához

    A TruPlasma VHF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

    TruPlasma VHF 3005
    Nagyfrekvenciás kimenet  
    Kimenő teljesítmény 5 kW
    Névleges teljesítmény 5 kW
    Névleges terhelő impedancia 50 Ω
    Kimeneti frekvencia 40,68 MHz
    Hálózati csatlakozási adatok  
    Hálózati feszültség 200 - 480 V
    Hálózati frekvencia 50-60 Hz
    Bemeneti teljesítmény 18 kVA
    Teljesítménytényező 0,95
    Kommunikációs interfészek  
    Szink. interfészek Igen
    Analóg/Digitális Igen
    RS 232 / RS 485 Igen
    PROFIBUS Igen
    EtherCAT Igen
    DeviceNet Igen
    Burkolat  
    Tömeg 55 kg
    IP védettség 30
    Hűtési követelmények  
    Max. víznyomás 7 bar
    Min. nyomáskülönbség 2 bar
    Min. térfogatáram 8 l/min
    Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 1
    Általános  
    Teljes hatásfok 75 %
    Tanúsítványok / Szabványok Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
    Környezeti feltételek  
    Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C
    Páratartalom 5 % - 85 %
    Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Műszaki adatlap

    Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

    A TruPlasma VHF 3000 sorozat Combine-line technológiája

    Rugalmas hozzáigazítás az eljáráshoz

    A TruPlasma VHF 3000 sorozat moduláris platform koncepciója lehetővé teszi a kimenő vezeték kalibrálását akár 80 kW-ig. Az implementált CombineLine technológiának köszönhetően a generátor hibás igazítás esetén is igen erős marad. A széles frekvenciatartománya, valamint a változtatható hálózati feszültsége és kábelhossza a különböző alkalmazásokhoz és az alkalmazási országhoz való rugalmas testreszabást tesz lehetővé.

    Nagyfrekvenciás generátor párhuzamos rezgőkörökhöz

    A legnagyobb hatékonyság és gazdaságosság

    A TruPlasma VHF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai teljesen a legmodernebb félvezető technikában LDMOS teljesítménytranzisztorokkal vannak felszerelve. A kiválóan integrált planáris felépítési technika a legszélesebb teljesítményspektrumot és egyidejűleg nagyfokú energiahatékonyságot és megfelelően csökkentett hűtőteljesítményt tesz lehetővé. Ezáltal ez a család ebben a frekvenciatartományban eddig el nem ért gazdaságosságot kínál, és csökkenti a piacon szokásos üzemeltetési költségeket.

    TruPlasma RF_Systemport

    TRUMPF SystemPort

    A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.

    A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális testreszabását teszik lehetővé.

    Okos auto frekvencia tuning

    A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning megoldás szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé, valamint a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja. E szabadalmaztatott technika révén a helyi minimum már nem akadály: az RF rendszer a legnagyobb teljesítményt nyújtja, így a legjobb folyamat-eredményeket és nagyfokú reprodukálhatóságot tesz lehetővé.

    Spontán ívkisülés kezelés

    Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.

    Rugalmas impulzusformálás

    Rugalmas impulzusformálás: a kimeneti jel formája a folyamat mindenkori követelményeihez igazítható.

    Kezelőbarát TruControl Power szoftver

    TruControl Power

    A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.

    Az alkalmas rendszerkomponensek kiválasztásával a VHF generátorokat optimálisan az alkalmazásának követelményeihez igazíthatja.

    RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
    Matchbox

    A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.

    TruPlasma VHF sorozat tartozékkészlet
    Tartozék készlet

    Ennek tartalma: egy vízcsatlakozókhoz való adapter, HARTING AC ellátáshoz való készlet, jumper az interlock funkcióhoz, LEMO EPL adapter BNC female-en (Clock and Pulse sync csatlakozódugóhoz)

    Főoszcillátor a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálásához
    Főoszcillátorok

    A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.

    VHF Generator 3000 sorozat
    Nagyfrekvenciás átkapcsoló

    A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.

    Koaxiális vezeték a meghatározott teljesítmény átviteléhez
    Koaxiális vezeték

    A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.

    Generátor és matchbox: egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás

    Tökéletesen egymásra hangolva: a TRUMPF RF rendszer

    A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.

    Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

    Lábjegyzetek
    • A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.

    Ezek a témák is érdekelhetik Önt

    Ideal geeignet für Großflächenbeschichtung
    Áramellátások plazmaeljárásokhoz

    A TRUMPF Hüttinger plazmagenerátorok széles teljesítmény- és frekvenciaspektrummal rendelkeznek. Termékeinkről itt tájékozódhat.

    RF-Systemlösung : Matchbox für höchste Prozessstabilität
    Intelligens illesztés valós idejű méréssel

    A TruPlasma Match 1000 (G2/13) sorozat új matchboxai tökéletes kiegészítői az RF generátoroknak, és egységes megoldást kínálnak: a TRUMPF RF rendszert.

    Services_Electronics_Training
    Erősségünk a személyre szabott ügyféloktatás

    Tapasztalt szerviztechnikusok megalapozott tudást közvetítenek, amely tartalmilag a résztvevők igényeire van szabva.

    Kapcsolat

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    E-mail

    Letöltések

    TruPlasma RF rendszer brosúra
    TruPlasma RF rendszer brosúra
    pdf - 6 MB
    TruPlasma VHF 3000 sorozat Flyer
    pdf - 1 MB
    Whitepaper LDMOS
    pdf - 3 MB
    Whitepaper Precision in Processing
    pdf - 2 MB
    Szerviz & kapcsolat