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Soluzione di sistema RF: matchbox per la massima stabilità di processo
Soluzione di sistema RF: matchbox per la massima stabilità di processo
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Matching intelligente tramite misurazione in tempo reale

Una solida soluzione di sistema RF

Le nuove matchbox del TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) rappresentano il completamento ideale dei generatori HF di TRUMPF Hüttinger. Grazie all'intelligente algoritmo di matching e alla piattaforma di comando digitale per la sorveglianza del processo si dispone di una soluzione completa in cui tutti i componenti funzionano in maniera perfettamente coordinata: il sistema RF TRUMPF.

Algoritmo intelligente di matching

Adattamento dell'impedenza a 50 ohm veloce, stabile e riproducibile anche in processi critici.

Interazione ottimale del sistema complessivo

Software all'avanguardia e comunicazione migliorata tra generatore e rete di adattamento.

Misurazione in tempo reale della potenza HF

Correzione rapida del sistema a ogni variazione dell'impedenza della rete di adattamento.

Circuito di regolazione chiuso

Controllo ottimale dei parametri di processo e rapido riconoscimento degli archi.

Controllo di processo intuitivo

Interfaccia utente grafica e tool efficaci (diagramma di Smith, oscilloscopio in tempo reale).

Soluzione di sistema RF: matchbox per la massima stabilità di processo

Produzione di semiconduttori, di celle solari e di schermi piatti

Nella produzione di semiconduttori, di celle solari e di schermi piatti è di decisiva importanza disporre di processi al plasma stabili. In abbinamento ai generatori HF di TRUMPF Hüttinger, le matchbox TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) rappresentano una soluzione completa per una stabilità di processo ed una produttività elevate.

Supporto per rivestimenti di materiale duro: reti di adattamento dei generatori TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Applicazione di strati protettivi in metallo duro e antiusura

L'applicazione di strati funzionali su pezzi soggetti ad alte sollecitazioni meccaniche crea una maggiore durezza meccanica, come anche una migliore stabilità termica e chimica. Le matchbox TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) insieme a un generatore HF di TRUMPF Hüttinger garantiscono una perfetta qualità del rivestimento.

Ideali per rivestimenti su ampia superficie: reti di adattamento dei generatori TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Asportazione di materiale e rivestimento di superfici

Le matchbox TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) possono essere utilizzate in tutti i comuni processi al plasma per il rivestimento o per l'asportazione di materiale su superfici, come ad esempio l'incisione al plasma, l'incisione ionica reattiva, ALD, PECVD, sputtering RF oppure trattamenti di plasma photoresist ashing. Insieme ad un generatore HF di TRUMPF Hüttinger vengono ottenuti risultati di processo ottimali.

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Uscita alta frequenza        
Potenza di uscita 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Potenza nominale 6 kW 12 kW 24 kW 3 kW
Frequenza di uscita 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Dati di collegamento alla rete        
Tensione di rete (±10%) 23,5 V - 24,5 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 87 V - 264 V (±10%) 23,5 V - 24,5 V
Frequenza di rete 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz 50 Hz - 60 Hz
Interfacce di comunicazione        
Sinc. interfacce
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet No No No No
Alloggiamento        
Peso 8 kg 27 kg 30 kg 15 kg
Tipo di protezione IP 21 21 21 21
Requisiti di raffreddamento        
Pressione max dell'acqua - 6 bar 6 bar -
Differenza min. di pressione - 1,5 bar 1,5 bar -
Portata min. - 3,5 l/min 5 l/min -
Temperatura refrigerante - 10 °C - 30 °C 1 10 °C - 30 °C 1 -
In generale        
Certificati / standard CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47 CE, EN61010, SEMI S2, SEMI F47
Condizioni ambientali        
Temperatura esterna 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C 10 °C - 35 °C
Umidità dell'aria 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 % 20 % - 75 %
Pressione barometrica 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa 800 kPa - 1013 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Garantisce la costante erogazione di tutta la potenza del generatore ad alta frequenza

Per un controllo di processo perfetto in qualsiasi momento

La matchbox garantisce in qualsiasi momento un adattamento rapido e diretto dell'impedenza a 50 ohm, permettendo al generatore HF di fornire al processo sempre la massima potenza. La comunicazione diretta fra la rete di adattamento e il generatore permette il monitoraggio ottimale del processo ed il tempestivo riconoscimento di archi.

Software intuitivo TruControl Power

Tutti i parametri sotto controllo

La misurazione in tempo reale della potenza di ingresso e di uscita HF segnala variazioni dinamiche dell'impedenza, mentre i sensori di raffreddamento permettono una previsione affidabile della potenza dissipata. Grazie al software grafico del sistema di comando con opzioni di visualizzazione complesse (carta di Smith, oscilloscopio in tempo reale), è possibile tenere sempre sotto controllo tutti i parametri di processo rilevanti.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. Tutti i valori rilevati vengono messi a disposizione del generatore RF. Sono così garantiti un controllo migliore dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi. L'intero sistema RF può essere controllato anche mediante una singola interfaccia del generatore.

Le diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il sistema RF TRUMPF all'applicazione in uso.

Misurazione di corrente HF

Misurazione della corrente alternata ad alta precisione per il rilevamento di anomalie del plasma, posizionata nella matchbox vicino al processo, direttamente sulla camera.

Gestione dell'arco

Il modulo Arc Management è la soluzione ideale per il miglior controllo del processo al plasma. Un riconoscimento mirato degli archi garantisce la massima produttività possibile e protegge contemporaneamente il prodotto e l'impianto.

Interfacce

Le interfacce opzionali disponibili sono analogiche e digitali, PROFIBUS ed EtherCAT. Quelle standard sono EtherNet, SystemPort e RS232/485.

Software intuitivo TruControl Power

TruControl Power

Il software di comando di facile utilizzo TruControl Power permette una messa in funzione comoda ed un controllo sicuro del generatore HF o dell'intero sistema RF TRUMPF nel processo in esecuzione.

Software intuitivo TruControl Power

Software di comando grafico

Le complesse rappresentazioni grafiche permettono un controllo completo di tutti i parametri di processo di rilievo. Le impedenze del carico e della matchbox vengono visualizzate per mezzo della carta di Smith, mentre la potenza di ingresso e di uscita HF insieme alla frequenza e alla posizione della fase vengono visualizzate con l'ausilio di un oscilloscopio in tempo reale.

Il sistema RF TRUMPF, composto da generatore HF e matchbox, forma un sistema completo perfettamente abbinato per ottenere i migliori risultati di processo.

Software intuitivo TruControl Power
Software di comando grafico

Le complesse rappresentazioni grafiche permettono un controllo completo di tutti i parametri di processo di rilievo. Le impedenze del carico e della matchbox vengono visualizzate per mezzo della carta di Smith, mentre la potenza di ingresso e di uscita HF insieme alla frequenza e alla posizione della fase vengono visualizzate con l'ausilio di un oscilloscopio in tempo reale.

Oscillatore master per la stabilizzazione di processi al plasma sincroni critici
Oscillatori master

Gli oscillatori master consentono di stabilizzare ed ottimizzare processi al plasma sincroni critici. Un sintetizzatore digitale di frequenza e di fase integrato garantisce un'elevata stabilità di frequenza e di fase e permette la regolazione della posizione della fase ad intervalli ridottissimi. Per la frequenza 13,56 MHz, come anche per diverse combinazioni di frequenze, sono disponibili diverse versioni di oscillatori master.

Commutatori ad alta frequenza per l'utilizzo di un generatore ad alta frequenza su sistemi al plasma flessibili
Commutatore HF

I commutatori ad alta frequenza permettono l'utilizzo multiplo di un generatore ad alta frequenza su diverse stazioni di processo al plasma, ad esempio per l'alimentazione elettrica di processi sequenziali oppure su sistemi con diversi punti di alimentazione. Sono disponibili diversi commutatori ad alta frequenza in due classi di potenza come anche con 2, 3 o 4 uscite.

Cavo coassiale per la trasmissione della potenza specificata
Cavo coassiale

Per la trasmissione della potenza ad alta frequenza, TRUMPF Hüttinger offre cavi coassiali sviluppati specificamente per l'impiego in sistemi da 50 ohm.

Generatore e rete di adattamento: una soluzione di sistema perfettamente abbinata

Gestione ottimale del processo al plasma

I processi al plasma si comportano come un carico complesso e variabile a cui il generatore deve fornire continuamente alimentazione elettrica. Ciò avviene tramite reti di adattamento attive, le cosiddette matchbox, che garantiscono un preciso adattamento all'impedenza ottimale di 50 ohm in qualsiasi momento. Nasce così un sistema perfettamente abbinato, il sistema RF TRUMPF. Le varie interfacce, come ad es. EtherCAT, consentono di integrare molto facilmente generatore e rete di adattamento nell'ambiente di processo esistente e ottenere una soluzione di sistema ottimizzata mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento, la cosiddetta SystemPort.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

Note a piè di pagina
  • La temperatura dell'acqua di raffreddamento deve superare il punto di rugiada della temperatura ambiente, per evitare la condensazione.

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