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Technologiebild DC gepulste Plasmageneratoren

Generatori al plasma a corrente continua

I generatori al plasma a corrente continua pulsata di TRUMPF Hüttinger sono particolarmente adatti per essere impiegati in numerosi processi reattivi. Diversamente dai normali generatori a corrente continua, la corrente continua pulsata permette la lavorazione anche di materiali semiconduttori o non conduttori, come ad esempio gli ossidi. Le applicazioni più frequenti dei generatori di impulsi comprendono il rivestimento di materiali duri, nonché i processi di corrosione e di rivestimento nella produzione di semiconduttori.

Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000

TruPlasma Highpulse Serie 4000

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 sono la prima scelta per le applicazioni HiPIMS e permettono di ottenere rivestimenti di materiale duro particolarmente resistenti alla corrosione e all'usura. In combinazione con substrati polarizzati, i generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 sono in grado di asservire anche applicazioni a semiconduttore, come ad es. l'incisione, il trattamento preliminare di superfici e il Trench-Filling.

TruPlasma DC 4000 (G2)

TruPlasma DC Serie 4000 (G2)

Nel generatore TruPlasma DC Serie 4000 (G2) sono combinati l'eccellente gestione degli archi di TRUMPF Hüttinger e i vantaggi della tecnologia CC pulsata. Si possono così ottenere migliori risultati di rivestimento, con meno difetti e allo stesso tempo maggior tasso di separazione. Il risultato: superfici brillanti ed elevata resa di produzione.

Generatore pulsato TruPlasma DC Serie 4000

TruPlasma DC Serie 4000

I generatori TruPlasma DC Serie 4000 sono la prima scelta per i più complessi processi al plasma. Con un ampio campo di regolazione, forniscono piena potenza. In tale maniera sono particolarmente indicati per applicazioni di sputtering high-tech come anche per ulteriori applicazioni al plasma CC standard o pulsate. Come i generatori non pulsati, anch'essi si avvalgono di una eccezionale gestione dell'arco.

Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco

TruPlasma Bias Serie 4000

Il TruPlasma Bias Serie 4000 è una famiglia di prodotti composta da modernissimi generatori di Bias CC pulsati. Essi permettono di raggiungere frequenze d'impulso fino a 100 kHz come anche un output di Bias continuo.
Ogni apparecchio della serie dispone di due modalità operative: una modalità ad alta tensione a 1200 V per processi di incisione del substrato, e una modalità a bassa tensione a 300 V per processi di rivestimento con supporto Bias, utilizzabili ad esempio nella tecnica dei semiconduttori o nel rivestimento di materiale duro.

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