A legjobb választás az igényes plazmaeljárásokhoz
A TruPlasma DC 4000 generátorai jelentik a legjobb választást az igényes plazmaeljárásokhoz. A széles terhelésigazítási tartományon keresztül teljes teljesítményt nyújtanak. Így alkalmasak a csúcstechnológiás fémbevonó alkalmazásokhoz, valamint kiegészítő standard vagy impulzusvezérlésű plazma alkalmazásokhoz. A nem impulzusvezérlésű generátorokhoz hasonlóan ezek is kiváló spontán ívkisülés kezeléssel rendelkeznek.
A legmodernebb DSP szabályozástechnikának köszönhetően a spontán ívkisülés miatti időveszteség a minimumra csökken.
Jobb eredmények a cseppfogás és a szubsztrátum kevesebb sérülésének köszönhetően.
Rugalmas alkalmazás a széles teljesítménytartománynak és az akár 100 kHz-es impulzusfrekvenciáknak köszönhetően.
Nehéz anyagok reaktív fémbevonása
A TruPlasma DC 4000 sorozat impulzusvezérlésű generátorait speciálisan a nehéz anyagokkal való reaktív fémbevonáshoz fejlesztették ki. A generátorok minden kritikus PVD és PECVD folyamatban beválnak, például napelemek és félvezetők gyártásánál vagy kemény anyag bevonatolásnál.
Igényes plazmaeljárások
A TruPlasma DC 4000 generátorai jelentik a legjobb választást az igényes plazmaeljárásokhoz. A széles terhelésigazítási tartományon keresztül teljes teljesítményt nyújtanak. Így alkalmasak a csúcstechnológiás fémbevonó alkalmazásokhoz, valamint kiegészítő standard vagy impulzusvezérlésű plazma alkalmazásokhoz. A nem impulzusvezérlésű generátorokhoz hasonlóan ezek is kiváló spontán ívkisülés kezeléssel rendelkeznek.
Nagyfokú hatékonyság
A csekély spontán ívkisülés energiával járó, teljesen digitális spontán ívkisülés kezelés kiváló rétegminőséget és leválasztási arányt tesz lehetővé. Ezáltal még kevesebb a cseppfogás, és a szubsztrátum még kevésbé sérül. Az igen kis spontán ívkisülés maradék energiával együtt ez közvetlenül javítja az eljárást és a végterméket. A nagyfokú termelékenységet a stabil és állandó folyamatidő biztosítja a folyamat igen rövid megszakításával.
A folyamat kezelőbarát igazítása
A TruPlasma DC 4000 generátorai szinkronizált spontán ívkisülés kezeléssel, impulzusfrekvenciával és fázisugrással rendelkeznek. A frekvencia- és impulzusparaméterek változatosan igazíthatók, így számos eljárás kezelhető egyetlen készülékkel. Szinkron impulzus is lehetséges több TruPlasma DC 4000 generátorral.
PVD Power
A kezelőbarát, többnyelvű PVD Power szoftver a kezelés, konfiguráció és diagnózis sokrétű lehetőségeit kínálja az eljárás minőségének és a hatékony hibaelhárítás optimalizálásához, minden releváns folyamatparaméter tényleges értékének, illetve a figyelmeztetések és riasztások kijelzéséhez, valamint az előírt értékek kezelő általi megadásához, illetve a fontos üzemi paraméterek feljegyzését és megjelenítését időbeli felbontással (oszilloszkóp funkcióval).
Országonként eltérések lehetnek a termékválasztékban és ezekben az adatokban. A technika, felszereltség, ár és tartozékkínálat változtatásának jogát fenntartjuk. Kérjük, lépjen kapcsolatba a helyi kapcsolattartójával, hogy megtudja, hogy a termék az Ön országában rendelkezésre áll-e.
