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MF Plasmageneratoren

Generatori al plasma a media frequenza

I generatori al plasma a media frequenza di TRUMPF Hüttinger sono impiegati soprattutto in sistemi bicatodo, come per esempio nel Dual-Magnetron-Sputtering. Grazie alla loro elevata potenza di uscita e alla stabilità di processo, i generatori a media frequenza sono particolarmente adatti sia per il rivestimento di grandi superfici in vetro architettonico con elevato tasso di deposizione sia per l'applicazione di rivestimenti ultrasottili e omogenei su semiconduttori o celle solari. Grazie alla loro eccellente precisione e produttività, le alimentazioni elettriche a media frequenza dei nostri processi sono la soluzione ideale per numerose applicazioni con la tecnologia dell'eccitazione del plasma.

Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4040

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

L'alimentazione elettrica fornita dai generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) è eccellente per processi particolarmente esigenti, quali lo sputtering reattivo, il PVD e il PECVD. Con segnali d'uscita di forme flessibili e una gestione perfezionata degli archi, questi generatori forniscono risultati eccellenti nella produzione di semiconduttori e celle solari, nel rivestimento di vetro per uso architettonico e nell'applicazione di rivestimenti decorativi e resistenti all'usura.

TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

TruPlasma MF Serie 7000

I generatori a media frequenza TruPlasma Serie MF 7000 (G2) permettono di tenere sempre sotto controllo il processo: si ottengono così eccellenti qualità degli strati e la massima produttività anche in applicazioni di rivestimento complesse e su ampie superfici. Con rendimenti di picco superiori al 90%, questi alimentatori di ultima generazione assicurano un funzionamento particolarmente redditizio.

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