Univerzális generátorok a fémbevonó eljáráshoz
A TruPlasma Bias 3000 sorozat generátorai elsősorban az optikai és fém bevonatoló alkalmazásokat támogatják, amelyeket pl. a félvezető technikában vagy kemény anyag bevonatoknál alkalmaznak. Ezenfelül hasonló feszültség és áram követelményekkel minden alkalmazáshoz illenek.
1200 V a szubsztrátum marási eljárásokhoz,
300 V a Bias által támogatott bevonatoló eljárásokhoz.
Igen kevés spontán ívkisülés maradék energia, így a szubsztrátum kevésbé sérül és az eljárás stabilabb.
Egyedülálló pontosság a modern DSP technikának és FPGA jelfeldolgozásnak köszönhetően.
Dekoratív bevonatolás
A nagy felületű bevonatolások a plazma eljárásban különösen magas követelményeket támasztanak az eljárás áramellátásával szemben. A TruPlasma Bias 3000 sorozat generátorai minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Félvezető technika
A TruPlasma Bias 3000 sorozat generátorai megállják a helyüket minden kritikus PVD és PECVD eljárásban, és minden előfeltételt biztosítanak a stabil és optimális, a mindenkori eljáráshoz igazított áramellátáshoz, így kiváló, reprodukálható eredmények érhetők el.
Egyenletesen jó eljárási feltételeket biztosít
A speciális teljesítmény és vezérlési dizájn megalapozott feszültség stabilitásról gondoskodik, amely döntő fontosságú a réteg minőségéhez és a stabil eljáráshoz. DSP technikával és FPGA jelfeldolgozással készítve a TruPlasma Bias 3000 sorozat olyan spontán ívkisülés kezeléssel rendelkezik, amely egyedülálló pontosságot és ismétlési pontosságot nyújt. A két paraméter meggyőző értékei optimális folyamatstabilizálásról gondoskodnak.
Leegyszerűsített rendszerkezelés egyetlen készülékkel több eljáráshoz
A TruPlasma Bias 3000 sorozat két külön feszültség móddal rendelkezik: egy legfeljebb 1200 voltos nagyfeszültségű móddal és egy legfeljebb 300 voltos kisfeszültségű móddal. Az üzemmódok elsősorban az optikai és fém bevonatoló alkalmazásokat támogatják, amelyeket pl. a félvezető technikában vagy kemény anyag bevonatoknál alkalmaznak. Ezenfelül hasonló feszültség és áram követelményekkel minden alkalmazáshoz illenek.
Optimális rétegminőség a súrlódásmentes eljárások révén
A TruPlasma Bias 3000 sorozat generátorai igen alacsony spontán ívkisülés energiával rendelkező, teljesen digitális spontán ívkisülés kezeléssel és CompensateLine-nal vannak felszerelve, így kiváló minőségű réteget és leválasztási arányokat tesznek lehetővé. Ezáltal a szubsztrátum még kevésbé sérül, az eljárás és a végtermék pedig javul.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
