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TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
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TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
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TRUMPF Hüttinger

TruPlasma MF Serie 7000

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    • Panoramica
    • Applicazioni
    • Dati tecnici
    • Vantaggi per il cliente
    • Opzioni
    • Software
    • Componenti di sistema
    • Più Meno
    Pieno controllo sul processo

    Con i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) il processo è sempre sotto controllo: la moderna gestione degli archi e il comportamento d'innesco rendono questi generatori ideali per rivestimenti ad ampia superficie (Large Area Coating) e per processi reattivi complessi nel Dual Magnetron Sputtering. Grazie a rendimenti di picco superiori al 90% e ad una gestione particolarmente efficiente dell'acqua di raffreddamento, assicurano un funzionamento particolarmente redditizio.

    Massima qualità di rivestimento e massima produttività

    Risultati eccellenti ed elevate velocità di rivestimento anche in processi reattivi critici.

    Massima efficienza

    Con rendimenti di picco
    superiori al 90% si ottengono rendimenti operativi superiori all'80%.

    Alimentazione elettrica stabile in ogni condizione climatica

    Funzionamento affidabile anche a elevate temperature dell'acqua di raffreddamento e basse pressioni differenziali.

    Utilizzabile in tutto il mondo

    Tensione di allacciamento variabile, che rende superflui adattamenti tecnici.

    Alimentazione elettrica a media frequenza di alto livello, ideale per il rivestimento di ampie superfici

    Alimentazione elettrica a media frequenza di alto livello

    Rivestimento ad ampia superficie (Large Area Coating) di vetro architettonico: i materiali sofisticati come SiOx mettono a dura prova la stabilità dell'alimentazione elettrica.

    Alimentazione elettrica a media frequenza di alto livello per il rivestimento di schermi piatti

    Applicazione di strati sottilissimi

    Rivestimenti di schermi piatti e di pannelli touch: tramite la tecnologia Dual Magnetron Sputtering vengono applicati strati sottilissimi (nm), resistentissimi e omogenei di AlxOx.

    Generatore a media frequenza TruPlasma MF Serie 7000 (G2) per l'applicazione di strati ultrasottili

    Produzione di celle solari

    Rivestimento di vetro solare: la stabile alimentazione elettrica dei generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) permette l'applicazione omogenea di sottilissimi strati di TCO mediante Sputtering a media frequenza.

    Uscita                    
    Potenza nominale 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW 50 kW 75 kW 100 kW 120 kW 150 kW
    Corrente di uscita massima 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff 110 A eff 200 A eff 225 A eff 300 A eff 350 A eff
    Tensione di uscita massima 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff 1100 V eff
    Frequenza nominale di esercizio 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz 20 kHz - 50 kHz
    Parametri scarica ad arco                    
    Frequenza massima di manifestazione scariche ad arco 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s 8000 1/s
    Energia Arc 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 10 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW 1 mJ/kW
    Tempo di trattamento della scarica ad arco 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 50 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs 25 µs
    Tensioni d'innesco                    
    con meccanismo ausiliario d'accensione 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V 3100 V
    senza meccanismo ausiliario d'accensione 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V 790 V
    Dati di collegamento alla rete                    
    Tensione di rete (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V (±10%) 380 V - 480 V
    Frequenza di rete 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz
    Potenza di assorbimento rete 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA 61 kVA 93 kVA 124 kVA 149 kVA 186 kVA
    Fattore di potenza 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95 0,95
    Alloggiamento                    
    Peso 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg 560 kg 610 kg 610 kg 660 kg 660 kg
    Tipo di protezione IP 54 54 54 54 54 54 54 54 54 54
    Requisiti di raffreddamento                    
    Refrigerante Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua Acqua
    Pressione max dell'acqua 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
    Differenza min. di pressione 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,2 bar 2,5 bar 2,5 bar
    Portata min. 28 l/min 30 l/min 30 l/min 34 l/min 34 l/min 30 l/min 31 l/min 31 l/min 36 l/min 36 l/min
    Temperatura refrigerante 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C 5 °C - 45 °C
    In generale                    
    Rendimento totale 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 % 91 %
    Certificati / standard CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18 CE, SEMI S2-0709, FCC standard part 18
    Condizioni ambientali                    
    Temperatura esterna 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
    PDF <1MB
    Scheda tecnica

    I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

    I generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantiscono la massima efficienza.

    Massima redditività e flessibilità

    Gli elevati rendimenti operativi e il concetto flessibile di raffreddamento TruPlasma MF Serie 7000 (G2) garantiscono la massima redditività durante l'intera durata utile. L'alimentazione elettrica rimane sempre stabile anche in condizioni climatiche e di installazione difficili: alte temperature dell'acqua di raffreddamento, bassa pressione dell'acqua ed elevata umidità non compromettono la qualità del processo. Grazie all'ampio campo della tensione di esercizio, il generatore a media frequenza può essere utilizzato in tutto il mondo senza adattamenti tecnici.

    Generatore a media frequenza di TruPlasma MF Serie 7000 (G2)

    Controllo preciso del progetto

    Con solo poche impostazioni dei parametri è possibile controllare con precisione la qualità dello strato applicato e la produttività, così da trovare l'equilibrio ottimale fra la sensibilità della gestione degli archi e la quantità desiderata di materiale lavorato. L'elevato numero di interfacce e il comodo software di comando TruControl Power assicurano inoltre l'efficacia della configurazione e della diagnosi.

    Gestione dell'arco

    Migliore gestione dell'arco

    Alte velocità di reazione ed energie residue appositamente ridotte assicurano processi stabili ed elevate velocità di sputtering. Il generatore riconosce e impedisce in maniera efficace la formazione di archi e lo stress termico sul pezzo da lavorare; si ottengono così strati assolutamente omogenei sull'intera superficie del substrato. La gestione rapida e affidabile degli archi permette inoltre un funzionamento regolare del generatore nella zona di transizione a tensione controllata (transition mode).

    Per il TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sono disponibili numerose opzioni con cui potete adattare il generatore a media frequenza ai requisiti delle vostre applicazioni.

    Gamma di frequenze estesa

    I generatori a media frequenza con potenza fino a 100 kW sono disponibili in via opzionale con una gamma di frequenze estesa che spazia da 20 a 70 kHz (standard 20 - 50 kHz).

    Meccanismo ausiliario d'accensione

    Permette di ridurre la formazione dell'arco e lo stress termico. La tensione d'innesco e il tempo di rampa possono essere impostati individualmente.

    Gestione dell'arco ultrarapida

    Il TruPlasma MF Serie 7000 (G2) può essere dotato di una gestione dell'arco particolarmente sensibile (UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW, standard ≤ 10 mJ/kW). Per l'UltraFastTreatment è necessaria la categoria di sicurezza 3.

    Equipaggiati per tutte le evenienze

    Le interfacce analogiche e digitali Profinet, Profibus ed EtherCAT permettono una semplice integrazione dei generatori TruPlasma MF Serie 7000 in impianti esistenti.

    Sportello armadio di comando

    Lo sportello dell'armadio di comando è disponibile a scelta con un angolo di apertura particolarmente ampio di 180° (standard 130°).

    Deumidificazione attiva dell'armadio comandi

    Per ambienti con tassi di umidità molto elevati l'armadio comandi del generatore può essere equipaggiato con un gruppo deumidificatore attivo. Per il suo funzionamento è necessario disporre di una regolazione dell'acqua di raffreddamento.

    Software intuitivo TruControl Power

    TruControl Power

    L'intuitivo software di comando multilingue TruControl Power vi offre numerose possibilità di comando, configurazione e diagnosi.

    Selezionando i componenti di sistema più adatti è possibile adattare nel modo migliore i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) all'ambiente di sistema.

    Cavo di potenza per media frequenza
    Cavo di potenza per media frequenza

    Per i generatori TruPlasma MF Serie 7000 (G2) sono disponibili cavi di potenza per media frequenza TRUMPF Hüttinger ottimizzati, che garantiscono in qualsiasi momento prestazioni ottimali del sistema.

    Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

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    Contatto

    Klaus Nock
    Sales Plasma
    Fax: +49 761 89711150
    e-mail

    Download

    Brochure TruPlasma MF Serie 7000 (G2)
    - 1 MB
    Whitepaper Spannungsgeregelter "Transition Mode"
    - 1 MB
    Whitepaper Arc-Management
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    Whitepaper Sinus oder Rechteck
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    Assistenza e contatto