A jelen weboldal rendelkezésre bocsátásához és működtetéséhez sütiket használunk. Ha további célokra is használhatunk sütiket, kérjük, kattintson ide. Sütik kikapcsolásával és adatvédelemmel kapcsolatos információk
VHF Generator 3000 sorozat
VHF Generator 3000 sorozat
Plazmagerjesztések
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma VHF 3000 sorozat

Minden igényt teljesít

Innovatív, moduláris, kalibrálható: a TRUMPF Hüttinger új generátor platformja

A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorainak alapja egy olyan innovatív platform koncepció, amely a legnagyobb teljesítményspektrumot teszi lehetővé, és a legigényesebb folyamatkövetelményeket is teljesíti. A VHF generátorok moduláris és tisztán vízhűtéses felépítése a kimenő teljesítmény legfeljebb 80 kW-ig történő kalibrálását teszi lehetővé. Ezenfelül a kompakt VHF generátorok a nagyfokú gazdaságossággal és robusztus dizájnnal hívják fel magukra a figyelmet.

Pontos és gyors impulzusformálás

A meglévő Single és Multi-Level Pulsing-hoz ez a legjobb plazma eljárás ellenőrzést nyújtja.

Minimális rakodási idő < 150 ns

Ezáltal a generátor gyújtás igen rugalmas vezérlése lehetséges.

Okos auto frekvencia tuning

Automatikus frekvenciaigazítás a generátor és matchbox optimális együttműködése érdekében.

Megbízható és finomított folyamat-ellenőrzés

Kiváló, reprodukálható folyamat-eredmények a rendkívül pontos digitális frekvenciamodulációnak köszönhetően.

Független a kábelhossztól

A nagyfrekvenciás kábel hosszának igazítása nem szükséges, ezért rövid a felszerszámozási idő.

Robusztus design

A generátorok megbízható működése hibás igazítás esetén is a CombineLine technológiának köszönhetően.

A TruPlasma VHF 3000 sorozat tipikus alkalmazási területe: napelem gyártás

Napelemek gyártása

A napelemek területén számos alkalmazási területe van a méretre szabott munkaenergiának. Itt következő plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra az anyagok felhordásához és lehúzásához, pl. fémbevonó, PECVD és maratási eljárás. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai optimálisan a mindenkori eljáráshoz igazíthatóak, a gyors spontán ívkisülés kezelés a plazma stabil ellenőrzését teszi lehetővé. Így garantáltak a kiváló folyamateredmények és a nagyfokú termelékenység.

Ideálisan alkalmas marási és bevonatoló eljárásokhoz

Félvezető gyártás

Félvezetők gyártásánál különböző plazmafolyamatok kerülnek alkalmazásra a lehúzási folyamatoktól a száraz maratáson át a zónaolvasztásig tiszta szilícium gyártásnál. A TruPlasma VHF 3000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.

Csúcskategóriás, közepes formátumú áramellátás síkképernyők bevonatolásához

Ideális kis síkképernyők bevonatolásához

A TruPlasma VHF 3000 nagyfrekvenciás generátorai ideálisak az olyan eljárásokhoz, mint a RIE, ALD, PECVD és RF fémbevonás. Ezeket az eljárásokat többek között félvezető részegységek és mikromechanikus rendszerek (MEMS) gyártásánál, valamint síkképernyők és napelemek bevonatolásánál alkalmazzák.

- / -
TruPlasma VHF 3005
Nagyfrekvenciás kimenet  
Kimenő teljesítmény 5 kW
Névleges teljesítmény 5 kW
Névleges terhelő impedancia 50 Ω
Kimeneti frekvencia 40,68 MHz
Hálózati csatlakozási adatok  
Hálózati feszültség 200 - 480 V
Hálózati frekvencia 50-60 Hz
Bemeneti teljesítmény 18 kVA
Teljesítménytényező 0,95
Kommunikációs interfészek  
Szink. interfészek Igen
Analóg/Digitális Igen
RS 232 / RS 485 Igen
PROFIBUS Igen
EtherCAT Igen
DeviceNet Igen
Burkolat  
Tömeg 55 kg
IP védettség 30
Hűtési követelmények  
Max. víznyomás 7 bar
Min. nyomáskülönbség 2 bar
Min. térfogatáram 8 l/min
Hűtőközeg hőmérséklete 5 °C - 35 °C 1
Általános  
Teljes hatásfok 75 %
Tanúsítványok / Szabványok Semi S2, SEMI F47,UL, CE, RoHs
Környezeti feltételek  
Külső hőmérséklet 5 °C - 40 °C
Páratartalom 5 % - 85 %
Barometrikus nyomás 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Műszaki adatlap

Minden termékváltozat műszaki adatai letöltésre.

A TruPlasma VHF 3000 sorozat Combine-line technológiája

Rugalmas hozzáigazítás az eljáráshoz

A TruPlasma VHF 3000 sorozat moduláris platform koncepciója lehetővé teszi a kimenő vezeték kalibrálását akár 80 kW-ig. Az implementált CombineLine technológiának köszönhetően a generátor hibás igazítás esetén is igen erős marad. A széles frekvenciatartománya, valamint a változtatható hálózati feszültsége és kábelhossza a különböző alkalmazásokhoz és az alkalmazási országhoz való rugalmas testreszabást tesz lehetővé.

Nagyfrekvenciás generátor párhuzamos rezgőkörökhöz

A legnagyobb hatékonyság és gazdaságosság

A TruPlasma VHF 3000 sorozat nagyfrekvenciás generátorai teljesen a legmodernebb félvezető technikában LDMOS teljesítménytranzisztorokkal vannak felszerelve. A kiválóan integrált planáris felépítési technika a legszélesebb teljesítményspektrumot és egyidejűleg nagyfokú energiahatékonyságot és megfelelően csökkentett hűtőteljesítményt tesz lehetővé. Ezáltal ez a család ebben a frekvenciatartományban eddig el nem ért gazdaságosságot kínál, és csökkenti a piacon szokásos üzemeltetési költségeket.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

A SystemPort zárt szabályozó körforgást tesz lehetővé az RF jel mérése révén közvetlenül a matchbox bemeneténél és kimeneténél. Az RF generátornak minden mért érték rendelkezésére áll. Így a folyamatparaméterek jobban felügyelhetők, a matchbox jobban védhető, és a spontán ívkisülés felismerés időben biztosítható. A teljes RF rendszer egyes generátor interfészeken keresztül vezérelhetők.

A különböző opciók a VHF generátornak az alkalmazáshoz való optimális testreszabását teszik lehetővé.

Okos auto frekvencia tuning

A szabadalmaztatott Auto Freuquency Tuning megoldás szimultán és gyors frekvenciaigazítást tesz lehetővé, valamint a generátor és matchbox optimális együttműködését garantálja. E szabadalmaztatott technika révén a helyi minimum már nem akadály: az RF rendszer a legnagyobb teljesítményt nyújtja, így a legjobb folyamat-eredményeket és nagyfokú reprodukálhatóságot tesz lehetővé.

Spontán ívkisülés kezelés

Az átgondolt spontán ívkisülés kezelés az ideális modul a legjobb plazma eljárás ellenőrzéshez. A célzott spontán ívkisülés felismerés a lehető legjobb termelékenységet garantálja, és egyidejűleg védi a terméket és a berendezést.

Rugalmas impulzusformálás

Rugalmas impulzusformálás: a kimeneti jel formája a folyamat mindenkori követelményeihez igazítható.

Kezelőbarát TruControl Power szoftver

TruControl Power

A TruControl Power kezelőbarát vezérlő szoftver a nagyfrekvenciás generátor kényelmes üzembe helyezését és biztonságos felügyeletét teszi lehetővé a teljes TRUMPF RF rendszerben a folyamatban lévő eljárás alatt.

Az alkalmas rendszerkomponensek kiválasztásával a VHF generátorokat optimálisan az alkalmazásának követelményeihez igazíthatja.

RF rendszermegoldás: matchbox a legnagyobb folyamatstabilitás érdekében
Matchbox

A TruPlasma Match igazító hálózatok gondoskodnak arról, hogy a generátorok optimálisan adják át a teljesítményt a plazma kisülésbe. A matchbox önállóan vagy egy intelligens generátor-matchbox kapcsolaton, az úgynevezett SystemPort-on keresztül tud üzemelni.

TruPlasma VHF sorozat tartozékkészlet
Tartozék készlet

Ennek tartalma: egy vízcsatlakozókhoz való adapter, HARTING AC ellátáshoz való készlet, jumper az interlock funkcióhoz, LEMO EPL adapter BNC female-en (Clock and Pulse sync csatlakozódugóhoz)

Főoszcillátor a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálásához
Főoszcillátorok

A főoszcillátorokkal a kritikus szinkron plazma eljárások stabilizálhatók és optimalizálhatók. Egy integrált digitális frekvencia- és fázis-szintetizátor gondoskodik nagyfokú frekvencia- és fázisstabilitásról, és a fázisállapot beállítását igen kis lépéstávolságokkal teszi lehetővé. Különböző kivitelű főoszcillátorokból lehet választani 13,56 MHz frekvenciákhoz, valamint különböző frekvencia kombinációhoz.

VHF Generator 3000 sorozat
Nagyfrekvenciás átkapcsoló

A nagyfrekvenciás átkapcsoló a nagyfrekvenciás generátor plazma eljárás különböző állomásain való többszörös felhasználást teszi lehetővé, például a szekvenciális eljárások áramellátásához vagy különböző betáplálási pontokkal rendelkező rendszerekben. Különböző nagyfrekvenciás átkapcsolók kaphatók két teljesítményosztályban, valamint 2, 3 vagy 4 kimenettel.

Koaxiális vezeték a meghatározott teljesítmény átviteléhez
Koaxiális vezeték

A nagyfrekvenciás teljesítményátvitelhez a TRUMPF Hüttinger olyan koaxiális vezetékeket kínál, amelyeket az 50 ohmos rendszerekben való üzemhez terveztek.

Generátor és matchbox: egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás

Tökéletesen egymásra hangolva: a TRUMPF RF rendszer

A plazmafolyamatok olyan komplex, változó terhelésként viselkednek, amelyhez az áramellátást a generátoron keresztül folyamatosan után kell állítani. Ezt az aktív igazító hálózatok, az úgynevezett matchboxok teljesítik, amelyek mindig biztosítják az 50 ohmos optimális impedancia precíz igazítását. Így jön létre egy tökéletesen egymásra hangolt rendszermegoldás, a TRUMPF RF rendszer. A különböző interfészeken, többek között az EtherCAT-en keresztül, a generátor és a matchbox igen egyszerűen a folyamat meglévő környezetébe integrálható, és egy intelligens generátor matchbox kapcsolattal, az úgynevezett SystemPort-tal, optimalizált rendszermegoldás érhető el.

Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.

Lábjegyzetek
  • A hűtővízhőmérséklet a kondenzáció elkerülése érdekében magasabb kell, hogy legyen a szobahőmérséklet harmatpontjánál.

Ezek a témák is érdekelhetik Önt

Kapcsolat

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
E-mail

Letöltések

TruPlasma RF rendszer brosúra
TruPlasma RF rendszer brosúra
pdf - 6 MB
TruPlasma VHF 3000 sorozat Flyer
pdf - 1 MB
Szerviz & kapcsolat

Close

Country and language selection

Please note

You have selected Hungary . Based on your configuration, United States might be more appropriate. Do you want to keep or change the selection?

Hungary
United States

Or select a country or region.