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Generatore ad alta frequenza TruPlasma RF 3006
Generatore ad alta frequenza TruPlasma RF 3006
Eccitazioni plasma
TRUMPF Hüttinger

TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13)

Processi stabili per la massima produttività

Generatori ad alta frequenza di nuova generazione

Per il rivestimento o la strutturazione di superfici è indispensabile un'alimentazione elettrica del plasma stabile e riproducibile. A tale scopo, i generatori HF TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13), dotati della più moderna elettronica di potenza, offrono le migliori condizioni: grazie alla potenza di uscita stabile e all'elevata precisione di regolazione garantiscono i migliori risultati e, al contempo, elevata produttività.

Alta precisione e riproducibilità

Tecnologia CombineLine: prestazioni ottimali dei processi grazie alla reale impedenza in uscita di 50 Ohm.

Indipendentemente dalla lunghezza del cavo HF

Non è più necessario adattare la lunghezza del cavo: una novità assoluta nel settore dell'alta frequenza!

Robustezza e sicurezza

Tecnologia CombineLine: protezione affidabile da potenza riflessa in caso di disadattamento.

Efficienza e convenienza

Rendimenti fino all'80% permettono di ridurre fino al 50% i costi per l'energia elettrica.

Concetto di raffreddamento senza ventilatore

L'assenza di riscaldamento o di impurità dell'aria ambiente permette l'utilizzo in camera bianca.

Generatore ad alta frequenza TruPlasma RF 3006

Idoneità per il rivestimento di schermi piatti e di pannelli touch

I generatori ad alta frequenza TruPlasma Serie RF 1000 / 3000 (G2/13) sono ideali per processi al plasma quali RIE, ALD, PECVD e Sputtering RF. Questi processi vengono impiegati fra l'altro nella produzione di elementi costruttivi a semiconduttore e di sistemi micromeccanici (MEMS) nonchè nel rivestimento di schermi piatti e di pannelli solari.

Produzione di celle solari

Campo d'applicazione tipico: settore dell'energia solare

Campi di applicazione tipici dei generatori TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) sono complessi processi PECVD, di incisione e di sputtering HF nel settore dell'energia solare.

Ideali per processi di incisione e rivestimento

Produzione di semiconduttori

Nella produzione di semiconduttori trovano impiego diversi processi al plasma, dai processi di asportazione, passando per l'incisione a secco fino alla fusione a zone nella produzione di silicio puro. I generatori TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) offrono tutti i presupposti per un'alimentazione elettrica stabile ed adattata alla perfezione al rispettivo processo, in modo da garantire risultati eccellenti e riproducibili.

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TruPlasma RF 1002
TruPlasma RF 1003
TruPlasma RF 3006
Uscita alta frequenza      
Potenza di uscita 2 kW 3 kW 6 kW
Potenza nominale 2 kW 3 kW 6 kW
Impedenza carico nominale 50 Ω 50 Ω 50 Ω
Frequenza di uscita 13,56 MHz 13,56 MHz 13,56 MHz
Dati di collegamento alla rete      
Tensione di rete 200 - 480 V 200 - 480 V 200 - 480 V
Frequenza di rete 50-60 Hz 50-60 Hz 50-60 Hz
Potenza di assorbimento rete 3,1 kVA 4,3 kVA 7,9 kVA
Fattore di potenza 0,95 0,95 0,95
Interfacce di comunicazione      
Sinc. interfacce
Analogico/digitale
RS 232 / RS 485
PROFIBUS
EtherCAT
DeviceNet
Alloggiamento      
Peso 18 kg 18 kg 38 kg
Tipo di protezione IP 30 30 30
Requisiti di raffreddamento      
Pressione max dell'acqua 7 bar 7 bar 7 bar
Differenza min. di pressione 1,1 bar 1,1 bar 1,1 bar
Portata min. 4 l/min 4 l/min 8 l/min
Temperatura refrigerante 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1 5 °C - 35 °C 1
In generale      
Rendimento totale 80 % 80 % 80 %
Certificati / standard Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs
Condizioni ambientali      
Temperatura esterna 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C 5 °C - 40 °C
Umidità dell'aria 5 % - 85 % 5 % - 85 % 5 % - 85 %
Pressione barometrica 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa 79,5 kPa - 106 kPa
PDF <1MB
Scheda tecnica

I dati tecnici di tutte le varianti dei prodotti, disponibili per il download.

Tecnologia CombineLine integrata

Adattamento ottimale al vostro processo

Il matching intelligente in tempo reale dei generatori TruPlasma RF Serie 1000 / 3000 (G2/13) garantisce un adattamento diretto e rapido dell'impedenza a 50 ohm. La tecnologia brevettata CombineLine impedisce in maniera affidabile oscillazioni del plasma e impurità, mentre il concetto di raffreddamento senza ventilatore riduce la frequenza dei guasti, aumenta l'efficienza e permette l'uso in ambienti senza polvere (camere bianche).

Generatore ad alta frequenza per circuiti oscillanti paralleli

Massima efficienza e flessibilità

Con rendimenti elevatissimi fino all'80% potete addirittura dimezzare le spese energetiche rispetto ai generatori tradizionali. Le numerose interfacce disponibili (interfaccia analogica configurabile, RS 232/485, DeviceNet, PROFIBUS, EtherCAT) semplificano l'integrazione in impianti esistenti, così come gli alimentatori di gamma ultra larga integrati (200-480 VAC) rendono superflui adattamenti tecnici. Il tipo di costruzione compatto, nonostante l'elevata irradianza (modulo a incasso da 19 o 19 ½ pollici), permette l'integrazione a ingombro ridotto in ogni impianto di produzione.

TruPlasma RF_Systemport

TRUMPF SystemPort

La SystemPort permette di chiudere il circuito di regolazione misurando il segnale RF direttamente sull'entrata e sull'uscita della rete di adattamento. Tutti i valori rilevati vengono messi a disposizione del generatore RF. Sono così garantiti un controllo migliore dei parametri di processo, la protezione della rete di adattamento e un tempestivo riconoscimento di archi. L'intero sistema RF può essere controllato anche mediante una singola interfaccia del generatore.

Diverse opzioni permettono di adattare in modo ottimale il generatore ad alta frequenza alla vostra applicazione.

Gestione di archi ad alta frequenza

Il modulo Arc Management è la soluzione ideale per il miglior controllo del processo al plasma. Un riconoscimento mirato degli archi garantisce la massima produttività possibile e protegge contemporaneamente il prodotto e l'impianto.

Auto Frequency Tuning

La soluzione brevettata Auto Frequency Tuning permette l'adattamento simultaneo e veloce della frequenza e assicura un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento. Grazie a questa tecnologia brevettata, condizioni minime locali non sono più un ostacolo: il sistema RF viene portato in stato ottimale, permettendo così di ottenere i migliori risultati di processo e un'elevata riproducibilità.

Tutti i componenti del sistema TRUMPF RF sono abbinati in maniera ottimale.

Soluzione di sistema RF: matchbox per la massima stabilità di processo
Rete di adattamento per TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13)

Le reti di adattamento TruPlasma Match garantiscono un trasferimento ottimale della potenza dal generatore alla scarica. La rete di adattamento funziona autonomamente oppure mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento stessa, la cosiddetta SystemPort.

Oscillatore master per la stabilizzazione di processi al plasma sincroni critici
Oscillatori master

Gli oscillatori master consentono di stabilizzare ed ottimizzare processi al plasma sincroni critici. Un sintetizzatore digitale di frequenza e di fase integrato garantisce un'elevata stabilità di frequenza e di fase e permette la regolazione della posizione della fase ad intervalli ridottissimi. Per la frequenza 13,56 MHz, come anche per varie combinazioni di frequenze, sono disponibili diverse versioni di oscillatori master.

Commutatori ad alta frequenza per l'utilizzo di un generatore ad alta frequenza su sistemi al plasma flessibili
Commutatore HF

I commutatori ad alta frequenza permettono l'utilizzo multiplo di un generatore ad alta frequenza su diverse stazioni di processo al plasma, ad esempio per l'alimentazione elettrica di processi sequenziali oppure su sistemi con diversi punti di alimentazione. Sono disponibili diversi commutatori ad alta frequenza in due classi di potenza come anche con 2, 3 o 4 uscite.

Cavo coassiale per la trasmissione della potenza specificata
Cavo coassiale

Per la trasmissione della potenza ad alta frequenza, TRUMPF Hüttinger offre cavi coassiali sviluppati specificamente per l'impiego in sistemi da 50 ohm.

Generatore e rete di adattamento: una soluzione di sistema perfettamente abbinata

Abbinamento perfetto: il sistema RF di TRUMPF

I processi al plasma si comportano come un carico complesso e variabile a cui il generatore deve fornire continuamente alimentazione elettrica. Ciò avviene tramite reti di adattamento attive, le cosiddette matchbox, che garantiscono un preciso adattamento all'impedenza ottimale di 50 ohm in qualsiasi momento. Nasce così un sistema perfettamente abbinato, il sistema RF TRUMPF. Le varie interfacce, come ad es. EtherCAT, consentono di integrare molto facilmente generatore e rete di adattamento nell'ambiente di processo esistente e ottenere una soluzione di sistema ottimizzata mediante una connessione intelligente tra generatore e rete di adattamento, la cosiddetta SystemPort.

Sono possibili scostamenti da questa gamma di prodotti e da questi dati in funzione del paese. Con riserva di modifiche relative a tecnica, dotazione, prezzo e offerta di accessori. Contattare il proprio referente locale per sapere se il prodotto è disponibile nel proprio paese.

Note a piè di pagina
  • La temperatura dell'acqua di raffreddamento deve superare il punto di rugiada della temperatura ambiente, per evitare la condensazione.

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Nuove reti di adattamento della TruPlasma Match Serie 1000 (G2/13) integrano in modo ottimale i nostri generatori RF e contribuiscono a definire una soluzione unitaria: il sistema RF TRUMPF.

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Assistenza ineguagliabile

Un contratto di assistenza su misura vi garantisce la massima disponibilità dei generatori, a costi di esercizio e di manutenzione trasparenti.

Contatto

Klaus Nock
Sales Plasma
Fax +49 761 89711150
e-mail

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Brochure TruPlasma RF Serie 1000 3000
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