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Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000
Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Highpulse Serie 4000

Plasma ad alta densità per risultati di rivestimento superiori

La prima scelta per applicazioni HiPIMS

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 possono essere utilizzati in alternativa ai generatori per sputtering CC in sistemi Magnetron già esistenti, senza necessità di apportare modifiche.

Eccellenti caratteristiche di rivestimento

Impulsi fino a 8 MW generano un plasma molto denso che permette di ottenere i migliori risultati di rivestimento.

Strati e aderenza perfetti

Risultati di processo eccellenti nell'High Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS).

Diverse classi di potenza

Potenza d'impulso da 1 MW a 8 MW, potenza media da 10 kW a 20 kW.

Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000 in azione

Applicazioni HiPIMS

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 sono la prima scelta per le applicazioni HIPIMS. Come ultima evoluzione del processo di sputtering PVD pulsato, HiPIMS fornisce rivestimenti in materiale duro particolarmente resistenti alla corrosione e all'usura.

Ideali per processi di incisione e rivestimento

Incisione, pretrattamento di superfici e Trench-Filling

Picchi di potenza fino a 8 Megawatt generano estreme densità di plasma con elevati flussi di ioni. Paragonabile in linea di principio ad una scarica ad arco voltaico, con la tecnica HiPIMS non vengono però a crearsi goccioline di materiale (droplet). In combinazione con substrati polarizzati, i generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 sono in grado di asservire anche applicazioni a semiconduttore, come ad es. l'incisione, il trattamento preliminare di superfici e il Trench-Filling.

Ideali per il rivestimento di grandi superfici

Ideali per il rivestimento di grandi superfici

Nel processo al plasma, il rivestimento di grandi superfici richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 hanno tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e perfettamente adattata al relativo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

Il campo d'applicazione dei TruPlasma Highpulse Serie 4000: processi complessi nell'industria dell'energia solare

Produzione di celle solari

Nel settore del fotovoltaico, l'energia di processo su misura viene utilizzata in numerosi campi di applicazione. I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 si adattano in maniera ottimale ai relativi processi e permettono eccellenti parametri di rivestimento ed elevata produttività.

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Generatore TruPlasma Highpulse Serie 4000 in azione

Risultati di processo ottimali

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 offrono una flessibilità senza paragoni per processi di ricerca e industriali, e permettono uno sputtering senza goccioline e con difetti superficiali minimi. La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta, basata sulla misurazione della corrente in tempo reale, permette di ottenere alte qualità degli strati ed elevate velocità di separazione.

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 permettono un'integrazione ottimale degli apparecchi.

Impiego flessibile

I generatori TruPlasma Highpulse Serie 4000 possono essere facilmente adattati a sistemi catodici e a condizioni di processo esistenti, permettendo così un'integrazione ottimale degli apparecchi.

Le diverse opzioni garantiscono un adattamento ottimale del TruPlasma Highpulse Serie 4000 all'applicazione specifica.

Gestione dell'arco CompensateLine (CLC)

La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione.

Software di comando grafico PVD Power

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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