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Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4040
Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4040
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Massime prestazioni su onda flessibile

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Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

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Tecnologia Bipolar per alte prestazioni

Gli alimentatori del TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per il rivestimento al plasma tramite processi PVD, PECVD e sputtering reattivo. Questi generatori di impulsi bipolari di ultima generazione sono molto versatili, grazie al segnale di uscita dalla forma flessibile e ad una sofisticata gestione dell'arco. Potete aspettarvi sempre le massime prestazioni relativamente alla qualità degli strati ed alle velocità di rivestimento, sia nella produzione di semiconduttori e celle solari sia nel rivestimento di vetro architettonico.

Energia dell'arco estremamente ridotta

Gestione completamente digitale degli archi per massima qualità dei rivestimenti e massima produttività.

Forme d'onda regolabili

Semplice adattamento a diversi processi grazie alla variazione del segnale d'uscita.

Un generatore, molte applicazioni

CC, CC pulsata e bipolare: abbattimento dei costi grazie alle svariate opzioni di impostazione.

Raffreddamento ad acqua integrato

Non servono componenti esterni, quindi gli ingombri sono minimi.

Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): produzione di rivestimenti resistenti all'usura

Alimentazione elettrica di alto livello

I campi di applicazione tipici sono la produzione di semiconduttori e di celle fotovoltaiche, il rivestimento di vetro architettonico nonché la produzione di strati decorativi e resistenti all'usura di massima qualità. In tale ambito vengono impiegati soprattutto processi PVD e PECVD.

Uscita          
Potenza nominale 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
Corrente di uscita massima 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
Tensione di uscita massima 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
Frequenza nominale di esercizio 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
Parametri scarica ad arco          
Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
Energia Arc 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
Tensioni d'innesco          
con meccanismo ausiliario d'accensione 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
Dati di collegamento alla rete          
Tensione di rete 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
Fattore di potenza 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
Interfacce di comunicazione          
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
-
DeviceNet
-
Alloggiamento          
Larghezza 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
Altezza 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
Profondità 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
Peso 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
Tipo di protezione IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
Requisiti di raffreddamento          
Refrigerante Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua
Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
Differenza min. di pressione 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
Portata min. 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
Temperatura refrigerante 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
In generale          
Rendimento totale 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
Condizioni ambientali          
Temperatura esterna 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressione barometrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Gestione dell'arco

Strati perfetti, alta produttività

La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. Anche nel caso di processi reattivi complessi, i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) garantiscono sempre un'alimentazione uniforme della corrente di processo e, dunque, un plasma stabile.

Utilizzo versatile grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita

Più flessibilità, meno costi

Attraverso forme d'onda regolabili è possibile adattare i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) alle diverse esigenze di processo in modo molto semplice. Grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita (CC, CC pulsata o bipolare), è possibile utilizzare questi generatori in maniera versatile, riducendo così i costi totali di esercizio (TCO).

Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4060

Tutto in un alloggiamento

Il raffreddamento ad acqua completamente integrato nell'alloggiamento del generatore protetto dagli agenti atmosferici rende superfluo qualsiasi componente esterno.

Software PVD Power intuitivo

PVD Power

L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore, nonché registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con elevata risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

La possibiltà di scegliere i diversi componenti di sistema consente di adattare nel migliore modo possibile il generatore di impulsi Bipolar al vostro ambiente di sistema.

Vista posteriore del generatore TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Cavo di rete

Sono disponibili diversi tipi di cavi e connettori per differenti standard di connessione.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
e-mail

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Brochure
Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
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Whitepaper Shape matters - Bipolar sputtering
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White Paper Seno o rettangolo
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