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Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco
Generatore di Bias con gestione stabile della tensione e gestione rapida dell'arco
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bias Serie 3000

Stabile e versatile

Generatori universali per il vostro processo di sputtering

I generatori TruPlasma Bias Serie 3000 supportano in particolar modo applicazioni di rivestimento ottiche e metalliche, impiegate ad es. nella tecnica dei semiconduttori oppure nel rivestimento con materiali duri. Si prestano inoltre ad ogni applicazione che prevede requisiti equivalenti in termini di tensione e corrente.

Modalità ad alta e bassa tensione

1200 V per processi di incisione del substrato,
300 V per processi di rivestimento con supporto Bias.

Rapida gestione dell'arco

Energia residua degli archi molto ridotta, pertanto minori danneggiamenti al substrato e processi più stabili.

Risultati di processo stabili e riproducibili

Eccezionale precisione grazie alla moderna tecnica DSP e alla valutazione del segnale FPGA.

Ideali per il rivestimento di grandi superfici

Rivestimento decorativo

Nel processo al plasma, il rivestimento di grandi superfici richiede un'alimentazione elettrica adeguata. I generatori TruPlasma Bias Serie 3000 hanno tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e perfettamente adeguata al relativo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

Ideali per processi di incisione e rivestimento

Tecnica dei semiconduttori

I generatori TruPlasma Bias Serie 3000 sono ampiamente collaudati in tutti i processi PVD e PECVD critici e hanno tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile e perfettamente adeguata al relativo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

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Generatore TruPlasma Bias Serie 3000 in azione

Garantisce condizioni di processo costanti

Lo speciale design della parte di potenza e comando garantisce una tensione stabile, fondamentale per assicurare la qualità dello strato e un processo stabile. Concepiti in tecnica DSP e dotati di una valutazione del segnale FPGA, i generatori TruPlasma Bias Serie 3000 dispongono di una moderna gestione degli archi in grado di offrire precisione esecutiva e di ripetizione uniche. Gli eccezionali valori dei due parametri garantiscono un'ottimale stabilità del processo.

Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): produzione di rivestimenti resistenti all'usura

Gestione semplificata del sistema con un unico dispositivo per più processi.

Il TruPlasma Bias Serie 3000 dispone di due modalità di tensione separate: una modalità ad alta tensione sino a 1200 volt e una modalità a bassa tensione sino a 300 volt. Le modalità supportano in particolar modo applicazioni di rivestimento ottiche e metalliche, impiegate ad es. nella tecnica dei semiconduttori oppure nel rivestimento con materiali duri. Si prestano inoltre ad ogni applicazione che prevede requisiti equivalenti in termini di tensione e corrente.

Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma Bias Serie 3000: produzione di celle solari

Qualità ottimale dello strato di rivestimento tramite processi perfettamente coordinati

I generatori TruPlasma Bias Serie 3000 sono dotati di una gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta e di CompensateLine, e permettono dunque alte qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. In tal modo si verificano minori danneggiamenti al substrato, migliorando così il processo ed il prodotto finale.

Software PVD Power intuitivo

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore e registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con alta risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
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Brochure TruPlasma Bias Serie 3000 / 4000
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