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Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4040
Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4040
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

Massime prestazioni su onda flessibile

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Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)

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    • Panoramica
    • Applicazioni
    • Dati tecnici
    • Vantaggi per il cliente
    • Software
    • Componenti di sistema
    • Più Meno
    Tecnologia Bipolar per alte prestazioni

    Gli alimentatori del TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) sono stati sviluppati specificamente per il rivestimento al plasma tramite processi PVD, PECVD e sputtering reattivo. Questi generatori di impulsi bipolari di ultima generazione sono molto versatili, grazie al segnale di uscita dalla forma flessibile e ad una sofisticata gestione dell'arco. Potete aspettarvi sempre le massime prestazioni relativamente alla qualità degli strati ed alle velocità di rivestimento, sia nella produzione di semiconduttori e celle solari sia nel rivestimento di vetro architettonico.

    Energia dell'arco estremamente ridotta

    Gestione completamente digitale degli archi per massima qualità dei rivestimenti e massima produttività.

    Forme d'onda regolabili

    Semplice adattamento a diversi processi grazie alla variazione del segnale d'uscita.

    Un generatore, molte applicazioni

    CC, CC pulsata e bipolare: abbattimento dei costi grazie alle svariate opzioni di impostazione.

    Raffreddamento ad acqua integrato

    Non servono componenti esterni, quindi gli ingombri sono minimi.

    Campo d'applicazione tipico dei generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2): produzione di rivestimenti resistenti all'usura

    Alimentazione elettrica di alto livello

    I campi di applicazione tipici sono la produzione di semiconduttori e di celle fotovoltaiche, il rivestimento di vetro architettonico nonché la produzione di strati decorativi e resistenti all'usura di massima qualità. In tale ambito vengono impiegati soprattutto processi PVD e PECVD.

    Uscita          
    Potenza nominale 10 kW 20 kW 30 kW 40 kW 60 kW
    Corrente di uscita massima 25 A eff 50 A eff 75 A eff 100 A eff 150 A eff
    Tensione di uscita massima 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff 1000 V eff
    Frequenza nominale di esercizio 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz 20 kHz - 80 kHz
    Parametri scarica ad arco          
    Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s 20000 1/s
    Energia Arc 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW 0,3 mJ/kW
    Tensioni d'innesco          
    con meccanismo ausiliario d'accensione 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V 2000 V
    Dati di collegamento alla rete          
    Tensione di rete 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V 380 480 V
    Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
    Fattore di potenza 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
    Interfacce di comunicazione          
    Analogico/digitale
    RS 232 / RS 485
    PROFIBUS
    EtherCAT
    -
    DeviceNet
    -
    Alloggiamento          
    Larghezza 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm 482 mm
    Altezza 178 mm 266 mm 355 mm 355 mm 622 mm
    Profondità 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm 683 mm
    Peso 60 kg 60 kg 100 kg 100 kg 160 kg
    Tipo di protezione IP IP40 IP40 IP40 IP40 IP40
    Requisiti di raffreddamento          
    Refrigerante Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua
    Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar 7 bar
    Differenza min. di pressione 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar 3 bar
    Portata min. 4 l/min 8 l/min 8 l/min 12 l/min 12 l/min
    Temperatura refrigerante 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C 20 °C - 35 °C
    In generale          
    Rendimento totale 90 % 90 % 90 % 90 % 90 %
    Condizioni ambientali          
    Temperatura esterna 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
    Pressione barometrica 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa 86 kPa - 106 kPa
    PDF <1MB
    Scheda tecnica

    I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

    Gestione dell'arco

    Strati perfetti, alta produttività

    La gestione dell'arco completamente digitale con energia dell'arco estremamente ridotta permette di ottenere alta qualità degli strati ed elevate velocità di separazione. Anche nel caso di processi reattivi complessi, i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) garantiscono sempre un'alimentazione uniforme della corrente di processo e, dunque, un plasma stabile.

    Utilizzo versatile grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita

    Più flessibilità, meno costi

    Attraverso forme d'onda regolabili è possibile adattare i generatori TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2) alle diverse esigenze di processo in modo molto semplice. Grazie alla selezione flessibile del segnale d'uscita (CC, CC pulsata o bipolare), è possibile utilizzare questi generatori in maniera versatile, riducendo così i costi totali di esercizio (TCO).

    Generatore bipolare TruPlasma Bipolar 4060

    Tutto in un alloggiamento

    Il raffreddamento ad acqua completamente integrato nell'alloggiamento del generatore protetto dagli agenti atmosferici rende superfluo qualsiasi componente esterno.

    Software PVD Power intuitivo

    PVD Power

    L'intuitivo software multilingue PVD Power offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi per ottimizzare la qualità del processo ed eliminare efficacemente gli errori: visualizzazione dei valori effettivi di tutti i parametri di processo pertinenti nonché di avvisi e messaggi d'allarme, preimpostazione di valori nominali da parte dell'operatore, nonché registrazione e indicazione di importanti parametri di esercizio con elevata risoluzione temporale (funzione oscilloscopio).

    La possibiltà di scegliere i diversi componenti di sistema consente di adattare nel migliore modo possibile il generatore di impulsi Bipolar al vostro ambiente di sistema.

    Vista posteriore del generatore TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
    Cavo di rete

    Sono disponibili diversi tipi di cavi e connettori per differenti standard di connessione.

    Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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    Gli esperti tecnici del Servizio Assistenza trasmettono solide conoscenze che dal punto di vista contenutistico soddisfano appieno le esigenze dei partecipanti.

    Contatto

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    e-mail

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    Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
    Brochure TruPlasma Bipolar Serie 4000 (G2)
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    Assistenza e contatto