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Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco
Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 4000

Stabile e versatile

Generatori universali per il vostro processo di sputtering

Il TruPlasma Bias Serie 4000 è una famiglia di prodotti composta da modernissimi generatori di Bias CC pulsati. Essi permettono di raggiungere frequenze d'impulso fino a 100 kHz come anche un output di Bias continuo. I generatori supportano in particolar modo applicazioni di rivestimento ottiche e metalliche, impiegate ad es. nella tecnica dei semiconduttori oppure nel rivestimento con materiali duri. Si prestano inoltre ad ogni applicazione che prevede requisiti equivalenti in termini di tensione e corrente.

Modalità ad alta e bassa tensione

1200 V per processi di incisione del substrato,
300 V per processi di rivestimento con supporto Bias.

Rapida gestione dell'arco

Si hanno quindi meno rilasci di goccioline e danneggiamenti al substrato.

Risultati di processo stabili e riproducibili

Eccellente gestione degli archi, grazie alla moderna tecnica DSP e alla valutazione del segnale FPGA.

Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): produzione di rivestimenti resistenti all'usura

Produzione di strati di rivestimento resistenti all'usura

I generatori TruPlasma Bias Serie 4000 garantiscono un processo al plasma stabile, e dunque, una qualità dello strato ottimale.

Ideali per il rivestimento di grandi superfici

Rivestimento di grandi superfici

Nel processo al plasma, il rivestimenti di grandi superfici richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori TruPlasma Bias Serie 4000 hanno tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e perfettamente adeguata al relativo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

Generatore TruPlasma Bias Serie 4000

Produzione di celle solari

I generatori TruPlasma Bias Serie 4000 sono ampiamente collaudati in tutti i processi PVD e PECVD critici e hanno tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e perfettamente adeguata al relativo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

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TruPlasma Bias 4012
TruPlasma Bias 4018
TruPlasma Bias 4026
Uscita      
Potenza nominale 12 kW 18 kW 26 kW
Corrente di uscita massima 40 A eff 60 A eff 87 A eff
Tensione di uscita massima 1200 V eff 1200 V eff 1200 V eff
Frequenza nominale di esercizio 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz 0 kHz - 100 kHz
Parametri scarica ad arco      
Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 50 1/s 50 1/s 50 1/s
Tempo di trattamento della scarica ad arco <0,5 µs <0,5 µs <0,5 µs
Dati di collegamento alla rete      
Tensione di rete 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V 3x 360 V - 440 V
Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfacce di comunicazione      
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485 - -
PROFIBUS -
EtherCAT No No No
Alloggiamento      
Peso 70 kg 70 kg 71 kg
Tipo di protezione IP IP 20 IP 20 IP 20
Requisiti di raffreddamento      
Refrigerante Aria Aria Aria
Temperatura refrigerante 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
In generale      
Rendimento totale 90 % 90 % 90 %
Certificati / standard CE CE CE
Condizioni ambientali      
Temperatura esterna 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C
Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressione barometrica 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa 860 kPa - 1060 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Vetro architettonico

Garantisce condizioni di processo costanti

Lo speciale design della parte di potenza e comando garantisce una tensione stabile, fondamentale per assicurare la qualità dello strato e un processo stabile. Concepiti in tecnica DSP e dotati di una valutazione del segnale FPGA, i generatori TruPlasma Bias Serie 4000 dispongono di una moderna gestione degli archi in grado di offrire precisione esecutiva e di ripetizione uniche. Gli eccezionali valori dei due parametri garantiscono un'ottimale stabilità del processo.

Rivestimento con materiale duro

Gestione semplificata del sistema con un unico dispositivo per più processi.

Il TruPlasma Bias Serie 4000 dispone di due modalità di tensione separate: una modalità ad alta tensione sino a 1200 volt e una modalità a bassa tensione sino a 300 volt. Le modalità supportano in particolar modo applicazioni di rivestimento ottiche e metalliche, impiegate ad es. nella tecnica dei semiconduttori oppure nel rivestimento con materiali duri. Si prestano inoltre ad ogni applicazione che prevede requisiti equivalenti in termini di tensione e corrente.

Gestione dell'arco

Qualità ottimale dello strato di rivestimento tramite processi perfettamente coordinati

I generatori TruPlasma Bias Serie 4000 sono dotati di una gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta e di CompensateLine, e permettono dunque alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. In tal modo si verificano ancora meno rilasci di goccioline e danneggiamenti al substrato, migliorando così il processo ed il prodotto.

Software PVD Power intuitivo

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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Brochure TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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