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Generatore pulsato TruPlasma DC Serie 4000
Generatore pulsato TruPlasma DC Serie 4000
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma DC Serie 4000

Chiaro come l'acqua: processi pulsati per superfici perfette

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    • Panoramica
    • Applicazioni
    • Vantaggi per il cliente
    • Software
    • Più Meno
    La prima scelta per processi al plasma complessi

    I generatori TruPlasma DC Serie 4000 sono la prima scelta per i più complessi processi al plasma. Con un ampio campo di regolazione, forniscono piena potenza. In tale maniera sono particolarmente indicati per applicazioni di sputtering high-tech come anche per ulteriori applicazioni al plasma CC standard o pulsate. Come i generatori non pulsati, anch'essi si avvalgono di una eccezionale gestione dell'arco.

    Processi stabili per risultati coerenti

    La modernissima tecnologia di regolazione DSP permette di ridurre al minimo le perdite di tempo connesse alla formazione di archi.

    Eccellente gestione dell'arco

    Risultati migliori, in quanto si hanno meno rilasci di goccioline e danneggiamenti al substrato.

    Un generatore per molti processi

    Flessibilità d'impiego grazie all'ampio campo di potenza e alle frequenze d'impulso fino a 100 kHz.

    Generatore pulsato TruPlasma DC Serie 4000

    Sputtering reattivo di materiali difficili

    I generatori pulsati TruPlasma DC Serie 4000 sono stati sviluppati specificamente per lo sputtering reattivo di materiali difficili. I generatori sono ampiamente collaudati in tutti i processi critici PVD e PECVD, ad esempio nella produzione di celle solari e di semiconduttori oppure nel rivestimento di materiali duri.

    Ideali per il rivestimento di pezzi metallici

    Complessi processi al plasma

    I generatori TruPlasma DC Serie 4000 sono la prima scelta per i più complessi processi al plasma. Con un ampio campo di regolazione, forniscono piena potenza. In tale maniera sono particolarmente indicati per applicazioni di sputtering high-tech come anche per ulteriori applicazioni al plasma CC standard o pulsate. Come i generatori non pulsati, anch'essi si avvalgono di una eccezionale gestione dell'arco.

    Gestione dell'arco

    Alta efficienza

    La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere strati di alta qualità ed elevate velocità di separazione. In tal modo si verificano meno rilasci di goccioline e danneggiamenti al substrato. Insieme alla bassissima energia residua dell'arco, tutto ciò migliora il processo ed il prodotto finale. L'alta produttività viene garantita da tempi di processo stabili e costanti con interruzioni estremamente brevi.

    Generatore pulsato TruPlasma DC Serie 4000

    Regolazione user-friendly del processo

    I generatori TruPlasma DC Serie 4000 dispongono di una gestione dell'arco, di una frequenza d'impulso e di uno spostamento di fase sincronizzati. I parametri di frequenza e d'impulso possono essere adattati in maniera variabile, affinché sia possibile comandare un gran numero di processi con un unico apparecchio. È anche possibile un pulsaggio sincrono con più generatori TruPlasma DC 4000.

    Software intuitivo PVD Power

    PVD Power

    L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

    Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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    I corsi di formazione individuali per clienti sono il nostro punto di forza.

    Gli esperti tecnici del Servizio Assistenza trasmettono solide conoscenze che dal punto di vista contenutistico soddisfano appieno le esigenze dei partecipanti.

    Contatto

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
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    Flyer TruPlasma DC Serie 4000
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