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Technologiebild DC Plasmagenerator

Generatori al plasma a corrente continua

I generatori al plasma a corrente continua di TRUMPF Hüttinger sono la soluzione classica per l'eccitazione del plasma. Sono ampiamente utilizzati in sistemi monocatodo, tra cui ad esempio l'applicazione di rivestimenti elettro-conduttivi su celle solari e semiconduttori, nonché per la magnetizzazione di substrati. Essendo una tecnologia a basso costo che permette di affacciarsi alle tecniche basate sull'eccitazione del plasma, oggi i generatori a corrente continua sono utilizzati in numerose applicazioni.

Generatore di corrente continua TruPlasma DC 3040

TruPlasma DC Serie 3000 (G2)

I generatori TruPlasma DC Serie 3000 (G2) rappresentano una nuova generazione di generatori a corrente continua idonei per svariati processi di sputtering CC. Grazie all'innovativa gestione degli archi e al raffreddamento ad acqua integrato, i generatori di corrente continua sono interessanti anche come alternativa economica ai generatori di corrente continua pulsati. La struttura molto compatta permette inoltre una semplice integrazione in applicazioni esistenti.

Generatore di corrente continua per complessi processi al plasma: TruPlasma DC 3010

TruPlasma DC Serie 3000

Con la loro ampia gamma di potenze e il riconoscimento rapido degli archi, i generatori a corrente continua TruPlasma DC Serie 3000 garantiscono superfici perfette e alte velocità di rivestimento, anche in processi di sputtering CC molto complessi con materiali critici. Grazie al raffreddamento ad aria, questi generatori sono particolarmente compatti e possono essere integrati senza problemi in qualsiasi impianto.

Generatore ad arco TruPlasma Arc Serie 3000

TruPlasma Arc Serie 3000

I generatori TruPlasma Arc Serie 3000 si distinguono soprattutto in applicazioni di rivestimento con materiale duro e rivestimenti decorativi. Grazie alla struttura compatta e al raffreddamento ad aria viene garantito lo sfruttamento ottimale di prezioso spazio, e l'integrazione in sistemi nuovi o già esistenti risulta facilitata.

Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco

TruPlasma Bias Serie 3000

La TruPlasma Bias Serie 3000 comprende versatili e modernissimi generatori di Bias CC. Tutti gli apparecchi dispongono di due modalità operative che supportano in particolar modo applicazioni di rivestimento ottiche e metalliche. Si prestano inoltre ad ogni applicazione che prevede requisiti equivalenti in termini di tensione e corrente.

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